摘要
hz@bW2S. ] (8[}CeL 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
8<Av@9 *} %IWPM" 2c*GuF9(0 |@d\S[~ ^G 建模任务
lt8|9"9< .aQ \jA 8{sGNCvU 光栅特性与参数的严格分析
t'ql[ @\#td5' 不同光栅周期下的衍射效率
%7+qnH*;r 4H&+dRI" 4|?;TE5 `b$.%S8uj= 关于光栅周期选择的考虑
L4nYXW0y T_4/C2 wnC81$1l~ *$g-:ILRuZ 偏振相关的衍射特性
}5"u[Z. C~/a- wFZP,fQ9l <RL] Qvhl4-XjZa Ysv"
6b} 3[*}4}k9 /j.9$H'y 通过参数优化进行光栅设计
7qS)c}Q\ PEZ!n.'S 固定周期的2D参数优化
E7hY8#G 3^yK!-Wp( G"A#Q" 2D参数优化–设计1
N;`n@9BF k8zI(5.> w``U=sfmV ]D\D~!R 2D参数优化–设计2
Zj'9rXhrM1 SE*g;Cvg1 u>vL/nI o }m3y 制造
公差分析–设计2
U 6)#}
dSHDWu& 5Gm_\kd |2A:eI8 ^ 变化光栅周期的3D参数优化
u=e{]Ax#} ]7A'7p$Y fp"W[S|uL wUJcmM; 制造公差分析
oQJtUP% =7UsVn#o V!~wj 1< ?4\?j 走进VirtualLab Fusion
R=\IEqqsi 2&cT~ZX&' , W?VhO "#g}ve, VirtualLab Fusion中的工作流程
n `Ac 3A ))Za&S*< JW&gJASGC {_*yGK48n •构造光栅
结构 E"IZ6)Q −
通过使用界面来配置光栅结构 ~"A0Rs= [用例]
c &c@M$ •分析光栅衍射效率
'Pbr
v −
光栅级次分析器[用例]
:k#HW6p •使用参数运行搜索初始解决方案
2~[juWbz −
参数运行文档的使用[用例]
t_1LL >R •通过参数优化找到最终设计
VIbq:U [V`r^ VirtualLab Fusion技术
*m (=V1" @2#lI .6J$,.Ig ~}Pfu 文件信息
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