[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 5?w.rcN[j  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _W}(!TKO  
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建模任务 JYQ.EAsr!  
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概述 O>%$q8x@i  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C B/r]+4  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2QL?]Vo  
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光线追迹仿真 y6FKg)  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O@wK[(w^  
•单击go！ Y&5.9 s@'  
•获得了3D光线追迹结果。 jM@?<1  
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光线追迹仿真 ^KbL ,T  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {[P!$ /  
•单击go！ G|*G9nQ  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 s4bv;W  
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场追迹仿真 x[x(y{&~  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 E30Z`$cz:  
•单击go！ 5gshKmt_  
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场追迹仿真（相机探测器） Du!._  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 oM-[B h]A  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E-SG8U;  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Z0\Iyc G  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <u0,Fp  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6|#g+&[  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lDN?|YG  
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