摘要
qB5j;@r F^WP <0C 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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,vr? 2k Njxv4cc 设计任务
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$mu^G t t>L;kRujVJ 1级
参数优化
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结果-容差分析
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V\>K]mwD ohRjvJ'v| 结果-容差分析
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8NxM4$nQX 7S-ys+ VirtualLab Fusion一瞥
*F+KqZ.2 -f3p U:G8
pM+ AjPr Tl%`P_J)-S VirtualLab Fusion中的工作流程
^UciW IshKH- 构建光栅结构
,$@bE −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
lsJSYJG& −
倾斜光栅高级设定[用例]
sGi"rg# •光栅衍射效率分析
>W%EmnLK −
光栅阶序分析器[用例]
]%hn`ZJ •使用参数优化进行光栅参数优化
*M[?bk~~ •使用参数运行的
容差分析
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