摘要
shAoib?Kw: A3|hFk 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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}pMd/|A, Q`kJ3b 建模任务
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`,lry7] 光栅特性与参数的严格分析
Jb (CH4|7 >3MzsAH\ 不同光栅周期下的衍射效率
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!\6<kQg# x[_SNX" 关于光栅周期选择的考虑
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# zbAA<f W Y] 偏振相关的衍射特性
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8%ea(|Wjg z*FCd6X 通过参数优化进行光栅设计
. \t8s0A k:QeZn( 固定周期的2D参数优化
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{TL.2 2D参数优化–设计1
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m0Geq. Q_r}cL/A 2D参数优化–设计2
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YLsOA`5X 6Lc{SR 制造
公差分析–设计2
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DEw>f%&4 !*1$j7`tP 变化光栅周期的3D参数优化
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ZQk!Ia7 CBr(a'3{Z 制造公差分析
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Gl"|t't( IE|? &O VirtualLab Fusion中的工作流程
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D"V(A \sZ y1)ZO_' •构造光栅
结构 yT~rql −
通过使用界面来配置光栅结构 Uv m:`e~? [用例]
?Kt F!:_C •分析光栅衍射效率
GoLK
95"] −
光栅级次分析器[用例]
FS)"MDs •使用参数运行搜索初始解决方案
;,}Dh/&E −
参数运行文档的使用[用例]
)_YB8jUR-X •通过参数优化找到最终设计
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