[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 DHzkRCM
 
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bp%S62Dj  
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建模任务 #!d]PH746  
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概述 *?N<S$m  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,n5a])Dg  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 xid:"y=_&  
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光线追迹仿真 *w 21U!  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Tc_do"uU  
•单击go！ sVoR?peQ  
•获得了3D光线追迹结果。 %EoH4LzT  
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光线追迹仿真 Ilef+V^qr  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5H!%0LrJg=  
•单击go！ \n(
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8KKz5\kn7  
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场追迹仿真 * gHCy4u{  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 QQ~23TlA  
•单击go！ qmID-t"  
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场追迹仿真（相机探测器） Um'Ro4  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?OO%5PSen  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B~rU1Y)  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Dt|fDw$]D  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R9r)C{63S&  
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场追迹仿真（电磁场探测器） %HVD^. V  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FH[#yq.Pr  
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文件信息 B6uRJcD4  
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