摘要
nH B `><E J'h 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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jB`:(5%RO !+]KxB 结果-容差分析
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'V&Tlw| Qe-PW9C VirtualLab Fusion一瞥
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tF2U VirtualLab Fusion中的工作流程
RhC|x,E | AiMx2 构建光栅结构
RC?vU −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
F)v −
倾斜光栅高级设定[用例]
UmY{2 nzY •光栅衍射效率分析
;#9ioGx −
光栅阶序分析器[用例]
1}Y3|QxF •使用参数优化进行光栅参数优化
p$uPj*
•使用参数运行的
容差分析
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Dt{WRe\# g@T}h[ VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 'GT^araz -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction ]^T-X/v9 J_;*@mW (来源:讯技光电)