[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 a3?D@@Qnw  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %M KZ':m  
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建模任务 <f+
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概述 Okt0b|=`1*  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gdKn!; ,w#  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 r'5~4'o$  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 gLGu#6YVu  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5S&'O4yz^  
•单击go！ e <]^7pz  
•获得了3D光线追迹结果。 THcK,`lX@  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 +T|M U  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @_ Q  
•单击go！ ~0 5p+F)  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 aUVJ\;V  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 W7 iml|WV0  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +&j&es  
•单击go！ ^S]-7>Yyr  
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图片:1-1911251A335531.png

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vy&< O  
场追迹仿真（相机探测器） qT}AY.O%^  
hynX5,p;.  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8;vpa*  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,dZ&i!@?  
+dB/SC-^U  

图片:1-1911251A41O04.png

q[rBu9  
6&Al9+$  
场追迹仿真（电磁场探测器） FR%u1fi  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3\~ RWoB0u  
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图片:1-1911251A519A0.png

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C~PoC
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场追迹仿真（电磁场探测器） /-_<RQ  
RXZ}aX[h  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7 g2@RKo  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 }%m:^*@$9  
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