摘要
cxX/ b, }_Y&kaM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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|Y|6`9; JTGA\K 建模任务
>A&D/kMO 5SV w71*
B|9[DNd 光栅特性与参数的严格分析
*^[m?3"W E~}@56ER} 不同光栅周期下的衍射效率
X%(1C,C( B
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N"/J1
Z4ekBdmCL 关于光栅周期选择的考虑
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;]gj:6M +"} #4 偏振相关的衍射特性
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Q*jNJ^IW N[=c|frho 通过参数优化进行光栅设计
gn-@OmIs TmviYP gb 固定周期的2D参数优化
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<@.!\ 2D参数优化–设计1
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$I0&I[_LzK '@6O3z_{ 2D参数优化–设计2
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_-=yD@;[D O'rz 制造
公差分析–设计2
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!8Y$} 0{^ 0>H0 变化光栅周期的3D参数优化
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R4_BP5+ [iXk v\ 制造公差分析
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zhZ!!b^6< Mni@@W 走进VirtualLab Fusion
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)+ (GE ]q`'l_O VirtualLab Fusion中的工作流程
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VX B<{Yj}..
'O^<i`8U] Xmny(j)g •构造光栅
结构 IkP; i_| −
通过使用界面来配置光栅结构 ThiM6Hb [用例]
2{|mL`$04< •分析光栅衍射效率
]?*'[ −
光栅级次分析器[用例]
b"JX6efnN •使用参数运行搜索初始解决方案
^k2g60] −
参数运行文档的使用[用例]
$tqr+1P •通过参数优化找到最终设计
,a34=, /B!Ik:c} VirtualLab Fusion技术
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GL-Pir Sa9p#OQ 文件信息
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