摘要
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. 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Y?NL|cW4 Nw1*);b[y z3K$gEve kpIn_Ea 设计任务
U?le|tK ou <3}g z R?R,k)m 3ai[ r 1级
参数优化
w\o6G7 k`8O/J 'E3T fM <VKJ+ 结果-容差分析
~p?ArZb X]p3?"7 Fm0d0j 5 ix*wu`, 结果-容差分析
PJC(:R(j LJ/He[r|[ .iRKuBM/ IDH~nMz VirtualLab Fusion一瞥
>] 'oN 'NhQBk wWb>V&3 Hyy b0c^= VirtualLab Fusion中的工作流程
_w4G|j$C |VWT4*K 构建光栅结构
uI7n{4W*x −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
>,{sFc −
倾斜光栅高级设定[用例]
hi1Ial\Y •光栅衍射效率分析
U]sAYp^$ −
光栅阶序分析器[用例]
QPDh!A3T •使用参数优化进行光栅参数优化
pD%(Y^h? •使用参数运行的
容差分析
?[Lk]A&"L2 uGMzU&+ c a_mift UPuoIfuqI VirtualLab Fusion技术
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