摘要
%pp+V1FH fA8+SaXW% 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Sf=[>z 1级
参数优化
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]p!J]YV ]0 '/H(,TM 结果-容差分析
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>.iw8#l Z ~(XyaN 结果-容差分析
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V)2_T!e%* OD]J@m VirtualLab Fusion一瞥
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lAk1ncx 'u[o`31. VirtualLab Fusion中的工作流程
MI(i%$R-A }BJ1#< 构建光栅结构
42CMRGv −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
GX)QIe~;qJ −
倾斜光栅高级设定[用例]
2]9<%-=S •光栅衍射效率分析
h`]/3Ma*: −
光栅阶序分析器[用例]
5S]P#8 •使用参数优化进行光栅参数优化
@'*#]YU8 •使用参数运行的
容差分析
3}21bL HiG/(<bs9O
n ;5?^Un% C[nr> VirtualLab Fusion技术
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