synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 FAGi`X<L
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 {)Zz4
I#F,
Mb>:
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 oY\;KPz
:E|+[}|
{ A / S / MUL / DIV } name *|+$7j
a[=B?Bd
其中name是如下之一 : Vn^8nS
0!c/4^
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC VzM (u_)
~2NTXp
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 'o8,XBv-
/HSg)
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP ZTGsZ}{5
UBuG12U4Y
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 '7]9q#{su
sWq}/!@&
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。