薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7334
《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 p":u]Xgb  
_LaG%* R6  
7"(Zpu  
目录 cfIC(d  
第一篇 薄膜元学基本理抢 e8vy29\S  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 \GL] I.  
1.1 麦克斯韦方程 1 WGv47i  
1.2 平面电磁波 6 gy.UTAs N  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 GB$`b'x@S  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 [D~]  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 <wS J K  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 7p1Y g  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ?\Z pVL<>  
习题 12 a 8k2*u  
参考文献 12 n[jXqFm!`  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 lx+;<la  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 Eg)24C R 4  
2.1.1 S波反射与透射 14 $'V^_|EL7  
2.1.2 P波反射与透射 16 HA0!>_I dC  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 yI^Yh{  
2.2.1 S 波反射与透射 18 Al^tM0T^  
2.2.2 P 波反射与透射 20 c]M+|R5  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 ({E,}x  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 > Z+*tq  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 64u(X^i  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 o ]*yI[\  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 pq) =  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 ;U(]#pW!t  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 )E.AY  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 nq!=9r  
2.5.2 全透射 37 bL7Gkbs&|  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 HgY@M  
2.6 反射率和透射率 39 \ *t\=4  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ?,$:~O* w  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 !P{ /;Q  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 _x.2&S89  
习题 44 J@-'IJ  
参考文献 44 xQ"uC!Gu4  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 Z,)H f  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 #f#6u2nF\  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 NMkP#s7.y  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ql@2<V{  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 LLgw1 @-D  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 g4^-B  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 V48_aL  
3.4.1 一阶近似 62 c[-N A  
3.4.2 二阶近似 63 |.c4y*  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 UCVYO. 9"  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 p6j-8ggL  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 A-r;5?S  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 =aVvv+T  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 |5vJ:'`I  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 F${sEtH  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 Osqk#Oh  
习题 79 25OQY.>bE  
参考文献 79 ,WE2.MWR  
第4章 膜系设计图示法 81 fn<dr(Dx  
4.1 矢量法 81 e`0C0GaP  
4.2 导纳图解法 87 }5fd:Bm;  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 Cj>HMB}  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 &0T.o,&y  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 NV./p`k  
4.3 金属膜导纳圆图 97 G `|7NL   
4.4 膜系层间电场分布 99 ]+e zg(C}  
习题 100 9fX0?POG  
参考文献 101 ~m fG Yk"  
第二篇 光学等膜分类反应用 qXtC7uNj$  
第5章 增透膜 102 9Buss+K?/h  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102  GAfc9  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 7Q!ksp  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 sO ) H#G  
5.4 均匀介质增透膜 107 ,It0brF  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 BQfnoF  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Pjh;;k|V  
5.5 非均匀介质增透膜 113 76T7<.S  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 )y] Dmm  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 o+x%q<e;c  
习题 118 E#P#{_BR^  
参考文献 118 4 6v C/  
第6章 高反射膜 120 5"h4XINZ  
6.1 反射镜组合的反射率 120 EC\@$Fg  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 E0qJ.v  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 7B0`.E^~  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 L/fXP@u  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 T ?Om]:j  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 w&IYCYK_  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 0-PT%R  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 7y^)n<'co  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ~0CNCP  
6.8 金属反射镜 134 t!wbT79/  
6.8.1 常用金属反射镜 134 4(, .<#  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 5!ngM  
6.9 影响反射特性的因素 137 "6]oi*_8  
6.10 高反射镜应用实例 143 ~d&&\EZ  
6.10.1 激光高反射镜 143 kQU4s)J  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 "`K_5"F  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 yPfx!9B  
习题 146 i$pUUK  
参考文献 146 k|xmZA*  
第7章 带通滤光片 149 tV4yBe<``  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 .;31G0<w2  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ,w"cY?~<  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 4r;le5@  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 iOm&(2/  
7.3.2 膜系透射定理 153 \u.5 _ g  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 8]&Fu3M^  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 b w1s?_P  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 1<h@ ^s;  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 x=0Ak'1M  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 q h bagw~  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 _&(Wz0  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 dDiy_Q6  
7.5 超窄带带通滤光片 183 PU ea`rE?R  
7.6 宽带带通滤光片 185 <O) if^  
7.7 带通滤光片的角特性 186 E_& ;.hw  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 @/aJi6d"^E  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 9Cd=^Im5  
习题 193 no\G >#  
参考文献 193 Lm$KR!z  
第8章 截止滤光片 196 >mQD/U  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 jB -A d8  
8.2 吸收型截止滤光片 197 %Lx#7bR U  
8.3 干涉型截止滤光片 198 GQ Flt_  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 6jMc|he  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Z3zD4-p$_  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 Q$Qr)mcC  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 J%Y-3{TQK  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 hJFxT8B/  
8.3.6 截止带的展宽 210 TH>uL;?=  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 &%3}'&EBv  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 V#599-  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 O 8l`1  
习题 221 kFQo[O]  
参考文献 221 1OY 5tq  
第9章 带阻滤光片 223 !*^+7M  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 <F}j;mX  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 Cjt].XR@  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 Q&$2F:4f&  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 MR,>]| ^  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 O?#<kmd/)  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 9u^za!pE  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 % T$!I(L&  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 X.e4pLwGK  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 c#9=o;1El  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 "2!5g)iO  
习题 241 d<] eJ{  
参考文献 241 <@>icDFEHn  
第10章 分光镜 243 4\U"e*  
10.1 中性分光镜 243 22d>\u+c  
10.1.1 金属膜中性分光 244 !y1qd  
10.1.2 介质膜中性分光 245 TD;u"  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 aE]RVyG@L  
10.2 双色分光镜 249 RXO}mu]Iu  
10.3 偏振分光 254 8N<2RT8W  
10.3.1 偏振特性的描述 254 tTq2 AR|  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 9$sx+=(  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 N mNj0&  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 F6{Q1DqI  
10.4 消偏振分光 262 O2Y1D`&5  
10.4.1 偏振分离的描述 263 lR ZuXo9<  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 :y~l?0b&8  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 z4[ 8*}  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 Re;[S[D7  
10.5 分光中的消色差问题 280 FYaBP;@J%  
习题 281 6 #jpA.;  
参考文献 282 MR":a T  
第二篇 薄膜扶术基础 5'rP-z~ u  
第11章 薄膜制备技术 283 (K kqyrb  
11.1 真空技术简介 283 zM%2h:*+{  
11.1.1 真空的基本知识 283 N@? z&urQi  
11.1.2 真空的获得 284 e&pt[W}X%u  
11.1.3 真空的测量 286 2G/CN"  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 .A6Jj4`-  
11.2.1 蒸镀法 289 Wh?3vZ^  
11.2.2 溅射法 300 z}$!B.)  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 C%P"\>5@  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 F^DDN7AKH  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 %&$s0=+  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 > {h/4T@  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 l\bgp3.+  
11.3.5 光化学气相沉积 310 G/Yqvu,2!  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ]E vK.ORy  
11.3.7 原子层沉积 312 >s%m\"|oh  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 OYIH**?  
11.4.1 化学镀 313 =W'{xG}  
11.4.2 阳极氧化法 314 V(!-xu1,  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 &~N@M!`Dn  
11.4.4 电镀 315 enQev?8%  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 0e~4(2xK  
11.5 光刻蚀 316 )O6_9f_  
11.5.1 光刻工艺 316 L8$+%Gvo  
11.5.2 光刻胶 317 Qvhy9Cr;  
11.5.3 掩模 318 Z-'xJq  
11.5.4 曝光 318 &Y8S! W@4  
11.5.5 刻蚀方法 318 x)2ZbIDB:"  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 3Yf!H-(\uB  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 =(as{,j  
习题 323 ^s3SzB@  
参考文献 324 7,D6RP(b  
第12章 光学薄膜检测技术 326 }FAO.  
12.1 光谱分析技术基础 326 Z'\{hL S  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 T oK'Pd  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 cY%6+uJ1  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 G+W0X  
12.2.1 透射率测量 333 6tT*b@/_o  
12.2.2 反射率测量 334 mRD'@n  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ^U{SUWl  
12.3.1 吸收测量 338 {$qLMx';  
12.3.2 散射测量 342 v^Pjvv=  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 .hytn`+9  
12.4 光学薄膜常数测量 347 J*"G*x#u  
12.4.1 光度法 348 "s rRlu  
12.4.2 全反射衰减法 354 eQ eucmQd{  
12.4.3 椭圆偏振法 357 Ab)X/g-I @  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 8\_YP3  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 8al%F_r]  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ~_hn{Ou s  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 L[.RV*sL  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 20k@!BNq  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 f-l(H="e  
12.6.1 薄膜微结构 368 z+qrsT/?L  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 LIMPWw g  
12.6.3 雕塑薄膜 372 +G?nmXG[vj  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 v?qU/  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 5"I8ric  
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关键词: 薄膜光学
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