synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 HD/!J9&
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 S#$Kmm
|
??U/Qi180
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 ai-rF^ehC
i7e6l C
{ A / S / MUL / DIV } name u3GBAjPsIk
;i'[c`
其中name是如下之一 : FROC/'
2E[7RBFY+\
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC >]z^.U7=
A`ajsZ{q,
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA u+KZ. n/
~x#TfeU]
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP (Bd'Pj]:
"Y=`w,~~
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 q$mc{F($D
4=MjyH|[Jx
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。