[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 aJts  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =v}.sJ V?  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 K`sm  
H+Wd#7l,  

图片:1-1911251A00R22.png

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概述 l%O-c}X  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &DV'%h>i=  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4KKNw9L)  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 :>;#/<3{  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5VN4A<))  
•单击go！ /\.kH62  
•获得了3D光线追迹结果。 Z'~5L_.]Ai  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 h0`)=  
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u  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Co M8  
•单击go！ q:'(1y~  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 JmK+#o  
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图片:1-1911251A311b4.png

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DI\^+P  
场追迹仿真 j(SQNSFD  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 otOl7XF  
•单击go！ AxeWj%w@  
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图片:1-1911251A335531.png

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j EX([J1  
场追迹仿真（相机探测器） {>:2Ff]O:  
TF'ssD  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LZeR.8XM>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Au {`oxD  
&45.*l|mo  

图片:1-1911251A41O04.png

NO&OuiN  
t :_7O7  
场追迹仿真（电磁场探测器） O;XF'r_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #X)s=Y&5!T  
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图片:1-1911251A519A0.png

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D -jew&B  
场追迹仿真（电磁场探测器） ]KfHuYjM  
?;$g,2n  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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文件信息 oxRu:+N
 
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