[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 linvK.Lf  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w7`09oJm  
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建模任务 Xcw6mpLt  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 7x//4G   
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 o%)38T*n3  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 A| s\5"??  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 GFfZ TA  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *RJ
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•单击go！ Ck>{7Gw  
•获得了3D光线追迹结果。 1dl(`=^X  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 r O-=):2  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  RI&V:1  
•单击go！ ZIs=%6""&  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a_U[!`/w  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 QQ\\:]iM  
UoOxGo  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }II)<g'  
•单击go！ BXa.XZ<n(  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） ;fxrOfb  
/0(c-Dv  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^Fg!.X_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O6$n VpD3  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） St;@ZV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7_c/wbA#me  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） Uc( z|  
m_h$fT8 _  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v(~EO(n.  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 SlI wLv^  
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图片:1-1911251A6203V.png

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