[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 `|Z}2vo;j  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 F'RUel_%  
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建模任务 OW;tT=ql  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 9=l.T/?sf  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p zw8T  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Nh?|RE0t  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 } l667N  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {2d_"lHBt  
•单击go！ n 1b(\PA
 
•获得了3D光线追迹结果。 IXLO
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光线追迹仿真 TA18 gq  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gO?44^hMe  
•单击go！ NR%Y+8^M  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }Nj97R  
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场追迹仿真 |iYg >  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &$FvWFRh#  
•单击go！ 6(&Y(/  

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场追迹仿真（相机探测器） +Lm4kA+aE5  
"bQ[CD  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fG L
G$b  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 or*HC&c7  
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场追迹仿真（电磁场探测器） km5~Gc}  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I+ l%Sn#\  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） u^W2UE\  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eJ8]g49mD6  
* A|-KKo\  

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文件信息 yoe}
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