摘要
Mc#w:UH[ 5C^oqUZ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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4?3*%_bDJ, aOr'OeG(=e 设计任务
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?%Pd:~4D qbwX*E~; 1级
参数优化
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GVaIZh< ~VqDh*0 结果-容差分析
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D$wl.r :@H&v%h(u 结果-容差分析
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+U:U/c5Z^ =d{B.BP( VirtualLab Fusion一瞥
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e[(XR_EY FYs-vW { VirtualLab Fusion中的工作流程
0F495'*A *C*'J7 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
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倾斜光栅高级设定[用例]
S-$N! G~! •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
/2n-q_ •使用参数优化进行光栅参数优化
0E5"}8 •使用参数运行的
容差分析
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; VirtualLab Fusion技术
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