[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 B~WK)UR  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #UBB lE#  
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建模任务 "/Om}*VhD  
TeKC} NW  

图片:1-1911251A00R22.png

KS b(R/T  
概述 1B6C<cL:sU  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;]{{)dst  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |O57N'/  
;CA ?eI  

图片:1-1911251A211D3.png

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E2Us#a  
光线追迹仿真  NvUu
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `'kc|!%MUq  
•单击go！ x
)j/  
•获得了3D光线追迹结果。 n"mJEkHE  
D!X>O}
  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真
Z"-ntx#  
O;UiYrXU  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {cmo^~[L$  
•单击go！ ,wEM Jh  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 GXarUjs  
ZEL/Ndk  

图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 v>rqOI  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m &9)'o  
•单击go！ #D= tX  
hK:#+hg,  

图片:1-1911251A335531.png

}PtI0mZ1  
EW ~*@H  
场追迹仿真（相机探测器） FTbT9   
8rGl&  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `x2fp6  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #:]vUQ  
5tN%a>D%  

图片:1-1911251A41O04.png

jAA'hA  
$eK8GMxZ#  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z~duJsH  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $|>6z_3%  
UVc>i9,0  

图片:1-1911251A519A0.png

NdM}xh  
enPzy:C  
场追迹仿真（电磁场探测器） T^KCB\\<  
0\V\qAk  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eA~J4k_  
bq c;.4$  

图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息 4aj[5fhb-  
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