[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 G8av5zR  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &aRL}#U  
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建模任务 iHPsRq!  
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概述 9#z$GO|
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c1Ks{%iA  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]RT  
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光线追迹仿真 &s".hP6  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cfIC(d  
•单击go！ (h0@;@@7hW  
•获得了3D光线追迹结果。 ,`Hwe
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 m!xv
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cr!8Tp;2A  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B'yjMY![  
•单击go！ n[jXqFm!`  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lx+;<la  
kPX+n+$  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 XM:BMd|  
x$d[Ovw-  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v
Fk@  
•单击go！ _WZx].|A=  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） .) Ej#mk  
hQ|mow@Zmz  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ic0Sb7c  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 zQ=b|p]|W  
oLoc jj~T  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） N?qETp-:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S(PV*e8  
NZ1B#PG,c  

图片:1-1911251A519A0.png

F7<mm7BGZ  
#f#6u2nF\  
场追迹仿真（电磁场探测器） O!"K'Bm  
d_,Mylk  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $]|3^(y``  
c[-N A  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 QP'sS*saJ  
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