摘要
l$[7pM[ /Z3 Mlm{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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yV"k:_O{ xA7>";sla[ 建模任务
HpLCOY1- Kd='l~rby
{"v~1W) 光栅特性与参数的严格分析
I:|<};mm 3{:AG,G 不同光栅周期下的衍射效率
)NF5,eD rgo#mTQ_
"mk@p=d 1R-1#<a>& 关于光栅周期选择的考虑
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*r)/Vx`S zG\& ZU 偏振相关的衍射特性
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*VX"_C0Jy= +x!Hc 通过参数优化进行光栅设计
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$6= 固定周期的2D参数优化
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'^|u\$&U 2D参数优化–设计1
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+,Ud 3iS 9}|x
N8 2D参数优化–设计2
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PQd*)6K:A oNEjlV* 制造
公差分析–设计2
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^j!2I&h1 MvKr~ 变化光栅周期的3D参数优化
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cqN ;x|7"lE
>d3`\(v- ZX8AB 制造公差分析
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v]GQb \1He9~6 走进VirtualLab Fusion
V8hmfV~=]P 9u;/l#?@T
'NNfzh ^'ws/( VirtualLab Fusion中的工作流程
rT|wZz9$@ <nk9IAH
MBqw{cy <y=+Gh •构造光栅
结构 ^]NFr*'! −
通过使用界面来配置光栅结构 oLS/ [用例]
$KVCEe!X •分析光栅衍射效率
KG=57=[ −
光栅级次分析器[用例]
b5S4C2Ynq •使用参数运行搜索初始解决方案
dw>1Ut{"3 −
参数运行文档的使用[用例]
oCxy(q'y •通过参数优化找到最终设计
*{("T ._q}lWT VirtualLab Fusion技术
BR-4L2[ vD^Uod1
8AJ#].q0F a$5P\_ 文件信息
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