摘要
{974m` 5 z')'8155 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
,^3D"Tky 61]6N;kJ; NXV %j},> kmf4ax
h1 建模任务
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s;/_ 3 . @W.GG8 iU &V}p 概述
OS3J,f}<= 9QpKB
c •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
p7z# 4 GW •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
#2pg h? 2oN lQiE_ ZnQnv@{8 l 6 D$xG"c 光线追迹仿真
>IRo]-, Axr 'zc •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
'h:4 Fzo< •单击go！
7 |2:;5:U •获得了3D光线追迹结果。
1vobfZ-w9 #pf}q+A fx*Swv%r C?z C|0 光线追迹仿真
i22R3&C
bo]k9FC •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
__zsrIUJ •单击go！
PoC24#vS •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
zj8 ;ENhEI sR5dC_ FC(m)S2 t ]Vw` z%G 场追迹仿真
t hS#fO4]d w=OT^d 9n •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
aFhsRE?YC= •单击go！
{D7!'Rq, 0\.y0
K8 Wc(?ezn Nz2} Ma 2 场追迹仿真（相机探测器）
0^hz 1\g X2s=~)`#c •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
J9{B •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
[ 3j]r{0I Q}G 55hJRm3 ?onZ:s2 场追迹仿真（电磁场探测器）
z]tv y). •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
F> ..eK ww=< = :I1bGa&I r0_3 `; H 场追迹仿真（电磁场探测器）
e=Yv M g P[^!Uq[0n7 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
)5bhyzSZI T?Gi;ld7 |rsu+0Mtz ?eeE [F 文件信息
^8B#-9Ph b cJL>,Z<|% b>G!K)MS3 QRx' BY$5 更多阅读
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Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer )0!hw|0| -
Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination @eR>?.:& _8t{4C （来源：讯技光电）
