摘要
d~d~Cd` V Jxb+NPUB 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
( (mNB]sy !P:~oo = [ \i1I`7pE "6'# L, 建模任务
zQ eXN7$ o@\q 6xl . \h/aD1 &g 概述
Y'LIk Q\ u-Ip *1/wp •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
} SA/,4/9 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
l3/? ,xn /?8rj3 'r`-J4i cX Yyh X%S % 光线追迹仿真
Q,f5r%A. k!,&L$sG •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
hz+x)M`Y •单击go！
Hb *&& •获得了3D光线追迹结果。
t?kbN\, |a {*r . j.rJfbE|X Zz04Pz1 光线追迹仿真
aq,? )![? JXf •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
0~X Z •单击go！
*X lnEHv •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
n.xW"omN g)k::k)<e -i?- Xj#% 6ax|EMw 场追迹仿真
9a9{OJa6M )b AcU •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
|P]>[}mD •单击go！
p[%FH? f~? MNJ2 2^7VDqLc 4jl-? 场追迹仿真（相机探测器）
5zF7yvS.w ;HeUD5Nt6F •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
Hi<5jl •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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R e'z[JG= _6 |lw&o07 (-(sBQ a+ 场追迹仿真（电磁场探测器）
B@Q Ate7 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
C_ = WL( C2< /.jeLa q G%'Lt F|XRh 6j 场追迹仿真（电磁场探测器）
J_A5,K*r| 0Y9\,y_ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer E8~Bp-G) -
Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Y\ len N (W ;(7 （来源：讯技光电）
