[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 qhdY<[6
 
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 HX;JO[0  
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建模任务 CFLWo1  
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概述 F}f/cG<X  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _Q**4  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8h.Dc&V  
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光线追迹仿真 /8Sr(  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8]`LRzM  
•单击go！ 33M10 1X{6  
•获得了3D光线追迹结果。 ^Fn~@'  
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光线追迹仿真 2C@ui728  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8mmHefZ}2!  
•单击go！ pX/42W  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |z+K]R8_  
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场追迹仿真 (6Y.|u]bq  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e8Y;~OAj[  
•单击go！ 3G.-JLhs  
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场追迹仿真（相机探测器） J;|i6q q  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  ds#om2)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }#Q?\  
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场追迹仿真（电磁场探测器） m~<<ok_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &x#3N=c#  
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场追迹仿真（电磁场探测器） qJyGr ?  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6$y$ VeW  
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文件信息 r/e} DYL&  
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