synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 3$5E1*ed
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 vZ$E
[EG}
83'+q((<
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 ,1~zMzw ^
`T7TWv"M
{ A / S / MUL / DIV } name W_ Hoa*~
1x\k:2U
其中name是如下之一 : hDZyFRg
5M5vxJ)Lh
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC Y TY(Et1i
!hS)W7!ik
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 0a<h,s0"2
|r)QkxdU,
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP pBv,,d`
Yh@2m9
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 T:2f*!r
}m5()@Q}a
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。