[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Sd}fse  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -N*g|1rpa  
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建模任务 Yb414K  
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概述 cXtL3T+  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^:LF  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0nG& LL5  
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光线追迹仿真 5|Vb)QBv%  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H;Z{R@kf  
•单击go！ <&b ~(f  
•获得了3D光线追迹结果。 @q[-,EA9  
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光线追迹仿真 tE<L4;t  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ff%m.A8d,4  
•单击go！ V ;"?='vVe  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 eAm7*2  
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场追迹仿真 m <aMb  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3J%jD  
•单击go！ Qt]nlui~  
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场追迹仿真（相机探测器） [Z~>7ayF+)  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :8yrtbf$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m6+2rD  
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场追迹仿真（电磁场探测器） \`|,wLgH  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7o0ej
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场追迹仿真（电磁场探测器） )u3<lpoTy  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r$G;^  
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