摘要
1N2,mo?2 a?YCn! 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
D#S\!>m flgRpXt dz>;<&2Z !.1%}4@Q] 设计任务
|w}xl '>q (z$r : p 6WoAs)ZF ny-7P;->8 1级
参数优化
n}xhW'3hU= c"!lwm3b t:LcNlN| %r)avI 结果-容差分析
#y|V|nd K\XyZ j]0^y}5f+s '&;yT[ 结果-容差分析
>!6i3E^ 4x%(9_8 {- 2FD= lR?6 R_sC! - VirtualLab Fusion一瞥
9;%CH b& Mz I q"3 !QmzrX }h qC!&x,}3 VirtualLab Fusion中的工作流程
U }Hwto`R (wmBjQ]B< 构建光栅结构
(J"T]-[ −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
P\CDd=yWc −
倾斜光栅高级设定[用例]
9t@:4O •光栅衍射效率分析
^7]"kg DA −
光栅阶序分析器[用例]
YJxw 'U
>P •使用参数优化进行光栅参数优化
h;lirvO| •使用参数运行的
容差分析
.ut{,(5 G= ^X1+_ 4;`Bj:. {5*|C-WWtG VirtualLab Fusion技术
ZV}X'qGaq _B2V " p R6 XuA(5 ac d:r%y 文件信息
E99 CmG|" 6pE :A@ =G~~?>=@2 c':ezEaC 更多阅读
:PbDU$x -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings #0b&^QL -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction [=*E+Oc q ^rl) （来源：讯技光电）
