摘要
c'>8pd =W97|BIW, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
zhD`\&G. )i?{;%^
B]CS2LEqh %DHP 建模任务
U*c{:K-C uugzIV)
K'ed5J 光栅特性与参数的严格分析
Q|zE@nLS
jp\JwE 不同光栅周期下的衍射效率
.'+|>6eU _,Io(QS
D
z]}@Z*jK $]`'Mi 关于光栅周期选择的考虑
`RL(N4H JRcuw'8+q
4l#T_y 1-ndJ@Wlz 偏振相关的衍射特性
8=b{'s^^F #m[w=Pu}
>(YPkmH &)/H?S;yN
a93d'ZE-X P,LXZ
lu9Ir>c ()rx>?x5 通过参数优化进行光栅设计
QvT-&| *U5>j#, 固定周期的2D参数优化
M2;(+8 b 7m@^=w
2Q;Y@%G 2D参数优化–设计1
EUYa =- D[FfJcV'$
5O4&BxQ~} FK/ro91L 2D参数优化–设计2
OM#OPB
rB tkUW)ScJ
faKrSmE! 2e D\_IW 制造
公差分析–设计2
a#~Z5>{ :)3$&QdHT
OD2ai]!v+ 1\7"I- 变化光栅周期的3D参数优化
j)SgB7Q |]
f"j':
4<K ,w{I Wy0a2Ve 制造公差分析
MX< ($M FZ'>LZ
`'tw5} cB9KHq B 走进VirtualLab Fusion
sD8xH {D_4~heF
7;#dX~>@{ t&?v9n"X VirtualLab Fusion中的工作流程
;@ ! d!& \gk3w,B?E
]FnrbQ| ![MDmt5Ub^ •构造光栅
结构 "T=3mv%S −
通过使用界面来配置光栅结构 yP=isi#dDY [用例]
_bV=G#qKK •分析光栅衍射效率
(nP* −
光栅级次分析器[用例]
rF
j)5~ •使用参数运行搜索初始解决方案
u=UM^C! −
参数运行文档的使用[用例]
/dP8F •通过参数优化找到最终设计
x /Ky:
Ky eG)/&zQ8 VirtualLab Fusion技术
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cX]{RVZo-/ -gX2{dW 文件信息
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