[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 #)`\!)?  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 K#wK1
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建模任务 n]v7V&mj\  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 xDUaHE1co  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2uL9.q  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7`dY1.rq  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 /
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !k-` eJ|  
•单击go！ EHhd;,;O  
•获得了3D光线追迹结果。 9~~UM<66W  
. ,R4WA,  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 )2V@p~k?  
G0/>8_Q>Nr  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :Y^I]`lR"  
•单击go！ |xeE3,8  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {*$9,  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 >A=\8`T^  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4TVwa(cB  
•单击go！ JiA'BEJN  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） \igaQ\~  
gc,Ps  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M _(2sq  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :1MMa6  
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图片:1-1911251A41O04.png

OD|1c6+X  
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场追迹仿真（电磁场探测器） /< QSe  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O,irpQ  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） Vhph`[dC{  
K(OaW)j
 
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ve-8*Xa  
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文件信息 [b;Uz|o  
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