[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 8|1`Tn}o  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~R :<Bw  
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建模任务 ?k [%\jq{a  
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概述 *f79=x  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D`~JbKV5@^  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HbNYP/MN3  
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光线追迹仿真 sa_R$ /H  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >Z *iE"9"  
•单击go！ :bwM]k*$  
•获得了3D光线追迹结果。 {T&v2u#S  
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光线追迹仿真 lY.B  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xS"$g9o0  
•单击go！ p"KU7-BfvC  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nB=0T`vQ  
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F<5nGx cC  
场追迹仿真 !6Q`>s]  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3wZ(+<4i  
•单击go！ I0DM=V>;  
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场追迹仿真（相机探测器） P<u"97@8a  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 co/7lsW  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MD<-w|#8IV  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Y;,Hzmbs6w  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Eq\DK  
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"x&3Z@q7  
JvkL37^n:  
场追迹仿真（电磁场探测器） .|uLt J  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 khAqYu")  
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文件信息 Jf)3< ~G  
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination u g\w\b  
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