[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 &B}Lo  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2R~6<W+&:>  
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建模任务 Gu5~DyT`G  
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概述 cA<<&C  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }g>kpa0c  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {-HDkG' 8  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 s D_G)c  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Tp?-*K  
•单击go！ #,&8&  
•获得了3D光线追迹结果。 lkb2?2\+  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 :N2E}hx
k  
^2EhlK^)  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /P
k:4,  
•单击go！ 3htq[Ren  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fJ
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场追迹仿真 :m Kxa  
? Vp%=E  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F;P5D<  
•单击go！ +Rqbf  
M\9F:.t=  

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RDJ+QOVKg  
b/u8} J  
场追迹仿真（相机探测器） Q_]~0PoH  
.*Vkua  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =We2^W-{
 
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RBE7485  
WL U}  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） d)tiO2W  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s?c JV`  
OPuj|%Wgw  

图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） j;\[pg MR/  
 $:EG%jl  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^=+e?F`:
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文件信息 BvK QlT  
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