摘要
NANgV~Y& %$CV?K$C 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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'sT7t&v~ Y~[k_! 设计任务
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H^r;,Q$9 Uon^z?0A 1级
参数优化
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ee\QK,QV e> -fI_+b 结果-容差分析
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qbD>)}:1 BH\!yxK 结果-容差分析
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o4F(X0 5e}adHjM VirtualLab Fusion一瞥
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NZC0&
:^H2D=z@ Jy?; < VirtualLab Fusion中的工作流程
My<.^~ uyDPWnYk 构建光栅结构
L-eO_tTh0 −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
u%sfHGrH •光栅衍射效率分析
Ci(c`1av −
光栅阶序分析器[用例]
IC6r? •使用参数优化进行光栅参数优化
r@u8QhD •使用参数运行的
容差分析
c$^~7.~{Qy #sM`>KG6T1
'@dk3:3t 9oQ$w?=#$ VirtualLab Fusion技术
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