摘要
Xe<sJ.&Wf [`^a=:* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
:uWw8` [z9`)VIe
5jd,{< R_sr?V|" 建模任务
62 O.?Ij `S6x<J&T\/
cWi}V 光栅特性与参数的严格分析
~-EOjX(X'E S`#w+C#EW 不同光栅周期下的衍射效率
?Cl%{2omO &d"G/6
=R #Qx, [x9KVd ^d 关于光栅周期选择的考虑
x$1]M DAGb N F+iza;DP
clNkph p?B=1vn-2 偏振相关的衍射特性
vg3=8># _59huC.
VY~yg* =&,]Z6{>
Zrvz;p@~ e6d<dXx
U-IpH+E T(t+
iv 通过参数优化进行光栅设计
'7+4`E }
\XfH 固定周期的2D参数优化
VO$
iNK x n5l0'2
p(~Yx3$* 2D参数优化–设计1
%KmiH
;U +tVaBhd!
c&AygqN ]`kmjn 2D参数优化–设计2
s (zL *QLI3B9V
ig/%zA*Bo <4P4u*/o 制造
公差分析–设计2
w)Q0_2p. #)C[5?{SNq
1XD,uoxB
-F<Wd/Xse 变化光栅周期的3D参数优化
nPye,"A Ol k&,~qoU
7PtN?;rP M+w=O!dq 制造公差分析
B]uc<`f /(iFcMT
]=>F.GE 1IZ3=6 走进VirtualLab Fusion
1`a5C.v ~zJ?H<>
22.8PO0 [[;e)SoA VirtualLab Fusion中的工作流程
Pmh8sw Zo g']=
{&\jW!&n 4A_[PM •构造光栅
结构 <})2#sZO! −
通过使用界面来配置光栅结构 "x 3lQ [用例]
><gG8MH0' •分析光栅衍射效率
@Ub"5Fl4 −
光栅级次分析器[用例]
)i!o8YB •使用参数运行搜索初始解决方案
Jo@|"cE= −
参数运行文档的使用[用例]
px}|Mu7z~ •通过参数优化找到最终设计
mg*qiScfW DV<` K$ET VirtualLab Fusion技术
,u`B<heoLU z@B=:tf
z7Q?D^miy L#+q]j+ 文件信息
SjwyLc A?-oL='
(2:/8\_P DX"xy 更多阅览
`Ye\p6v!+ -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers 6WU(% -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block ?e,pN,4 -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings RPE5K:P N6 ( (来源:讯技光电)