摘要
t<p#u=jOa #cfiN b}GX 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
SH{@yS[c! G;G*!nlWf 0!\C@wnH ;`78h?` 建模任务
wf\"&xwh? Sv n7.Ivep @.eN+o9| 光栅特性与参数的严格分析
NZvgkci_(u bkV<ZUW|; 不同光栅周期下的衍射效率
L@S\ rImw D$}8GYq M%S7cIX
]F ~v;I>ij 关于光栅周期选择的考虑
,<rC,4-F< (u@:PiU/eP _`udd)Y2 +#FqC/`l 偏振相关的衍射特性
6dIPgie3w bej(Ds0 Te+(7
Z lKf58
mB <a6pjx>y g-sNYd%?a t`Z'TqP R H0af u)$, 通过参数优化进行光栅设计
="voJgvw Z=a%)Ki?Ag 固定周期的2D参数优化
F06o-xH= v76Gwu$d ^^N|:80 2D参数优化–设计1
`}Zqmfs TJ"-cWpO1 lx:$EJ GmH DG- 2D参数优化–设计2
Z3S+")^ Z}+}X| dR S:S_ _i05'_ 制造
公差分析–设计2
~7PD/dre d0:LJ'<Q L
kK
*. 0caZ_-zU 变化光栅周期的3D参数优化
Y2r}W3F= >C|pY6 LiG$M{ 0 *dw.=a9 制造公差分析
tMxde+$y }>@\I^Xm, p) 8S]p] (7Z+ De? 走进VirtualLab Fusion
!D??Y^6bI <mn[- Z`S#> o /hl'T'RG VirtualLab Fusion中的工作流程
6'# 5Dqw"r ) D@j6r pa>C}jk}6 =1IK"BA2? •构造光栅
结构 d0(zB5'} −
通过使用界面来配置光栅结构 E5ce=$o [用例]
uM2@&)u •分析光栅衍射效率
k =! Q −
光栅级次分析器[用例]
'ITq\1z •使用参数运行搜索初始解决方案
$mQ0w~:@ −
参数运行文档的使用[用例]
5BVvT
`< •通过参数优化找到最终设计
p'R<yB)V &hYgu3O VirtualLab Fusion技术
K<>kT4 F3|^b{'zO , PlH| FNQ<k[#K'~ 文件信息
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