摘要
8tk`1E8!j Z2
4 m 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
$r_ gFv $T0[ 9NAlgET :4d7%q 设计任务
l{g(z! 9IV WbJ }% *g\%L %cL:*D4oz 1级
参数优化
03T.Owd
`Ea3z~<7M ,vj^AXU b iD7(AK 结果-容差分析
&$f?XdZ7 N0f}q1S<-A 8!fwXm kzu=-@s 结果-容差分析
PHkvt!uH v;7u"9t ?9cy5z[ P8f-&( VirtualLab Fusion一瞥
y C#{nUdw )ej8vm R
>TtAm0N b;vO` VirtualLab Fusion中的工作流程
2_C.-;! vP!gLN]TV 构建光栅结构
&XP 0 −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
hv6>3gbr −
倾斜光栅高级设定[用例]
5ZLH=8L •光栅衍射效率分析
K"61i:F −
光栅阶序分析器[用例]
c-F&4V •使用参数优化进行光栅参数优化
YuZnuI@m9 •使用参数运行的
容差分析
#XZ?,neY RD^o&