[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 K3La9O)>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4#TnXxL  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 D5=C^`$2  
O:2 #_  

图片:1-1911251A00R22.png

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概述 1Pu ,:Jt  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [`q.A`Fd  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 BeAk21xb  
h!QjpzQe  

图片:1-1911251A211D3.png

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sc<kiL  
光线追迹仿真 8^i\Y;6  
Mk<m6E$L  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JFe4/ V  
•单击go！ OE6#
YT  
•获得了3D光线追迹结果。  1U  
,Ie<'>hd  

图片:1-1911251A23G14.png

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P1$f}K}  
光线追迹仿真 S 9WawI  
bS,etd  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ubD#I{~J  
•单击go！ ?.8<-  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 q5!0\o:  
Tu==49  

图片:1-1911251A311b4.png

q{/*n]K  
EVWA\RO'\  
场追迹仿真 anLbl#UV  
!TGr.R  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {798=pC<.  
•单击go！ @ozm;  
wtq,`'B  

图片:1-1911251A335531.png

Xp#~N_S$  
[ ynuj3G V  
场追迹仿真（相机探测器） >)4.$#H  
K@HLIuz4t  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ln:lC( '  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 li@kLh  
%,XI]+d  

图片:1-1911251A41O04.png

1p~5h(jI  
bZu$0IG  
场追迹仿真（电磁场探测器） jBS'g{y-!  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iFSJ4 W(  
!f@XDW&R  

图片:1-1911251A519A0.png

1PmX."a  
>n(F4C-pl  
场追迹仿真（电磁场探测器） a`s/qi  
wBLsz/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rJX\6{V!_  
&h\7^=s.  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 Y^yG/F  
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图片:1-1911251A6203V.png

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