[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 "pl[(rc+u  
N~0$x,bR  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ":z@c,  
uRs9}dzv  

图片:1-191125164532947.png

ZS|Z98  
N6f%>3%1|.  
建模任务 >4#tkv>S.  
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图片:1-1911251A00R22.png

8Q)y%7{6  
概述 Mof)2Hbd:  
Mj,2\ijNM  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
!zF4 G,W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Dt (:u,%  
}]Qmt5'NI  

图片:1-1911251A211D3.png

~F=#}6kg_  
IcO9V<Q|  
光线追迹仿真 sCL/pb]  
:v''"+\  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =/M$ <+  
•单击go！ XC57];-  
•获得了3D光线追迹结果。 Qdh"X^^  
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图片:1-1911251A23G14.png

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56VE[G  
光线追迹仿真 [%7IQ4`{  
Z={UM/6w  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $Cut  
•单击go！ .[]{
 Q  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |~Htj4K/  
X*43!\  

图片:1-1911251A311b4.png

CvgPIrl  
F<H`8*q9  
场追迹仿真 bEEJVF0  
cob9hj#&7  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Sj,4=a  
•单击go！ qYQUr8{  
la!1[VeL  

图片:1-1911251A335531.png

O1l4gduN|i  
c4FOfH|  
场追迹仿真（相机探测器） >Lo6='G  
#mi0x06  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P6.)P|n7=  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6kgCS{MZ  
'33Yl+h  

图片:1-1911251A41O04.png

,APGPE}I[  
z{7,.S u  
场追迹仿真（电磁场探测器） 7"h=MB_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UEx(~>  
rPrEEWS0)  

图片:1-1911251A519A0.png

)dUd`g  
B'P,?`  
场追迹仿真（电磁场探测器） z+5u/t  
,3g]=f  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
WzNG<rG  
NzwGc+\7}  

图片:1-1911251A5594c.png

Ae,2Xi  
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文件信息 #!K~_DL  
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图片:1-1911251A6203V.png

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