摘要
U-WrZ|- ya:H{#%6 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
*
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ulj`+D?H a#uJzYB0 设计任务
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t8?+yG; _ORW'(:Z 1级
参数优化
Z: Kob
b P]6pPS
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kT ( _nkscf 结果-容差分析
.zegG=q kQ'G+Kw~F
}DZkCzK YLFTf1G9 结果-容差分析
HH+rib'u u{H_q&1
4
Qw;r Q7}wY VirtualLab Fusion一瞥
P `2Rte6s ImF/RKI~ "
R0/~)
P \[D"W{9l VirtualLab Fusion中的工作流程
6b]vHT|p ~4 \bR 构建光栅结构
,9A[o`b −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
QkF-}P% −
倾斜光栅高级设定[用例]
[fW:%!Y' •光栅衍射效率分析
D~mGv1t"
−
光栅阶序分析器[用例]
O]~p)E •使用参数优化进行光栅参数优化
~&yaIuW< •使用参数运行的
容差分析
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f3596a z ,ledTl VirtualLab Fusion技术
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