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    [分享]VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-11-25
    摘要 7`7M4  
    J>M9t%f@  
    数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 3;jx Io$,  
    %INkuNa8\  
    e)s l  
    -~RGjx  
    建模任务 J3'q.Pc  
    1\{FKO t  
    e KuF7Oo  
    概述 Xn~\Vb  
    (:]+IjnE  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :W>PKW`^  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o/&K>]8M  
    qHheF%[\5  
    KL!cPnAUu  
    R@uA4Al  
    光线追迹仿真 8*Fn02 p  
    \ C$t  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /V cbT >=  
    •单击go! ?v:FGO  
    •获得了3D光线追迹结果。 HNc/p4z  
    O46v  
    } tBw<7fe  
    NB44GP1-@  
    光线追迹仿真 -awG1 4%  
    CY.92I@S  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B1Pi+-t  
    •单击go! FSz<R*2  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 K } T=j+  
    Wt@hST  
    "1XTgCu\  
    ~xDu2 -5  
    场追迹仿真 gH,Pz  
    0Ntvd7"`}  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _O Jfd  
    •单击go! m<k6oev$  
    =_ j<x$,b-  
    G; exH$y  
    T*8 S7l  
    场追迹仿真(相机探测器) liy/uZ  
    _<F;&(o  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LXJ;8uW2y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 N5`z S79W  
    ;; {K##^l  
    QBi]gT@&g  
    Z'uiU e`&  
    场追迹仿真(电磁场探测器) O&y`:#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tcRJ1:d  
    G;W2Z,  
    TF!v,cX  
    G9am}qr  
    场追迹仿真(电磁场探测器) O^6anUV0  
    SYf1dbc..u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z%T|L[(6  
    OAiv3"p  
    gs/ocu  
    zG/? wP"  
    文件信息 G3]#Du  
    l\Ww^   
    '3sySsD&O  
    W#^.)V  
    更多阅读 '|yCDBu  
    E8R;S}P A  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ;PMh>ZE`  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination 9iM%kY#)W  
    WcM\4q@  
    (来源:讯技光电
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-11-26
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