[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 'oZ/fUl|7  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uA?_\z?  
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建模任务 41<.e`{  
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概述 3U&QonCV  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {d\erG
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v^aARIg  
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光线追迹仿真 @L%9NqE`O  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  J9oGwP  
•单击go！ q/,W'lQ\;  
•获得了3D光线追迹结果。 IKM=Q. 7j  
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光线追迹仿真 Yn,dM~|Cc
 
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 slEsSR'J]  
•单击go！ m:<cLc :.  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZpPm>|w  
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场追迹仿真 hu-fwBK  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  Tx35~Z`0  
•单击go！ VdR5ZP  
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场追迹仿真（相机探测器） @b2{'#9]}  
c"%XE#D  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %@L(A1"#D  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 __""!Yz  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3Juhn5&N  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xaWd\]UF  
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场追迹仿真（电磁场探测器） tv)x(MX  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ecA[  
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文件信息 38Lc|w  
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