摘要
*s4h tt +~~FfIzf# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Ha
SF$'$6x} Vk%[N> 建模任务
g+>$_s +$Q.N{LV
xEv]VL: 光栅特性与参数的严格分析
E?%SOU< ygt7;};! 不同光栅周期下的衍射效率
[@ExR* -*q:B[d
N7%iz+ E]eVoC 关于光栅周期选择的考虑
MbY?4i00%h E`vCYhf{
vLQ!kB^\W ho*44=j 偏振相关的衍射特性
Glz)-hjJ:n Wjf UbKg0
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$`7cs}# 3GMRH;/w
{&tbp
Bl# o$dnp`E 通过参数优化进行光栅设计
CX](^yU_ z"4UObVs 固定周期的2D参数优化
W)WL1@!Z s)_Xj`Q#
32DT]{-N! 2D参数优化–设计1
29:1crzx~ _`6fGu& W
/?<tjK' "H MQD%m ;[s 2D参数优化–设计2
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GLI 5AbQK `-)!4oJ] 制造
公差分析–设计2
QWt?` h= _Wcr'*7
}e}J6[wP z#qlu= 变化光栅周期的3D参数优化
S*3N6*-l" .xXe *dm%
=,Yi" E +T}:GBwD7 制造公差分析
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#BA=?7 2-G he3 走进VirtualLab Fusion
{XC1B ;6o p|O
h.\V;6ly DDdMWH^o7 VirtualLab Fusion中的工作流程
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D ff0$06Nq SKT f=rY •构造光栅
结构 ;{Cr+lqTJ −
通过使用界面来配置光栅结构 $JKR, [用例]
>Mml+4<5 •分析光栅衍射效率
oqzx}?0 −
光栅级次分析器[用例]
H,r> @Y •使用参数运行搜索初始解决方案
YGp8./ma<I −
参数运行文档的使用[用例]
#{973~uj •通过参数优化找到最终设计
qTM,'7Rwn !Pnvqgp/ VirtualLab Fusion技术
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