摘要
f5k6`7Vj] -hV*EPQ/ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
kLY^! C>~TI,5a3
OTp]Xe/ i?gSC<a 设计任务
Y~Ifj,\ H[UlY?&+
+{>=^9%X :!/8Hv 1级
参数优化
DJ%PWlK5 {U1m.30n
w:l"\Tm vj*%Q(E6Pt 结果-容差分析
CJ%I51F`X yBRC*0+Vy
rbQR,Nf2x _wOt39e& 结果-容差分析
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7Qsgys#/= 5coZ|O&f8 VirtualLab Fusion一瞥
_rYkis^u GF
WA>5n'
PzGWff!*n !-Y3V" VirtualLab Fusion中的工作流程
f-2c0Bi 2JFpZU"1 构建光栅结构
&[SC|=U'M −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
X?$_Sd"G+5 −
倾斜光栅高级设定[用例]
T>GM%^h,7- •光栅衍射效率分析
ZC}QId −
光栅阶序分析器[用例]
fAmz4
•使用参数优化进行光栅参数优化
p:%loDk •使用参数运行的
容差分析
kW (Bkuc) EzIGz[
=2 kG%9 \;-|-8Q VirtualLab Fusion技术
:ivf/xn cAc@n6[`3
n(|^SH4$b 0^ibNiSP 文件信息
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