synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 dGfWRqS]
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 " DFg"
R.fRQ>rI
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 cK?t]%S
&=UzF
{ A / S / MUL / DIV } name #&/*ll)
|On6?5((e
其中name是如下之一 : v0y7N_U5n
F 4hEfO3
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC !6}Cs3.
TRiB|b]8Q#
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 0I&rZMpF&
Q2 edS|
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP K~E]Fkw!;
!bY{T#i)k
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 uI%[1`2N-
`2Z=Lp
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。