synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 =5?.'XMk
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 LX\)8~dp
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最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 L/yaVU{aEb
6|5H=*)DH
{ A / S / MUL / DIV } name KU]ok '
a$}NW.
其中name是如下之一 : afx'
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SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC \%TyrY+`K
ywOmQcZ
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA d*2u}1Jo8
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SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP JGis" e
pM9yOY
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 0elxA8Z~e
RU|X*3";T
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。