[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 MO(5-R`  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 W+-f `  
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建模任务 i >/@]2  
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概述 37<GG)  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JqH.QnKcv  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  ZeDDH  
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光线追迹仿真 ES:p^/=*  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H603L|4  
•单击go！ 6`{)p&9  
•获得了3D光线追迹结果。 dsft=t8s  
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光线追迹仿真 %@,:RA\pm  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uma9yIk  
•单击go！ vA $BBXX  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N'1[t  
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场追迹仿真 J5r L7  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -ZMl[;OM  
•单击go！ Wug?CFX+T  
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场追迹仿真（相机探测器） gj(l&F *@  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b+fy&rk@-  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;jfXU_K  
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场追迹仿真（电磁场探测器） hB1iSm  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j-\^ }K.&  
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场追迹仿真（电磁场探测器） rAi!'vIE  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i
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