[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 dBsX*}C  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4P
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建模任务 t9gfU5?  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 # M,
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2'jOP"G  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /gcEw!JS  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 p=GWq(S6  
in <(g@Zg  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "eWk#/  
•单击go！ a?} .Fs  
•获得了3D光线追迹结果。 NvE}eA#
 
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ;a=w5,h:  
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hj  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d4:
`@*
 
•单击go！ ,)+o  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {%)s.5Pfw  
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图片:1-1911251A311b4.png

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CujJ  
场追迹仿真 !?f5>Bl  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HD,xY4q&N  
•单击go！ 'C$XS>S  
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wS+V]`b  
I +5)Jau^S  
场追迹仿真（相机探测器） I4;A8I  
3<=,1 cU  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;Mm7n12z C  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^m#-9-`  
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图片:1-1911251A41O04.png

'ckQg=zPR  
eAUcv`[#p  
场追迹仿真（电磁场探测器） 5Dp#u  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sb:d>6  
J]W5[)L  

图片:1-1911251A519A0.png

OJT1d-5p  
 [=O/1T  
场追迹仿真（电磁场探测器） rqv))Zo`  
6-`|:[Q~  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V^y^ ;0I}[  
Z UKf`m[  

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文件信息 pY4}>ju(g  
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