摘要
G9'Wo.$ t LWG%]m|C 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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zu8 J3Ipk-'lx 建模任务
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DC?U+ 光栅特性与参数的严格分析
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2 不同光栅周期下的衍射效率
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*E$& | Q0Wv8/ 关于光栅周期选择的考虑
Ph@hk0dgr/ {4B{~Qe;
"+SnHpNx $tKz|H) 偏振相关的衍射特性
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)"W__U0 zfS0M
Mn`);[ %x(||cq 通过参数优化进行光栅设计
.%~m|t+Rt p7H0|> 固定周期的2D参数优化
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ySkz5K+|g 2D参数优化–设计1
FU]jI[ C/34K(
jU~q~e7Te UNK}!>HD 2D参数优化–设计2
{tE9m@[AF <L!9as]w
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Ekbq= Epo/}y 制造
公差分析–设计2
Fa]|Y pNt,RRoR
'! \t!@I$ LN=6u 变化光栅周期的3D参数优化
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t,D7X1W t3P$UR% 制造公差分析
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v00& JE~;gz] VirtualLab Fusion中的工作流程
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^*g= 65!1 2E0A` •构造光栅
结构 !-tP\%' −
通过使用界面来配置光栅结构 x->H~/ [用例]
T<ka4 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
_keI0ML-# •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
lZ'ZL* •通过参数优化找到最终设计
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