[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 dgco*TIGO  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {}g %"mi#  
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建模任务 oI_oz0nHk  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 1iNsX\M  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,C{^`Bk-W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -}Cc"qm  
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图片:1-1911251A211D3.png

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(ve+,H6w\  
光线追迹仿真 y Y>-MoF/t  
83KfM!w  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *.m{jgi1X  
•单击go！ ]{IR&{EI-  
•获得了3D光线追迹结果。 ~LawF_]6  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 X0y?<G1(a  
(O8,zqP9l  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ${hyNt  
•单击go！ VLcyPM@"Q!  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {q&@nm40  
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图片:1-1911251A311b4.png

Ro'jM0(KE  
CN.6E<9'kK  
场追迹仿真 ^Sy^+=wK3  
C(-[ Y!  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5oz>1  
•单击go！ 44|deE3Z  
Z0e-W:&;kF  

图片:1-1911251A335531.png

B/jrYT$;m  
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场追迹仿真（相机探测器） 2Sge  
f%2%T'Q  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %6AYCN?Ih  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [J~aAB  
C/F@ ]_y  

图片:1-1911251A41O04.png

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sf Dg/ a  
场追迹仿真（电磁场探测器） C@%iQ]=  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o;3j:#3 |  
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图片:1-1911251A519A0.png

z>6.[Z(T  
&oA~ Tx  
场追迹仿真（电磁场探测器） c#=&!FRe  
z{%oJ_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !q!"UMiG  
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文件信息 }A-{6Qe  
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