synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 {`FkiB` i
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 @H{QHi
6zo'w Wc3
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 fgiOYvIS2m
Z*+0gJ<Y
{ A / S / MUL / DIV } name DChqcdx~~
,buSU~c_Q
其中name是如下之一 : XX85]49`%
q c(R
/[
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC uwQ~4
m#}41<
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA +3a}~p W
9j0Hvo% T
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP m*Zq3j
$+ z3
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 W'|NYw_B
4LEWOWF}
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。