[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 z8Q!~NN-K  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ts5)r(  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 ;b$P*dSG}  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Z*%;;&?  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L"bOc'GfQ  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 06&J!,p :  
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图片:1-1911251A211D3.png

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uN|A}/hr]  
光线追迹仿真 l!mbpFt  
Mt[yY|Ec|  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3Vb4zZsl  
•单击go！ Gm=qn]c  
•获得了3D光线追迹结果。 *o6}>;  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 $*yYmF  
o.+;]i}D  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Yh":>~k?SY  
•单击go！ [2%[~&4  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =kjKK
  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 OxlA)$.hpu  
(m~>W"x/  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 88
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•单击go！ jkAjYR.  
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图片:1-1911251A335531.png

D!<F^mtl  
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场追迹仿真（相机探测器） |.<_$[v[x  
8Sbz)X  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j{@O%fv=  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [GwAm>k  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） }V?m =y [  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j6 wFks  
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图片:1-1911251A519A0.png

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=Tj{)=^/#  
场追迹仿真（电磁场探测器） Wn%P.`o#  
O[@!1SKT0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9:j?Jvw$  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 TOwd+]B  
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