[分享]VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 dO4U9{+  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <K.C?M(9  
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设计任务 G]3ML)l  
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1级参数优化 Drq{)#7  
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结果-容差分析 3b[[2x_UU  
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结果-容差分析 %IH|zSr)EM  
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VirtualLab Fusion一瞥 <IkD=X  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 }PD(kk6fX  
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构建光栅结构 N*)8L[7_;  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] i$<v*$.o  
−倾斜光栅高级设定[用例] 5}^08Xl  
•光栅衍射效率分析 T[9jTO?W2  
−光栅阶序分析器[用例] ]be2jQx3  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ,7$uh):  
•使用参数运行的容差分析 -EIMh^  
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VirtualLab Fusion技术 [B;Ek\5W  
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