摘要
Gw)>i45: =g+Rk+ jn 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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^E(:nxQ6s jsOid5bs 设计任务
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q:/<^| a@&P\"k 1级
参数优化
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R:t>PFwo 3/q)%Z^= 结果-容差分析
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:v>Nz7SB -*T<^G;rK 结果-容差分析
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BQfq]ti P 4|p[V8 VirtualLab Fusion一瞥
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U2D2?# <yHa[c`L VirtualLab Fusion中的工作流程
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Z 构建光栅结构
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使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
NP#:} ) −
倾斜光栅高级设定[用例]
QwSYjR:K •光栅衍射效率分析
}[>X}"_e −
光栅阶序分析器[用例]
BrO" _ •使用参数优化进行光栅参数优化
FbWcq_ •使用参数运行的
容差分析
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tr t^o hmQ;!9 VirtualLab Fusion技术
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