摘要
8N)Lck2PR Y'000#+ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
l1kHFeq Lios1|5 5mV!mn:H: ^X6e\]yj 设计任务
iz^a Qx/ XzIC~} 6Br^Ugy IG|u;PH< 1级
参数优化
_1RvK? ;.{ 2ZV; GS# {k=3OIp t{B@k[| 结果-容差分析
J0vQqTaT P0; y >VZxDJ$R ~)#E?:h5 结果-容差分析
0t7)x8c >l8?B L 0'f\>4B ysi=}+F. VirtualLab Fusion一瞥
q{G8Po$z' ~-NSIV:f NRG06M g?|Z/eVJ VirtualLab Fusion中的工作流程
SFh<>J^ 0a A",}Ikh='` 构建光栅结构
Y,L[0% −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
iVnMn1h −
倾斜光栅高级设定[用例]
u(yN81 •光栅衍射效率分析
_\yR/W~ −
光栅阶序分析器[用例]
y|+5R5}K •使用参数优化进行光栅参数优化
m+8:_0x " •使用参数运行的
容差分析
o"0~ b 1.S21 Fs~*-R$ FZ%h7Oe VirtualLab Fusion技术
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