[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 9E`W
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~rnbuIh  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 \\ZR~f!<  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 fEv`iXZG  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WFr;z*  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X667*L^  
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图片:1-1911251A211D3.png

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Np2I*l6W  
光线追迹仿真 a:q>7V|%$  
cj[a^ ZH  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g3V bP  
•单击go！ S['rfD>9  
•获得了3D光线追迹结果。 %-nYK3  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 -RLY.@'d-M  
dnwTD\),  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ym% $!#  
•单击go！ 96(3il
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 sn!E$ls3O  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 mM[KT} A  
R^p'gQc$   
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k^H&IS!  
•单击go！ #oYPe:8|m  
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Mov  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器）
N1',`L5  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L2sUh+'|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *+i1m`6Q  
3 P=I)q  

图片:1-1911251A41O04.png

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JI3x^[(Z  
场追迹仿真（电磁场探测器） ?lPn{oB9"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |&oTxx$S  
gh?3[q6  

图片:1-1911251A519A0.png

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v 1.8]||^  
场追迹仿真（电磁场探测器） MwuRxeRO-  
A3uF 0A  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u\y$<  
_'*Vcu`Y  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 d}w}VL8l  
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图片:1-1911251A6203V.png

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