[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 m%0-3c(  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 <vcU5 .K.  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 xMr,\r'+  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'K4FS(
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 w_{tS\  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 4Ly>x>b<  
vRe{B7}p;  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o2 ng  
•单击go！ ZWkRoJXNi  
•获得了3D光线追迹结果。
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k[@P526  

图片:1-1911251A23G14.png

?xR7Ii3  
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光线追迹仿真 -rO34l  
G
 _cJI  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @v2<T1UC  
•单击go！ f$dPDbZQ  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )JzY%a SP  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 _:Qh1&h  
f3O6&1D  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v@$N,g  
•单击go！ v@zi?D K  
8e?/LA%MU  

图片:1-1911251A335531.png

uG\~Hxqw7O  
D|q~n)TW5  
场追迹仿真（相机探测器） dJR[9T_OF  
"0HUaU,
e  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m?(8T|i  
)'kpO>_G  

图片:1-1911251A41O04.png

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iTHwH{!  
场追迹仿真（电磁场探测器） 9w-\K]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F'XQoZ* 1  
-+ByK#<%  

图片:1-1911251A519A0.png

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@bg9 }Z%\h  
场追迹仿真（电磁场探测器） !R8%C!=a  
LSta]81B4L  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t9`{^<LH  
-K/+}4i3N  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 9d"*Z%!j  
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