摘要
8K/o / Vt!<.8&` 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
j$8i!C ^sjL@.'m$N pt!Q%rXm Jqt&TqX@s 设计任务
S=wJ{?gzAK V^U1o[` ^QKL}xiV: <.h\%&'U 1级
参数优化
-MqWcB9& E(&GZ QE Ph&fOj=pFb P;dp>jL 结果-容差分析
XFg.Z+ # ]%y~cq Gkr^uXNg# R "&(Ae?LR 结果-容差分析
2z\4?HJy w$5N6 #NVqS5 Hhbf9) VirtualLab Fusion一瞥
yMNLsR~ rh #c0
dZ 4R U1tWQ% 4nhe *ip VirtualLab Fusion中的工作流程
LaE;{ jY I~R<}volu 构建光栅结构
c#G]3vTdE −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
$l&&y?() −
倾斜光栅高级设定[用例]
T2wn!N?r •光栅衍射效率分析
<(JsB'TK −
光栅阶序分析器[用例]
I_yIVw; •使用参数优化进行光栅参数优化
G5Ci"0 •使用参数运行的
容差分析
v`hv5wQ 0;)6ZU /S;o2\ (%>Sln5hq VirtualLab Fusion技术
xLZQ\2q yvxC/Jo4 3D~Fu8Hg1 Yi[dS`,d 文件信息
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