[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 z9HQFRbo[  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -|[_j$g  
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建模任务 zp4ru\  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 ";s5It  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 iZMsN*9[  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $:u,6|QsS=  
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8@hzw~>  
光线追迹仿真 o95O!5 h
l  
*|t]6!aVLS  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]nX.zE|F  
•单击go！ R8'yQ#FVy  
•获得了3D光线追迹结果。 k 5"
3*  
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图片:1-1911251A23G14.png

R1Pnj
 
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光线追迹仿真 ^<E+7  
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E  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MT6kJDyLu  
•单击go！ &]LwK5SR  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5?O/Aub  
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图片:1-1911251A311b4.png

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H<1?<1^  
场追迹仿真 t*qA.xc6  
K&)a3Z=(.  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 JA(nDD/;  
•单击go！ zl: u@!'  
{Y0I A97,  

图片:1-1911251A335531.png

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COHJJONR  
场追迹仿真（相机探测器） ]UgAz  
e< CPaun  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )F~>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 .oK7E(QJ  
E`?BaCrG~  

图片:1-1911251A41O04.png

]~K&mNo  
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场追迹仿真（电磁场探测器） i;xg[e8.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 KPR{5  
M:I,j  

图片:1-1911251A519A0.png

vlPE8U=  
$U8ap4EXM  
场追迹仿真（电磁场探测器） 9~; Ju^b  
l?R_wu,Q  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aDOH3Ri0K!  
J<BdIKCma  

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文件信息 }w-`J5Eq#  
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