摘要
]Qc: Zy3 s1v{~xP 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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wV?[3bEhM . *Z#cq0 设计任务
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<%(f9j vevx|<9, 1级
参数优化
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VJGwd`qo*A we
@Y w6< 结果-容差分析
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n/Or~@pHD NCp%sGBmG 结果-容差分析
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.!9Vt# t<8z08 VirtualLab Fusion一瞥
hgNY[, e-1;dX HL
;Kt'Sit uTxX`vH@! VirtualLab Fusion中的工作流程
x!Y( Y=i> &qG?[R{ 构建光栅结构
O#A8t<f|M −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
hwc:@' −
倾斜光栅高级设定[用例]
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g2 •光栅衍射效率分析
.Ydr[ −
光栅阶序分析器[用例]
oXvdR(Sb^ •使用参数优化进行光栅参数优化
8a_ UxB •使用参数运行的
容差分析
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?]759,Q3L JvT%R`i VirtualLab Fusion技术
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