摘要
jT=|!,Pn QcW8A ,\q 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
{\(MMTQ F{!pii5O9 8>,w8(Nt sqtz^K ROM 设计任务
w|-3X - ~|Gwr" Leb|YX ;//9,x9;t 1级
参数优化
*H/3xPh,* twq~.:<o NFZ(*v1U B(++*#T!^m 结果-容差分析
ZQ_6I}i") 1wKXOy=v0 L|T?,^ R-S<7Q3E0= 结果-容差分析
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VLpS Qk:Lo*! [jzsB:;XB& GQn:lu3j: VirtualLab Fusion一瞥
5b7(^T^K {g<D:"Q 3T F_$bd{ "mW'tm1+ VirtualLab Fusion中的工作流程
)*;Tt @'y dA~:L`A|X 构建光栅结构
b4e~Z −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
^w\22 Q −
倾斜光栅高级设定[用例]
BsIF3sS#9 •光栅衍射效率分析
!%,7*F( −
光栅阶序分析器[用例]
bTc>-e, •使用参数优化进行光栅参数优化
B2ln8NF#Q •使用参数运行的
容差分析
A_zCSRF, C~qZ& q`'f
/CS F,wB6Cw VirtualLab Fusion技术
Z^&G9I# j8`
B {r&mNbz #ODP+>-IjB 文件信息
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