摘要
(jCE&'?} `3r *Ae 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
4EuZe:'X G%anot
knypSgk_ 8|7fd|6~ 建模任务
$cH'9W}3K 4;|&}Ij
u=#!je 光栅特性与参数的严格分析
)zt*am; :$[m[y7i 不同光栅周期下的衍射效率
bdqo2ZO XaD}J:X q
@ky5XV k+-u4W 关于光栅周期选择的考虑
XLFJ?$)Tro [kz<2P
<"CG%RGP \u,hS*v0 偏振相关的衍射特性
H5/%"1Q ?
Z8_(e0U
TA}gCXE
e u9m"{KnV
&e[/F@\% HI']{2p2}t
b#k$/A@ n?aogdK$V 通过参数优化进行光栅设计
\0j|~/6 f?[y- 固定周期的2D参数优化
;wDcYs V# w$|B\
~oT0h[< 2D参数优化–设计1
+t/VF(! if:2sS9r
,_YCl09p( RhbYDsG 2D参数优化–设计2
~|Gtm[9Ru N+!{Bt*
)e9(&y*o |,t#Au}61 制造
公差分析–设计2
}RDhI1x[mk |;{wy
lGjmw"/C athU 变化光栅周期的3D参数优化
bbiDY GIo&zPx
hV'JTU]H / $WEO[o 制造公差分析
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-UPdgZ_Vxz 69r<Z 走进VirtualLab Fusion
tQz-tQg D19uI&U4
7qgHH p |53Zg"! VirtualLab Fusion中的工作流程
E;D9S ~;il{ym
M*8Ef^-U`t QF'N8Kla •构造光栅
结构 LurBqr −
通过使用界面来配置光栅结构 io$AGi [用例]
?J6J#{LRd •分析光栅衍射效率
J03yFT,dF −
光栅级次分析器[用例]
0j7\.aaK •使用参数运行搜索初始解决方案
>=6tfLQ −
参数运行文档的使用[用例]
EmVE<kY. •通过参数优化找到最终设计
kVy%y"/ & 2>W=h VirtualLab Fusion技术
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