摘要
P:vp/x! G}+@C] 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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-vT{D$&1 $cJ fdE 设计任务
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4Otq3s34FT 4'*.3f'bp 1级
参数优化
"-X8 MMpId
Uhr
|%ZJN{!R _E'}8.#{ 结果-容差分析
7qUg~GJX 9s[
DC1.f(cdR 3BD&;.<r 结果-容差分析
6m(? (6+;K G6W|l2P!
N"G\H<n 6D2ot&5WW VirtualLab Fusion一瞥
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qpCaW0]7 4;AQ12<[1 VirtualLab Fusion中的工作流程
,tg]Gt r nr-wUW@ 构建光栅结构
p3mZw lO −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
\7*|u −
倾斜光栅高级设定[用例]
%W7%] Z@j •光栅衍射效率分析
#V]8FW −
光栅阶序分析器[用例]
'/6f2[%Y" •使用参数优化进行光栅参数优化
G"-V6CA[ •使用参数运行的
容差分析
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R13k2jLSQ >Ovz; VirtualLab Fusion技术
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