摘要
@ 4j#X N:Q}Lil 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
TBvv(_ `4gm'C 6ZR'1_i6i= r8}GiP0| 建模任务
}I9\=jT ^t?P32GJ tA Pqbi$a 光栅特性与参数的严格分析
a$l/N{<. "#qyX[\ 不同光栅周期下的衍射效率
Tr-gdX ; XW%!#S&;X K.dgQ-vn OtrO"K 关于光栅周期选择的考虑
4-lEo{IIM Ck/4hZ =;i@,{
~ )CSb\ 偏振相关的衍射特性
AJI,>I,}} oost}%WxN h7wm xa; C3:4V2<_ a)`b;]+9 &w- QMjM> Yvcd(2 @c9VCG D 通过参数优化进行光栅设计
(B}+uI{ F9^8/Z 固定周期的2D参数优化
3;u* _ ]N_ S=n,unn#t 3BDAvdJ4. 2D参数优化–设计1
EX~ U(JB6 6NVf&;laQ Mp:tcy,* rLw,? 2D参数优化–设计2
"~jt0pp cP'' .nJErC## 8&7LF 制造
公差分析–设计2
QU2\gAM sZ/~pk Em N0K'x KDhr.P.~ 变化光栅周期的3D参数优化
Ix93/FAn #joGIw G9TK)Nz Y 4sf 2w 制造公差分析
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c k t|jX%s= iov55jT~l@ r DX_$,3L 走进VirtualLab Fusion
O['gp~P" 6.kX~$K +/*g?Vt {w$1_GU VirtualLab Fusion中的工作流程
-ve{O-; 1a;Le8 'j6PL;~c ~+d?d6*c •构造光栅
结构 f^@`[MJj1C −
通过使用界面来配置光栅结构 O,>1GKw"\ [用例]
sPYG?P(l •分析光栅衍射效率
(Hb
i+IHV −
光栅级次分析器[用例]
W'hE, •使用参数运行搜索初始解决方案
GJ edW −
参数运行文档的使用[用例]
br*L|s\P\9 •通过参数优化找到最终设计
v|C)Q %v TMj(y{2 VirtualLab Fusion技术
x48Y#"' D *R F._ dVmI.A'nbp Ml1yk)3G 文件信息
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