[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 <5Ft3sd  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4 h}03 oG  
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建模任务 r
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概述 +ZuT\P&kR5  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !v^{n+  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 c~_nOd  
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光线追迹仿真 Ino$N|G[  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M4%u~Z:4h+  
•单击go！ (s:ihpI  
•获得了3D光线追迹结果。 RK7vR~kf<  
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光线追迹仿真 -4rXOmiA  
+XaRwcLC.  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Se0!-NUK0  
•单击go！ [C8lMEV~  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #3b_#+,  
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场追迹仿真 @W4tnM,#  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {6_M$"e.  
•单击go！ e(e_p#  
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场追迹仿真（相机探测器） nC:>1kt  
E{LLxGAEZ  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GnX+.uQL|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 w^AY= Fc  
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场追迹仿真（电磁场探测器） #9(0.!v  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |S0w>VH>  
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场追迹仿真（电磁场探测器） li @:  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lQ8h-Tz  
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文件信息 L:.z FW,  
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer azs lNL  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination !J6;F}Pd/  
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