摘要
,\NFt`]j 6?w0 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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hdrm!aBd R?]02Q 设计任务
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参数优化
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>p"c>V& 8 55z]&5N 结果-容差分析
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yw?s0 VirtualLab Fusion一瞥
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\_]^]> VirtualLab Fusion中的工作流程
3eF-8Z(f :>C2gS@ 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
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•光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
'!eKTC> •使用参数优化进行光栅参数优化
VcXq?f>\ •使用参数运行的
容差分析
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XzEc2)0'v xjKR R? VirtualLab Fusion技术
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