摘要
+z>*m`}F 9C|T/+R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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H<}<f: &KbtW_ 建模任务
9{70l539 A.
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WYRTt2(+% 光栅特性与参数的严格分析
y"cK@sOo gLl?e8[F 不同光栅周期下的衍射效率
0AJ6g@t[ u\^<V)
D<L]' xb8fV*RO8A 关于光栅周期选择的考虑
#mk#&i3"k +**H7: bO
"! p#8jR^ S &s7] 偏振相关的衍射特性
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;NLL?6~ UQ'D-eK 通过参数优化进行光栅设计
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11[ 固定周期的2D参数优化
.X_k[l 9 3 c@Cb`w@
wMt?yc:X 2D参数优化–设计1
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6by5VESx Yx(?KN7V? 2D参数优化–设计2
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K JPB- d";+8S 制造
公差分析–设计2
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t.lm`= W
qci51y># 变化光栅周期的3D参数优化
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xzW]D0o0 a 3R#Bg( 制造公差分析
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C<qJnB:B9 ^B?{X|U37 走进VirtualLab Fusion
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?*[t'D9f- `@?l{ VirtualLab Fusion中的工作流程
CN\s,. ] n U$Lp`
j,EE`g& g B+cU •构造光栅
结构 `hM]5;0 −
通过使用界面来配置光栅结构 :ozHuHJ# [用例]
7"
Dw4}T •分析光栅衍射效率
y ?4|jN −
光栅级次分析器[用例]
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TW{ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
cg1 < •通过参数优化找到最终设计
i1FFf[[ L JS({au VirtualLab Fusion技术
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