[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 0~)_/yx?S  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v0d<P2ix  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 5Tb3Yy< .  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Ot^<:\<`G  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qd{h3K^hlu  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 F+lsza  
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图片:1-1911251A211D3.png

lrE|>R  
ThvVLK  
光线追迹仿真 2E*k@  
b{Qg$ZJeR  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _:0)uR LS  
•单击go！ _w'N&#  
•获得了3D光线追迹结果。 jOE~?{8m  
#nzVgV]  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 ,pg\5b  
+RuPfw{z  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G T3wJQ5N  
•单击go！ RH"
&B`  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 HZG<aY="  
VkD8h+)  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ]h`<E~  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ToNRY<!  
•单击go！ J4xJGO  
IIrXI8'}  

图片:1-1911251A335531.png

fV\ eksBF  
+dt b~M  
场追迹仿真（相机探测器） DH5]Kzb/  
8%Wg;:DZx  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 pFUW7jE  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 //ZYN2lT4  
4Y=sTXbFt  

图片:1-1911251A41O04.png

6z(eW]p  
3=SN;cn  
场追迹仿真（电磁场探测器） X`,]@c%C`  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x;G~c5  
'%D$|)  

图片:1-1911251A519A0.png

l5 FM>q  
] VN4;R  
场追迹仿真（电磁场探测器） <0,szw  
6*cY[R|q!  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c T[.T#I  
dV5aIj  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 X+:>&&9  
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图片:1-1911251A6203V.png

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