synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 6m_
fEkS[
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 aMQfg51W:
ca/AScL
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 =n>&Bl-Bl
r9<OB`)3+
{ A / S / MUL / DIV } name [F4]pR(
XVcY?_AS#
其中name是如下之一 : <&:OSd:%
T9.3
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC 9~i=Af@
5hwe ul>S
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA {/SUfXq
]cvP !
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP &@CcH_d*
R&Y+x;({
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 rnW(<t"
\^O&){q(9
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。