摘要
_NpxV'E ep*8*GmP 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
kQn}lD Blj<|\ igc l?Ibq} [~ wLvM< p7OX 建模任务
4[Wwm oR3t vw. lB8g D 概述
::-*~CH) n?9FJOqi •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
:-(qqC: •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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9o3? 光线追迹仿真
lnF{5zc \: B))y?}d •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
(Ap?ixrR _ •单击go！
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`< •获得了3D光线追迹结果。
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R6Pj"@0 2@I0p\a BKgCuz:y 光线追迹仿真
ksUF(lYk 6` Aw!&{ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
k)W&ZY •单击go！
dfZ`M^NU •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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QYdf? JC;& ]S. 场追迹仿真
agQD d8 oX $ ?|;w,%I •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
,ne3uPRu7~ •单击go！
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6|R3 场追迹仿真（相机探测器）
6qWWfm/6 8# x7q>? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
xJA{Hws •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
1xSG( ! M5L /3qLh1 IaU%L6Q] 2IUd?i3~l 场追迹仿真（电磁场探测器）
tf[)| /M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
,J:Ro N_: b[: { \ !I b`F]oQ_* !%.=35NS@E 场追迹仿真（电磁场探测器）
7:<A_OLi R aP,dR+P •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
6RDy2JAOP 'K#ndCGJ$ e*U6^Xex dcyHp>\)| 文件信息
4yjIR? 'g3T'2"`5 Wrh$`JC 1I)oT -~ 更多阅读
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Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer m(0X_& &?z -
Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination !e*T.
1Kz R z[3cN)?q （来源：讯技光电）
