摘要
xaiA? /1Xji0LK 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
A.mIqu,: qU'O4TWZ
D]I]I!2c r A*"22v= 建模任务
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^:b%QO 光栅特性与参数的严格分析
8:BPXdiK 5UFR^\e 不同光栅周期下的衍射效率
I+) Acy; s}~'o!}W
%-Z0OzWe nly`\0C 关于光栅周期选择的考虑
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t k)2L<Lmn 偏振相关的衍射特性
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+["t@Q4IQ 通过参数优化进行光栅设计
UuV<#N) Min^EAG@ 固定周期的2D参数优化
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*):x K;o 2D参数优化–设计1
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q@;z((45 =YPvh]][ 制造
公差分析–设计2
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$K)9(DD a0Y/,S*K 变化光栅周期的3D参数优化
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K-$gTV J%?'Q{ 制造公差分析
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#,dE) Pg3O )D9 走进VirtualLab Fusion
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6Xjr0C+ *QzoBpO< VirtualLab Fusion中的工作流程
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<r*A(}Y _rQM[{Bkg •构造光栅
结构 ?#F}mOVAa −
通过使用界面来配置光栅结构 z6tH2Wxf [用例]
,+0>p •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
< PoRnx •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
lFT_J?G$' •通过参数优化找到最终设计
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