摘要
h+$1+Es (JC -4X_ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
fU~>A-P jr" ~ ]4@z.1Mr -W>zON|l 设计任务
>VqMSe _v ,)+O.Lf7&. _-g:T&# `xbk)oW# 1级
参数优化
Ki-CJ y }vO^%Gd ,<zZKR_ De|@}@ 结果-容差分析
9&} qie, VIbm%b$~ =1n>vUW+J \`x'r$CV 结果-容差分析
'dj}- Rs <2y~7h: >'^l>FPc ; ,*U,eV VirtualLab Fusion一瞥
*cTN5 S> > ^3xBI:Q L~ V
63K s4SR6hBO VirtualLab Fusion中的工作流程
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Ey1 D4[5}NYU 构建光栅结构
gzzPPd,hd −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
)+w0NhJw −
倾斜光栅高级设定[用例]
/H^bDUC :r •光栅衍射效率分析
-<&"geJA −
光栅阶序分析器[用例]
#:Cr'U •使用参数优化进行光栅参数优化
-$WiB •使用参数运行的
容差分析
>~J_9'gX6 l%B1JGu*F a|?CC/ Ra V6wYJ$] VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ?\hXJih -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction &;9<a^td {br4B7b （来源：讯技光电）
