[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 *y!O\-\S#>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <;6{R#Tuh  
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建模任务 ]xr0]  
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概述 N-\N\uN
 
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wQSye*ec  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ('tXv"fT  
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光线追迹仿真 (?fU l$q\  
Y%.o TB&  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9%"7~YCDas  
•单击go！ #$I@V4O;#  
•获得了3D光线追迹结果。 j#1G?MF  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 vR!+ 8sy$  
H#~gx_^U  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 iT>u&0B-  
•单击go！ mGjB{Q+  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Io1j%T#ZT  
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场追迹仿真 <+_XGO
t0<  
nm-  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *siX:?l  
•单击go！ RdYmh>c  
;xZ+1zmL0  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） xB *b7-a  
Alxf;[s  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2:*15RH3  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Mu
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yQ$irS?  

图片:1-1911251A41O04.png

S&_03  
i]v3CY|3AI  
场追迹仿真（电磁场探测器） ]pn U"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !l (Vk  
,/\`Rc^n  

图片:1-1911251A519A0.png

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^kKLi  
场追迹仿真（电磁场探测器） A2|Bbqd  
@dWA1tM  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Uwc%'=@  
)|~&(+Q?]  

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文件信息 e~]P _53
  
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