[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]]oI#*c  
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建模任务 u (em&M  
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概述 QT>`^/]d  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'gTbA?+@5  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2-C!jAfd  
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光线追迹仿真 5yzv|mrx  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M>i9i-dU  
•单击go！ /Q2mMSK1h  
•获得了3D光线追迹结果。 Z(ACc9k6:'  
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光线追迹仿真 S'_-G;g.  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 A.EbXo/  
•单击go！ }L#_\  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jO1r)hw N>  
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场追迹仿真 -wSg2'b4E  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /$'AjIg4:&  
•单击go！ V9dF1Hj  
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场追迹仿真（相机探测器） o8-^cP1  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @++.F
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Bhp-jq'!B  
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场追迹仿真（电磁场探测器）  .5y+fL  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gm[z[~
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场追迹仿真（电磁场探测器） .b6VQCS~9  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &qr;IL7'  
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文件信息 NwG= <U*  
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