摘要
eqq`TT#Z S='
wJ@?; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
3{KR
{B#L PocYFhWQ` ~3gru>qI& } ^i b 建模任务
,|+Gls =+Im*mgNn b.s9p7:J 光栅特性与参数的严格分析
RPVT*`o 3\AM=` 不同光栅周期下的衍射效率
TI=h_%mO 1~J5uB 4 ZPHXzi3j )t:7_M3 关于光栅周期选择的考虑
n 6{2]&sd h>alGLN> 'Hw4j:pS ;#TaZN 偏振相关的衍射特性
@b2`R3}9R - hzjV| &-%X:~|:X 4,G w#@ Tv5g`/e=Ej Tr& }$kird N
L'R\R `Gd$:qV 通过参数优化进行光栅设计
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iEIg: 固定周期的2D参数优化
Sw8kIC y,=du >xu[q\:" 2D参数优化–设计1
k6"KB u3J?bR k%P;w1 -h#mn2U~3r 2D参数优化–设计2
+Llo81j& C5W>W4EM JN'cXZJPn ; |L<:x/ 制造
公差分析–设计2
WKmbNvN^ V-!"%fO.s Sm-wH^~KA -?6MU~"GK 变化光栅周期的3D参数优化
l&$$w!n0w e-5?p~> ^V3v{>D> }P9Ap3? 制造公差分析
`zpbnxOL$T ]"~51HQZ Vp}^NNYf 2+o|A 走进VirtualLab Fusion
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xSK~s VirtualLab Fusion中的工作流程
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5Nb •构造光栅
结构 ?BA^YF −
通过使用界面来配置光栅结构 ($nrqAv4 [用例]
vuQ%dDxI •分析光栅衍射效率
m~#%Q?_ % −
光栅级次分析器[用例]
C\ZkGX •使用参数运行搜索初始解决方案
w}R~C −
参数运行文档的使用[用例]
5 BtX63 •通过参数优化找到最终设计
Jb["4X;h xI*#(!x"G VirtualLab Fusion技术
LjB;;&VCn &PWB,BXv 8}e,%{q kcie}Be 文件信息
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