摘要
g 1\4Jb L%a ni}V 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
I~S`'()J yZ,k8TJ",
q[]!V0Ek10 ~(B\X?v 设计任务
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!^ 6x64r M[_~7~4 1级
参数优化
vi0% jsI gFJ&t^yL
',0~ \V UD*#!H 结果-容差分析
!EM21Sc `QR2!W70o3
w2~(/RgO mW 5L;> 结果-容差分析
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*6Rl[eXS eEn_aX VirtualLab Fusion一瞥
i#1T68y} 8N6a= [fv<
tZa)sbz 1l\O9D +$ VirtualLab Fusion中的工作流程
ok'0Byo 1q~U3'l:$ 构建光栅结构
ue/6DwUv −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
S#+G?I3w −
倾斜光栅高级设定[用例]
Sct-,K%i •光栅衍射效率分析
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光栅阶序分析器[用例]
]Vl5v5_ •使用参数优化进行光栅参数优化
#X"\:yN •使用参数运行的
容差分析
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2O9dU 5b X@9_ukdpu VirtualLab Fusion技术
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