摘要
Gt\lFQ
DwM)r7<Ex 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Zd3S:),& 4GkWRu1 {j{u6i )1]ZtU 建模任务
3U<cWl@ d2*fLEsF P}Gj%4/G 光栅特性与参数的严格分析
MUaq7B_> []\+k31D 不同光栅周期下的衍射效率
W =D4r T-'OwCB1q y`L>wq,KU y%&q/tk 关于光栅周期选择的考虑
$jjfC Xc =Y {0L1X6eg tP:lP#9 偏振相关的衍射特性
%vn|k[nD zykT*V IB(6+n,6s RFi
S@.7 lS"T4 5 5[8xV%>; us1Hu) ZJnYIK 通过参数优化进行光栅设计
zN[hkmh JYMiLph< 固定周期的2D参数优化
6]&OrS[ &u]8IEv}u S4Pxc
]! 2D参数优化–设计1
Fe# 1 h&M{]E9= .8 2P(}h >f|||H}Snw 2D参数优化–设计2
034iK[ib" ?1*cO:O ^-TE([ bW r7RIRg_ 制造
公差分析–设计2
;@0;pY M-$%Rzl_ E:,/!9n ?so=;gh 变化光栅周期的3D参数优化
4(#'_jS kVuUjP6(c vt/x
,Y v3*_9e 制造公差分析
X@ --m6- fnpYT:%fG
;"xfOzQ 2% MC Yn 走进VirtualLab Fusion
%p Ynnfr R#s)r P:hBt\5B *2ZjE!A VirtualLab Fusion中的工作流程
CLxynZ\ ; To\QjP- 6{@w="VT -$t{>gO#Y •构造光栅
结构 C>]0YO
k2 −
通过使用界面来配置光栅结构 k)i3
[用例]
JOj;^h •分析光栅衍射效率
$CRm3#+
~ −
光栅级次分析器[用例]
@CNi{. RX •使用参数运行搜索初始解决方案
,A9]CQ
−
参数运行文档的使用[用例]
3BzNi' •通过参数优化找到最终设计
=R^%(Py ##q2mm:a9P VirtualLab Fusion技术
DKH-Q(M56 Ij 79~pn KsddA l.(v^3:X 文件信息
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