[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Sh(ys*y>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Wo "s;Z  
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建模任务 ~6;I"0b5  
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概述 svmb~n&x6  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /ugWl99.W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~-k,$J?7  
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光线追迹仿真 )xy>:2!#Y  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LL e*|:  
•单击go！ ];k!*l
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•获得了3D光线追迹结果。 a_c(7bQ  
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光线追迹仿真  ijOp{  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #A5X,-4G  
•单击go！ W!<7OA g$  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 LVg#E*J  
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场追迹仿真 *1EmK.-'u  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N~flao^  
•单击go！ Jpduk&u  
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场追迹仿真（相机探测器） )'m;a_r`  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o:{Sws(=  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bRu9*4t  
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场追迹仿真（电磁场探测器） KNmU2-%l  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _6fy'%J=U  
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场追迹仿真（电磁场探测器） RVAku  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (xW+* %  
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