摘要
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对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
por/^=e{Y j~`\XX{> v`DI<Lt 3fr ^ T 设计任务
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~f )oU)}asY 1级
参数优化
&@v<nO- -rSIBc:$8
bwiD$ N|:'XwL 结果-容差分析
>#(n"RCHf `tEo]p bRo|uJ:d nJZ6?
V 结果-容差分析
6bO~/mpWT~ H !)=y 9$1)k;ChP/ \9{F5Sz VirtualLab Fusion一瞥
Bh]!WMAw. A??@AP[7M 3
hKBc0 K@u&(} VirtualLab Fusion中的工作流程
u0o'K9.r K'5'}Lb5k 构建光栅结构
p(JlvJjo −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
kH948<fk3 −
倾斜光栅高级设定[用例]
3l1cyPv •光栅衍射效率分析
[A2`]CE<@ −
光栅阶序分析器[用例]
Y&.UIosWb •使用参数优化进行光栅参数优化
F<&!b2)ML •使用参数运行的
容差分析
$_;e>*+x ZC0-wr\ 1Sz A3c 0CExY9@Wq VirtualLab Fusion技术
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