[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 $ReoIU^<  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S&N[@G  
X} <p|P+  

图片:1-191125164532947.png

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建模任务 jG~zpZh  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 cG{>[
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t{A/Lq9AM  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R{N9'2l:  
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图片:1-1911251A211D3.png

vK@t=d  
1VRexp  
光线追迹仿真 g<d#zzP"T  
,-({m'  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 57PoJ+  
•单击go！ Vm+e%  
•获得了3D光线追迹结果。 J)yNp,V  
=\uQGH  

图片:1-1911251A23G14.png

(4ueO~jb$  
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光线追迹仿真 5ctH=t0  
[3&Y* W  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LNm{}VJ%  
•单击go！ YhpNeP{A  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;G 27S<Q  
CB&$tDi  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ZMFV iE;8  
~x}/>-d  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vbXZZ  
•单击go！ ? dD<KCbP,  
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图片:1-1911251A335531.png

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i]sz*\P~  
场追迹仿真（相机探测器） gA`x-`  
/d<"{\o  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f[}N  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8 oK;Tzh  
]gxt+'iAFS  

图片:1-1911251A41O04.png

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_4H}OGZI  
场追迹仿真（电磁场探测器） Ujw J}j  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?z "fp$  
A$w0+&*=  

图片:1-1911251A519A0.png

!%pY)69gv  
kB`t_`7f  
场追迹仿真（电磁场探测器） ?hW?w$C  
[;IW'cXNq  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qT U(]O1  
T!GX^nn*O  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 GoVB
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