摘要
q7zHT=@$ y;tX`5(fe 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
"@&I*1& 9icy&' zA&]#mc IaRq6=[ 设计任务
aP +) uh~,>~a| K$~Ja Su[f"2oR 1级
参数优化
W$u/tRF liVj-*m zvh&o*\2<d |?<r 结果-容差分析
<>[]-Vq t0o'_>*?A _<;westq #jX%nqMxW 结果-容差分析
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H{ tfq; KR "\x\P)j0> ZbLN:g} VirtualLab Fusion一瞥
;O *o 9rQw~B<S w_^g-P[o- {#uf#J| VirtualLab Fusion中的工作流程
x-ZCaa}O >[TJ-%V>oR 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
H%`|yUE( −
倾斜光栅高级设定[用例]
G:?l;+P1 •光栅衍射效率分析
EyPF'|Qtn −
光栅阶序分析器[用例]
j{;IiVHnR •使用参数优化进行光栅参数优化
tvvRHvL •使用参数运行的
容差分析
xouy|Nn' L9(!L$ -S*MQA4 $61*X f+* VirtualLab Fusion技术
s4Y7x.- h**mAa0fo D}:M0EBS :TN^}RML 文件信息
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