摘要
lVP9= R'rTE 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
*:a'GC%/ PeO] lq JZ `>|<W `_|aeoK_ 建模任务
<f%ujrX ^#]c0 Z:K+I+:t 光栅特性与参数的严格分析
hT?6sWa +T9Q_e* 不同光栅周期下的衍射效率
Vwjk[ DOL {}V$`L8 BbFa=H. F "!agc2! 关于光栅周期选择的考虑
Eu|sWdmf
l b`$yqi<[ :*^:T_U >^dyQyK 偏振相关的衍射特性
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>&3l *'6s63)I2 Kl{-z X (B@X[~ X:>$8 ^gS z<hFK+j,'^ T'E]
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:~bHf 通过参数优化进行光栅设计
Z .quh; 5L F/5` 固定周期的2D参数优化
YydA6IK4 ~8TF*3[}[ :Zza)>l 2D参数优化–设计1
.;9jdGBf S.{fDcM I"-dTa 62Mdm3 2D参数优化–设计2
-;$nb~y {3LA%xO o]<jZ_|gB %,/lqc Fo 制造
公差分析–设计2
(?vK_{ 6JhMkB^h TjxA#D) OOok hZd` 变化光栅周期的3D参数优化
n#4Gv|{XMD A^ViDP ,9d9_c.T +c--&tBo 制造公差分析
:$?Q D 1_uvoFLk L;S}s, 2x #n3ykzoqIX 走进VirtualLab Fusion
mk%b9Ko<F /4*W DiH Z,
T#, \:Za[6 VirtualLab Fusion中的工作流程
7NJFWz! wO7t!35 <J&7]6Z sHdp •构造光栅
结构 v>H=,.`0\ −
通过使用界面来配置光栅结构 hd2'AlB [用例]
)T1iN(Z •分析光栅衍射效率
T/l1qcf`wT −
光栅级次分析器[用例]
8O7Yv< •使用参数运行搜索初始解决方案
E=AVrv5T −
参数运行文档的使用[用例]
K*Ks"Vx •通过参数优化找到最终设计
zT[6eZ8m >zs5s VirtualLab Fusion技术
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