摘要
w1LZ\nA< Y-+JDrK 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
!NMiWG4R 5a|{ytP umN4|X -`D<OSt7 设计任务
9B/iQCFtj$ C8%MKNPd w\a6ga!xt" =w7+Yt 1级
参数优化
Q@[ (0R1
0:$pJtx" hjz`0AS YB.@zL0.( 结果-容差分析
S@Aw1i p &q +l5L" qq"0X! w qfqL"G 结果-容差分析
|3g'~E?$ ~Rw][Ys qWS"I+o,S Y*sw;2Z;a VirtualLab Fusion一瞥
nF]zd%h EFv^uve #u3E{NB Bm 4$ VirtualLab Fusion中的工作流程
Sa@T#%oU N]-skz<v 构建光栅结构
K5F;/KR" −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
(9b%'@A@m −
倾斜光栅高级设定[用例]
thz[h5C?C •光栅衍射效率分析
[x'D+! −
光栅阶序分析器[用例]
tAkv'. •使用参数优化进行光栅参数优化
T.W^L'L` •使用参数运行的
容差分析
M\RHFTB<C `3*QKi$ Rh%@N.Z* ^fE8|/]nG9 VirtualLab Fusion技术
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