摘要
92 [;Y DCZ\6WY1G) 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y*UA,<- 建模任务
oZAB _A)[- (vTtDKp@
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</G# 光栅特性与参数的严格分析
;1a~pF S ( vca&wI! 不同光栅周期下的衍射效率
-:na:Vsi 6b:tyQ
DK$s&zf :$n=$C-wp 关于光栅周期选择的考虑
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MgY0q?.S= 2K3{hxB 偏振相关的衍射特性
07[_.i.l TTKs3iTXz
sIxTG y. C<P%CG&;
L>3x9 !Ze5)g%H
* cgI.+ wbst8*$ 通过参数优化进行光栅设计
(,8$V\ Vb= Mg 固定周期的2D参数优化
hUF5fZqii } x2DT8u
h"/<?3{ 2D参数优化–设计1
D`$hPYK|_ W`u[h0\c
+>r/ 0b +w+}b^4 2D参数优化–设计2
BYMi6wts }3OKC2K~
3 yB!M =_:et0 制造
公差分析–设计2
[@5Ytv H u)~C;f)
E6pMT^{K JW3B'_0 变化光栅周期的3D参数优化
rv|)n>m L:i-BI`J
K5xX)oV .n~M(59 制造公差分析
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0Nnsjh [rSR:V?"a 走进VirtualLab Fusion
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ybY]e; v*O &M.66O@ VirtualLab Fusion中的工作流程
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s]f6/x/~ ~2gG(1%At9 •构造光栅
结构 ,uSQNre\j −
通过使用界面来配置光栅结构 B Z?.D_bu [用例]
hMykf4 •分析光栅衍射效率
d%V*|0c) −
光栅级次分析器[用例]
Z|lqb= •使用参数运行搜索初始解决方案
E.Jkf\ −
参数运行文档的使用[用例]
qLB)XnQ •通过参数优化找到最终设计
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