摘要
UP}5E h 53cW`F 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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`\if S<V__Sv 设计任务
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ak |_J[n!~f7 1级
参数优化
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!J!{ RjS&^uaP 结果-容差分析
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er?'o1M k~st;FO 结果-容差分析
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.iB?: wcT0XXh VirtualLab Fusion一瞥
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D$RQD{* /M-%]sayj VirtualLab Fusion中的工作流程
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N| MBX; G2%%$7Jj 构建光栅结构
U'st\Dt −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
/?jAG3" •光栅衍射效率分析
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O<P −
光栅阶序分析器[用例]
U'nz3 •使用参数优化进行光栅参数优化
9LkP*$2"M< •使用参数运行的
容差分析
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$^Dx4:k<2 c8sY#I VirtualLab Fusion技术
8}0W_C U, vmW4 3K;
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