[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 9GnNL I{  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p},6W,f  
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建模任务 ?WWnt^  
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概述 "Kk3#  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ie$QKoE  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Du>dTi~  
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光线追迹仿真 E0=-6j  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;VS;),h/  
•单击go！ /vPh_1  
•获得了3D光线追迹结果。 9bjjo;A  
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光线追迹仿真 wgSA6mQZ  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y]=v+Q*+  
•单击go！ tklU zv  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wP1dPl_j:0  
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场追迹仿真 1W-t})!a  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ) 0$7{3  
•单击go！ }jTEgog  
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场追迹仿真（相机探测器） !.L%kw7z  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /exV6D r  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 uf`o\wqU  
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场追迹仿真（电磁场探测器） :RHNV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a#!Vi93  
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场追迹仿真（电磁场探测器） !`,6E`Y#  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dT,X8 "  

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文件信息 j3`:;'L  
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