摘要
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'tJ@+(tqw 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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O`TM} RCY}JH>} 设计任务
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H:4?sR3 _5H0<%\ 1级
参数优化
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AkA2/7<[ R=<uf:ca 结果-容差分析
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j z@X wj-z;YCV 结果-容差分析
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;6tGRh$b |`Q2K9'4bL VirtualLab Fusion一瞥
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gn6 @x +OfHa\Nz VirtualLab Fusion中的工作流程
Q)93+1] L%31>)8 构建光栅结构
O =\`q6l −
使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
E=RX^ 3+} −
倾斜光栅高级设定[用例]
Ct9dV7SH •光栅衍射效率分析
QP<vjj% −
光栅阶序分析器[用例]
r(p@{L185 •使用参数优化进行光栅参数优化
?;ovh nY) •使用参数运行的
容差分析
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bI+ TFOP 6a4-VX5 VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings OJXK]dZ -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction ~zyD=jxP9 v<V9Z
<ub (来源:讯技光电)