synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 xPi/nWl`|
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 gnp\z/'>
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最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 H]7;OM/g
*OQr:e<}
{ A / S / MUL / DIV } name &zYo
?#LbhO*
其中name是如下之一 : &<E*W*b[
Ysk,9MR(F
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC H `V3oS~}
Ibd
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SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 5/O;&[l Yy
TVP.)%
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP 1wa zJj=v
&&;ol}W
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 LA.xLU3
r%g?.4o*b
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。