[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 wG1y,u'  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *u>lx!g  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 p%q.*trUb9  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Ia629gi5s  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &<,SV^wag  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HH)"]E5  
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图片:1-1911251A211D3.png

&E bI Op  
P+<BOG|m  
光线追迹仿真 C
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n*Q`g@`  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P|e`^Frxt  
•单击go！ bGv*-;*  
•获得了3D光线追迹结果。 CI`N8 f=v  
5Go0}'*%  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 kG/X"6pZ  
}A]BpSEP  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dUS ZNY  
•单击go！ aG%kmS&fv  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^[k0k(_  
`} =yG_!A  

图片:1-1911251A311b4.png

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E
\0X`QeY  
场追迹仿真 <FY&h#  
u~W{RHClW  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jM~Bu.7 i6  
•单击go！ y&"!m}  
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图片:1-1911251A335531.png

B2 c@kru  
#,L~w  
场追迹仿真（相机探测器） $I@GUtzjp  
5IW8=$k~.)  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 DkgUvn/S  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1dFa@<5  
<l$P&jSF3  

图片:1-1911251A41O04.png

yGTziv!  
m9$a"$c  
场追迹仿真（电磁场探测器） rK1-Mu  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u$%A#L[  
fc@'9-pt  

图片:1-1911251A519A0.png

;QBh;jg4  
KOey8tB)1  
场追迹仿真（电磁场探测器） zB*euHIqZ  
2j&v;dmh<  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vJ"i.:Gf4  
)%mg(O8uL  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 h >-'-Hx+  
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图片:1-1911251A6203V.png

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