双束FIB---Scios 2 DualBeam

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使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 ALFw[1X  
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 wc;5tb#  
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 {r Gx*<e  
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 $jm'uDvm  
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 5ewQjwW0  
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 ?&?y-&.5-  
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 HGPbx$!  
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通用型高性能双束系统 (A1!)c  
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 U\51j  
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，  是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 l9n8v\8,o  
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高质量 TEM 制样 *G=n${'  
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific 'Y[\[]3[8  
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 eM8u
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高质量内部和三维信息 /H\ZCIu/7  
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 Am-JB
 
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 'A4Lr  
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　　（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。  }UX>O  
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 b+hZ<U/  
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，  系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信  息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松  地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 wjY3:S~  
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帮助所有用户提高生产力 P4s:wuJ^  
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 F> ..eK  
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 X^"95Ic  
真实环境条件的样品原位实验 D`Fl*Wc4H  
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 #U'n=@U@(  
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， YckexfL  
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品  台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 %2V_%KA  
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电子光学 ([s2F%S`@  
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: T"3WB o  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 O75i
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· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 $vicxE~-E  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 az7L0pp  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ,OG sx  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 *S*;rLH9c  
· 两级扫描偏转 o:m:9d
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· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 &EZ28k"x  
· 快速电子束闸* 4uD!-1LT@  
· 用户向导和镜筒预设 ?f:FmgQk  
· 电子源寿命至少24个月 ar R)]gk 7  
电子束分辨率 ZCV&v47\p_  
最佳工作距离下 jR*1%.Ng  
· 30keV 下 STEM  0.7nm :QB Wy  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm Iy\K&)5?  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* !%sj-RMvG  
^+!!:J|ra  
电子束参数 ; *r5 d+]  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA %5$yz|:  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调)

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· 放大倍数范围：40x-1200x L/#^&*'B  
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm d8e6}
C2v  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 x>7}>Y*(  
离子光学 rWAJL9M  
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 e&#qj^  
· 加速电压范围：500 V - 30 kV 2Q0fgH2  
· 离子束流范围：0.6pA  65nA（数值显示） |-=^5q5  
· 15 孔光阑 !/sXG\  
· 标配不导电样品漂移抑制模式 89?AcZ.D  
· 离子源寿命至少1,300小时 D'c,z[  
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） BPwFcT)i!(  
探测器 -"#;U`.oh7  
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） z'XFwk  
- T1 分割式透镜内低位探测器 ){ArZjG>  
- T2 透镜内高位探测器 pd/{yX M  
- T3可伸缩镜筒内探测器* r^q@rL>   
- 可同步检测多达四种信号 I~gU3(  
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 Z<;am  
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* +)dQd T0Fq  
· DBS  可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* s^)wh v`C  
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * ZQZ>{K  
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 ":tQYo]d  
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* 2a3i]e5Kt  
· 电子束流测量* %\Z{~(&-v  
样品台和样品 mtOCk 5E  
灵活五轴电动样品台： 3T+#d-\  
· XY范围：110mm 9Qst5n\Z  
· Z范围：65mm 2<y!3OeN  
· 旋转：360 °（连续） :?O+EE  
· 倾斜范围：-15°到 +90° 049E#[<Q"  
· XY重复精度：3μm Gn>#Mvq  
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm g!,>.  
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） NffZttN  
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样  品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） Zx@/5!_n.  
· 同心旋转和倾斜 'P3CgpF<Z2  
真空系统 NnRR"'  
· 完全无油的真空系统 hB]4Tn5H  
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） ep>*]'  
· 抽气时间：208秒 ]X ,f  
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 {=pRU_-^  
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样品仓 /J")S?. [u  
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 z^;*&J   
· 端口：21个 :<=A1>&8  
· 内径宽度：379mm \#?n'qyj  
样品托 G|*^W;(Z  
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 f
RS)YE@a:  
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 f|P%  
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 7A@]t_83Y  
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* |j3mI\ANF  
系统控制 (U#4j 6Q  
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 BG\g`NK}Z  
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 z~i=\/~tZ  
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 -!zyit5B  
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） PQ9.aJdw@-  
· Joystick 操纵杆* EdbLAagI6  
· 多功能控制板* x%Ivd  
· 远程控制和成像* o&g-0!"  
图像处理器 5v<X-8"  
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 mltG4R ?  
· 最高 6144 × 4096 像素 ,Wtod|vx\U  
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 lv\C(^mGq  
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) vs]#?3+  
· DCFI (漂移补偿帧积分) ?nN3K   
支持软件 u2%/</]h  
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 fbgq+f`\  
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 f4eLnY  
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 /G[; kR"  
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 %P05k  
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 R-CFF  
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 VbQ9o  
· 光学图像上的样品导航 t 1gH9  
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 |O =Fz3)  
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 `3GC}u>}  
· 智能扫描功能Smart Scan o0t/  
· 漂移补偿帧积分功能DCFI X-[_g!pV  
· 蒙太奇导航功能 #Q320}]{  
· 具备束流测量装置 s2s}5b3  
· 实时观察离子束加工的监控功能 ANgfG8>  
$C@v
  
Thermoscitific原装配件* yf5X=f.%@  
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: eTVI.
B@p  
- 铂沉积 rBG8.E36J  
- 钨沉积 H]>b<Cs  
- 碳沉积 |_7nvck  
- 绝缘体沉积II &aD]_+b  
- 金沉积 u7R:7$H  
- 增强刻蚀（碘、专利） ^D`ARH  
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) -OY[x|0  
- Delineation EtchTM（专利） E5@U~|V[  
- 二氧化硅增强刻蚀 eF)vx{s  
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 %{'hpT~h  
- 更多束化学选项可按要求提供 ,jVj9m  
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 _h;#\ )%~  
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 P5{|U"Y_  
· 漂移：49 nm/min u`GzYG-L  
· 步长精度：49nm 4'L%Wz[6  
· FIB荷电中和器 i&KD)&9b#  
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ =+@IpXj  
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL )<W6cDx'H+  
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 &}sC8,Sr  
· DualBeam 系统冷冻解决方案： |4RuT .-o  
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 eq>E<X#<  
- 第三方供应商提供的解决方案 ]u~6fknm  
· 隔音罩 %*4
Gx +b  
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 %) A-zzj  
· 集成等离子清洗 L_$M9G|5n  
G}.t!"  
软件选项 p_z_d6?  
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 jTjGbC]X  
STEM 样品制备 SVvR]T&_  
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 NUiNn 7C  
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 %DJxUuh  
· Avizo 三维重建及分析软件 |UbwPL_L  
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 r
+X%0@K  
采集、拼接和关联 Y>eypfK"  
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 6.fahg?E  
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 \A-w,]9^V  
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 )2c[]d/a4  
· 基于Web的数据库软件 3W*O%9t7  
· 高级图像分析软件 pfCNFF*"  
保修和培训 dL9QYIfP  
· 1年保修 ;1`NsYI2  
· 可选维修保养合同 n~/#~VTVe  
· 可选操作/应用培训合同 0>jo+b\D$  
文档和支持 cB5|%@$I  
· 在线用户向导 "DV.%7*^  
· 操作手册 :hB 8hTw]p  
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）