[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 {iXQUj  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O%s7}bR3  
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建模任务 .k
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概述 zX8'OoEH*9  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 eNDc220b  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 VXPsYR&  
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光线追迹仿真 \=c@  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZFC&&[%-sG  
•单击go！ ]|QA`5=$  
•获得了3D光线追迹结果。 &SMM<^P.  
*#.Ku(C+  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 wBCBZs$H  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,a3M*}Y~3  
•单击go！ 9~v#]Q}Z}4  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .h-k*F0Ga)  
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场追迹仿真 ({<qs}H"  
>P}6/L  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^S:I38gR#q  
•单击go！ ? @- t.N  
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图片:1-1911251A335531.png

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%'MR;hQsd8  
场追迹仿真（相机探测器） m!WDXt  
(m() r0:@  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Na.)!h_Kn'  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 QV8;c^EZ  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） @<$_X1)s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y'?{yx{  
b?:SCUI  

图片:1-1911251A519A0.png

T#3`&[  
ug?#Oa  
场追迹仿真（电磁场探测器） Lf+3nN  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g7r0U6Y  
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文件信息 sDS0cc6e  
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