[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 TiF+rA{t  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 k61mRO  
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建模任务 Ow.DBL)x'>  
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概述 jM @N<k  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T\g+w\N  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 841y"@*BY  
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光线追迹仿真 p$qk\efv*4  
OM{^F=Ap  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m C`*#[  
•单击go！ (CY D]n  
•获得了3D光线追迹结果。 CtV|oeJ  
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光线追迹仿真 !|UX4  
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I)  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 s\pukpf@  
•单击go！ 6ulx0$[  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =y_KL
  
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场追迹仿真 s1[&WDedM  
jC4>%!{m  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u~i
pB*Zf  
•单击go！ M\a{2f7'n  
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yF?O+9R A  
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场追迹仿真（相机探测器） @uCi0Pt  
1n[)({OQ  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Nr~!5XO  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z<%bNnSO  
z!O;s ep?/  

图片:1-1911251A41O04.png

\fiy[W/k  
^4+NPk  
场追迹仿真（电磁场探测器） hTzj{}w  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wT\BA'VQ  
"nCK%w=  

图片:1-1911251A519A0.png

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G}g;<,g~  
场追迹仿真（电磁场探测器） Um{) ?1  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7@\.()  
q+9->D(6  

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文件信息 g9|OhymB  
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