摘要
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x R@z` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=RD>#' sUK 6',Hs 建模任务
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QY&c=bWAX" 光栅特性与参数的严格分析
*->*p35 rC_1f3A 不同光栅周期下的衍射效率
p<L{e~{!7f h+j^VsP zB
Aipm=C8 ;5[OS8 关于光栅周期选择的考虑
y,|2hrj/0E #2ta8m),
SF+L-R<e XF)N_}X^ 偏振相关的衍射特性
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G>0d^bx;E oj Y.6w
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]-{fr+ 8CUtY9. 通过参数优化进行光栅设计
c YgJ}(>} qna!j|90Lp 固定周期的2D参数优化
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p:y\{k" 2D参数优化–设计1
QR"+fzOL .G\](%
2hF^U+I} :FS5BT$= 2D参数优化–设计2
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制造
公差分析–设计2
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)SJM:E 变化光栅周期的3D参数优化
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lPxhqF5pP yXDjM2oR/2 制造公差分析
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W7uX 'pIrwA^6N 走进VirtualLab Fusion
X/:V{2 : H;S"D
|}z5ST% EIQ3vOq6 VirtualLab Fusion中的工作流程
W[Q<# Ju \MRd4vufv
rrRv 7J&Q `WL3aI": •构造光栅
结构 lG'D/# −
通过使用界面来配置光栅结构 ,hI$nF0}p [用例]
rbdrs •分析光栅衍射效率
iZfZF −
光栅级次分析器[用例]
vb>F)po1} •使用参数运行搜索初始解决方案
QK6_dIvDz −
参数运行文档的使用[用例]
q&>fKS nKs •通过参数优化找到最终设计
/}E2Rr?{ X:Wd%CHP VirtualLab Fusion技术
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