[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ki1(b]rf  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *g5bdQ:Av~  
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建模任务 gt{kjrTv&  
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概述 U]hqRL  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 aH}/+Hu-  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 bBIh}aDN  
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光线追迹仿真 1UP {j`-K|  

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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HT<p=o'$Z  
•单击go！ ^0]0ss;##R  
•获得了3D光线追迹结果。 8}n<3_  
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光线追迹仿真 Q/o,2R  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N~/'EaO  
•单击go！ i1evB9FZ1z  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UPtj@gtcY  
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场追迹仿真 L{/% "2>  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $+j1^  
•单击go！ E&9<JS  
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场追迹仿真（相机探测器） k4Q>J,k  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,I"T9k-^  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `r$7Cc$C  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 97liSd  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q7 PCMe  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ZLjAhd)  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9a*#r;R  
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文件信息 4jXo5SkEJ  
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