摘要
S2)rkX$ TL(L[ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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7>EjP&l i*j[j~2>C; 设计任务
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%k#Q)zWJ sbOa]
5] 1级
参数优化
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;pdW7 fL4F
~@`9l 结果-容差分析
M:h~;+s +`Bm
+0;n t pDD0 QO 结果-容差分析
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NG@9}O +u*WUw!% VirtualLab Fusion一瞥
Dm6WSp1|b X\\WQxj
6l IFxc ]>K%,}PS VirtualLab Fusion中的工作流程
0mL#8\'" PL<q|y 构建光栅结构
R%XbO~{u −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
[Z0 &`qz −
倾斜光栅高级设定[用例]
iUqL / •光栅衍射效率分析
waXA%u50 −
光栅阶序分析器[用例]
N. 3
x[%: •使用参数优化进行光栅参数优化
=kohQ d.n •使用参数运行的
容差分析
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LOi5 ^Um| d$g-u8 VirtualLab Fusion技术
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