摘要
o;C)! aJ;R8(*;\ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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:AcCd) 设计任务
<QLj6#d7Y NH6!|T ~3]8f0^%m n:z>l,`C] 1级
参数优化
!gQ(1u|r I65GUX#DV :b)@h|4 iAhRlQ{Qu 结果-容差分析
1H@F>}DP 3e1"5~?'< dU n#'<g5 o62gLO]z@ 结果-容差分析
lR^Qm| .AS,]*?Zn% 9j9?;3; +Q&@2 oY" VirtualLab Fusion一瞥
-W vAmi U?yXTMD n&&y\?n :7*\|2zA VirtualLab Fusion中的工作流程
H[U*'
2TJ ePdzQsnVe 构建光栅结构
{
)K(}~VD −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
"E#%x{d −
倾斜光栅高级设定[用例]
5@5="lNjS •光栅衍射效率分析
l>q.BG −
光栅阶序分析器[用例]
kp"cHJNx •使用参数优化进行光栅参数优化
cH ?]uu( •使用参数运行的
容差分析
VQ`O;n6/` oaE3Aa !{\c`Z<# U {v_0\ES VirtualLab Fusion技术
"WL ktb.fhO '(*D3ysU 6 , ~aV 文件信息
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