[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 |6@s6]%X}  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kucH=96  
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建模任务 YU>NGC]}d  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 rjk{9u1a"  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >~_oSC)E
 
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4WspPHj  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 Qdt4h$~V"  
4v[Zhf4JM  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vGX L'k  
•单击go！ _m0B6?KJ  
•获得了3D光线追迹结果。 dV/ ^@[  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 xlKg0&D  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |FED<  
•单击go！ rJz`v/:|P  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 r2b_
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 LZ'Y3 *  
Q}zd!*  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^uCZO  
•单击go！ a8w/#!^34  
Al}D~6MD  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） wf`e3S  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P >>VBh?  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;N(9nX}%)  
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图片:1-1911251A41O04.png

V'M#."Of/  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 9YQYg@+R  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r,8~qHbOT  
W ])Lc3X  

图片:1-1911251A519A0.png

k=&UV!J  
Rlwewxmr  
场追迹仿真（电磁场探测器） R!z32 <5k  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]tsp}M@  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 2~B9 (|  
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图片:1-1911251A6203V.png

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