摘要
}FAO. uRRp8hht 高
数值孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
.^FdO$" _Dg|Iz,Uh sG k'G573 OYk/K70l3 建模任务
sxn^1|O;m l%xjCuuhU _*d UH5 概述
A:Kit_A {$qL Mx'; •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
A}(Q^|6 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
p V`) .h ytn`+9 ~*^aCuq\ +FlO_=Bu 光线追迹仿真
0r'<aA`=I
T.#Vma •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
<sC. •单击go！
De:| T8& •获得了3D光线追迹结果。
~_hn{Ou s L[.RV*sL 20k@!BNq ;=E!xfp5U 光线追迹仿真
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u| |$.`4h? •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
%Ig3udcY? •单击go！
z !:%Hbh= •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
Ny )N rIZ^ix-N QwgP+ M+ ^Jdji: 场追迹仿真
`\5u/i'Ca! zDx*R3% •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
A1V^Gi@i •单击go！
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]Geg;[ t FJ(}@U}57 k_hs g6Ur. 场追迹仿真（相机探测器）
Dt\rM SjZ9 u Q'I zdm •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
4-veO3&.h •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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`nO S[ 5e,E w /D&7 \3} 场追迹仿真（电磁场探测器）
= & =#G3f •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
wwD?i.3 X4Y!Z/b nH7i)!cI~ hqVxvS" 场追迹仿真（电磁场探测器）
s2ixiv= Cqc5jx 0 ) •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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