[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ^xh;  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R:k5QD9/&p  
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建模任务 &c:Ad% z  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Z99>5\k
 
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J)~L   
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U`d5vEhT  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 FUOI3  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @zz1hU  
•单击go！ $!(pF  
•获得了3D光线追迹结果。 6&l+0dq  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ?zVL;gVWA  
M8Z2Pg\0  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 : b~6i%b  
•单击go！ [uls8 "^/j  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,%Up0Rr,  
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场追迹仿真 p2udm!)J  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <l9-;2L4  
•单击go！ 88h3|'*  
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图片:1-1911251A335531.png

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@kU@N?5e  
场追迹仿真（相机探测器） xz{IH,?IG  
FMkzrs  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H;fxxu`cS  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MxcFvo*LCp  
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图片:1-1911251A41O04.png

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@wC5 g 4E  
场追迹仿真（电磁场探测器） /'DsB%7g  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -!L"'
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图片:1-1911251A519A0.png

`z )N,fF  
ku a) K!  
场追迹仿真（电磁场探测器） @b~fIW_3>  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3lq Mucr  
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文件信息 $gM8{.!  
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