摘要
;AgXl%Q [es-&X07< 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[ 建模任务
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W,)qE^+ 光栅特性与参数的严格分析
Oo95\Yf$N }!g^}BWWp 不同光栅周期下的衍射效率
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VR_ bX| '5"`H>[ 关于光栅周期选择的考虑
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OQh(qa nxh9'"th 偏振相关的衍射特性
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&4O0}ax*Zm {CR'Z0 通过参数优化进行光栅设计
/0H39]y!~ Ju7nvxC 固定周期的2D参数优化
qZ7/d,w D;al(q
0Ie9T1D= 2D参数优化–设计1
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@7zx YEx76 2D参数优化–设计2
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fw1 g;;E KD7RI3'? 制造
公差分析–设计2
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bu#}`/\_ -3<5,Q{G+ 变化光栅周期的3D参数优化
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j5:{H4? qe:,%a-9 制造公差分析
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\Podyh/;? |mfQmFF 走进VirtualLab Fusion
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MD,}-m GiN\nu<! VirtualLab Fusion中的工作流程
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.sA?}H#wb •构造光栅
结构 3~4e\xL −
通过使用界面来配置光栅结构 n@xDFa [用例]
N}>XBZy •分析光栅衍射效率
q@p-)+D; −
光栅级次分析器[用例]
Y$ ;C@I •使用参数运行搜索初始解决方案
u4=j!Zb8} −
参数运行文档的使用[用例]
EIwTx:{F •通过参数优化找到最终设计
bO:Ei g`!:7|&,_ VirtualLab Fusion技术
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