摘要
mhLRi\[c ) 2C]la 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
?wf+{x-dPP T|s0qQi u1{ym_ wV[V#KpX8- 设计任务
l5Wa'~0qA TBKd|D'H RjGB#AK 4G8nebv 1级
参数优化
#H6g&)Z_ {ogZT7w} }t51U0b% AMD?LjY~ 结果-容差分析
gGX0+L@E "c/s/$k// t0J5v ; bLM"t0 结果-容差分析
fEw=I7{Y ^[,s_34V
1.0!H.>q ?5yH'9zE VirtualLab Fusion一瞥
<@e+-$ .?0>5-SfY l/ rZcf8z O GFE* VirtualLab Fusion中的工作流程
lgonR ^5^}MB% 构建光栅结构
zzfn0g −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
t+ S~u^ −
倾斜光栅高级设定[用例]
_+*/~E •光栅衍射效率分析
Sc'c$/ −
光栅阶序分析器[用例]
U$A7EFK' •使用参数优化进行光栅参数优化
PNJe&q0* •使用参数运行的
容差分析
&=-e`=qJ'6 $,;S\JmWP P YF.#@":& Aa`MK$29F VirtualLab Fusion技术
wt}%2x} x q qe2,X? R#/?AD& W ~Jzqp9g 文件信息
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