synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 Qgq VbJP"
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 ZD4:'m`T/
9ol&p>
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 F 2Mxcs*M
=V:Al
{ A / S / MUL / DIV } name 7<LCX{Uw
kU{a!ca4
其中name是如下之一 : }?9 A:&
i8=+<d
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC 3k:`7E.
12}!oS~_
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA OK
\9 `
c']m5q39'
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP +]e) :J
UDlM?r:f
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 [u^~ND '
Pt/F$A{Cj
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。