synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 5I' d PNf
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 URw5U1
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最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 g_q<ze
E\$C/}T
{ A / S / MUL / DIV } name mQr0sI,o]
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其中name是如下之一 : >qh?L#Fk
Hg+
F^2<y
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC .'d2J> ~N
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SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA K)N 0,Qwu
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SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP !#}7{
zOB=aG?/
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 Eju~}:Lo
j *3}1L4P
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。