摘要
diNAT`|?# qw*) R#= 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
@tJ4^<`P{ h56Kmxxk kS35X)- mr2Mu 设计任务
ubZJ Um lX-i <0` U {Knjo S 1{5t. 1级
参数优化
*T#^|<.XG HYmUD74FR t`'jr=e,~ qcouZO 结果-容差分析
D)bL;h @)x*6 2r+ &S`g& j74hWz+p4 结果-容差分析
"G-h8IN^O i6A9|G$H :<s`) ]=%6n@z' VirtualLab Fusion一瞥
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Ir, VirtualLab Fusion中的工作流程
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g=(
%ok 构建光栅结构
SB08-G2 −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
3u/AqL −
倾斜光栅高级设定[用例]
n*Dn{ 7v#z •光栅衍射效率分析
_si 5z −
光栅阶序分析器[用例]
tHo|8c~[ •使用参数优化进行光栅参数优化
"OA{[)fw" •使用参数运行的
容差分析
Qclq^|O0 {;E6jw@ k0O5c[j dWQB1Y*N VirtualLab Fusion技术
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