[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ?eIb7O  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wQ/* f9  
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建模任务 -I|xW  
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概述 R ZY=c  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]nhh|q9r{  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N `|A  
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图片:1-1911251A211D3.png

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W`;;fJe  
光线追迹仿真 v|%41xOsr  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Jj-\Eb?  
•单击go！ D~6[C:m  
•获得了3D光线追迹结果。 uQ5h5Cfz  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 V)^Xz8H_  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .11l(M  
•单击go！ 1>J.kQR^  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p R'J4~  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 G?W:O{n3  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
2LwJ%!  
•单击go！ 9F/I",EA  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） A[Mke  
${ {4L?7  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,{_i{WV  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 / FcRp,"  
;kgP:n  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） }'oU/@yG  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xh@K89`uX  
yfG;OnkZ  

图片:1-1911251A519A0.png

cJo%j -AM  
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场追迹仿真（电磁场探测器） +4?Lwp'q  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UQl?
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文件信息 B7%,D}  
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