薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7076
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ^- u[q- !  
`\Uc4lRS  
&19l k   
目录 <)r,CiS  
第一篇 薄膜元学基本理抢 38Bnf  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Tnzco  
1.1 麦克斯韦方程 1 NEjPU#@c  
1.2 平面电磁波 6 Xw&QrTDS`  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 +s#S{b  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 >lUBt5gU  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 }IxY(`:qs  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 WZfk}To1#  
1.4 电磁波谱、光谱 10  Oz"@yL}  
习题 12 v!WU |=u  
参考文献 12 \] tq7  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 2U-#0,ll]  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 Zm"!E6`69  
2.1.1 S波反射与透射 14 <B|n<R<?  
2.1.2 P波反射与透射 16 IKNFYe[9e  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 7j9D;_(.^$  
2.2.1 S 波反射与透射 18 z ^gDbXS  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ?^+#pcX]t|  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21  }qgqb  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 X ,V= od>  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 -o=P85 V  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 =:t@;y  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 gb!@OZ c  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 [TiT ff&LV  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 V0SW 5 m  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 B|Rpm^ |  
2.5.2 全透射 37  [%gK^Zt  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 n?<# {$  
2.6 反射率和透射率 39 o$[a4I  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ~:P8g<w  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 Zi[{\7a  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 qaCi)f!Dl  
习题 44 DK#65H'  
参考文献 44 ?~]1Gd  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 89:?.'  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 qd#(`%_/  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 nN_94 ZqS<  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 tk3<sr"IQ  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 h%C Eb<  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 :F KYYH\  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 Skr\a\ J  
3.4.1 一阶近似 62 e4>L@7  
3.4.2 二阶近似 63 bJG!)3cx  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 B $ y44  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 ,oBk>  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 *_"c! eW  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 @'F8|I 6  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ei|*s+OZu  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ^2Fs)19R  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 %z!d4J75  
习题 79 ^w&5@3d  
参考文献 79 IgHs&=  
第4章 膜系设计图示法 81 _x,-d|9b d  
4.1 矢量法 81 \M'bY:  
4.2 导纳图解法 87 &bS"N)je  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 tLoD"/z  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 5m%baf2_  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 Nw3I   
4.3 金属膜导纳圆图 97 mER8> <  
4.4 膜系层间电场分布 99 98b9%Z'2f  
习题 100 >zfZw"mEP  
参考文献 101 ,XBV}y  
第二篇 光学等膜分类反应用 1K*f4BnDr~  
第5章 增透膜 102 Z@c0(ol  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 \/x)BE,  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 gv Rc:5B[  
5.3 透射滤光片组合透射率 106  Vgru, '  
5.4 均匀介质增透膜 107 HhY2`P8  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ?V\9,BTb)  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 bH WvKv+  
5.5 非均匀介质增透膜 113 TW-zh~|F  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 x>8}|ou  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 eN2k8=  
习题 118 B;D:9K  
参考文献 118 23u1nU[0  
第6章 高反射膜 120 #by9D&QP]  
6.1 反射镜组合的反射率 120 v{rK_jq  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 n[MIa]dK  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 u=v%7c2Mx}  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 [ilv/V<  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 abJ@>7V  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 "e7$q&R |  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ttAVB{kdo  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 OCOO02Wq1  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 (61twutC  
6.8 金属反射镜 134 xn x1`|1u  
6.8.1 常用金属反射镜 134 cJ(zidf_$  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 2t`9_zqLw  
6.9 影响反射特性的因素 137 1UA~J|&gi^  
6.10 高反射镜应用实例 143 }r<@o3t  
6.10.1 激光高反射镜 143 SU#P.y18%  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ?C>VB+X}y  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 h7W%}6Cqkw  
习题 146 lJ>QTZH!wW  
参考文献 146 l"pz )$eE  
第7章 带通滤光片 149 A*26'  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 }2!5#/^~  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 vA7jZw  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Z564K7IV  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 L ugk`NUvF  
7.3.2 膜系透射定理 153 j@?[vi  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 kO`3ENN  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 (.XDf3   
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 +q_lYGTiO  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 v[yTk[zd0  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 cT=wJ  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 !wR{Y[Yu  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 fF-\TW  
7.5 超窄带带通滤光片 183 5vh"PlK`s  
7.6 宽带带通滤光片 185 HfeflGme*  
7.7 带通滤光片的角特性 186 k4AE`[UE  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 #ZnX6=;X  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 vhquHy.qi#  
习题 193 k\thEEVP0*  
参考文献 193 Xx<&6 4W  
第8章 截止滤光片 196 4ysdna\+  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 }vxH)U6$q  
8.2 吸收型截止滤光片 197 &_^*rD~  
8.3 干涉型截止滤光片 198 ~ ew**@N  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 >LaL! PnZ  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Gv+Tg/  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 vyx\N{  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 53+rpU_  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ]E8<;t)#  
8.3.6 截止带的展宽 210 $E_vCB _  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 lbuW*)  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 5iI3u 7Mn1  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 ):\{n8~  
习题 221 _kY[8e5  
参考文献 221 =&b$W/l)0  
第9章 带阻滤光片 223 z9kX`M+  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 B[_bJ *  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 Z2j*%/  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 3(GrDO9^  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 2:5gMt  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ,t&-`U]AX  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 GxDF7 z%&  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 ZO0]+Ko  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 lnC Wu@{  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 <VxpMF  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 FR6I+@ oX~  
习题 241 K#sb"x`  
参考文献 241 '>mb@m  
第10章 分光镜 243 DMxS-hl  
10.1 中性分光镜 243 Di"9 M(6vf  
10.1.1 金属膜中性分光 244 XQY&4tK  
10.1.2 介质膜中性分光 245 <^q"31f  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 _5S$mc8K0  
10.2 双色分光镜 249 F*].  
10.3 偏振分光 254 eF;1l<<   
10.3.1 偏振特性的描述 254 iai4$Y(%  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 Hi" n GH  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 v9`B.(Ru  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 a<"& RnG(  
10.4 消偏振分光 262 _xL&sy09t  
10.4.1 偏振分离的描述 263 /FV6lR!0^  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 vrnj}f[h  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 m'"VuH?^  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 A-Pwi.$  
10.5 分光中的消色差问题 280 0t[mhmSU,  
习题 281 +U)|&1oa  
参考文献 282 5a|m}2IX  
第二篇 薄膜扶术基础 !=:MG#p  
第11章 薄膜制备技术 283 jLS]^|  
11.1 真空技术简介 283 :h^UC~[h 3  
11.1.1 真空的基本知识 283 kDP^[V P+  
11.1.2 真空的获得 284 BCZnF /Zo  
11.1.3 真空的测量 286 mL5f_Fb+  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 -&D6w9w  
11.2.1 蒸镀法 289 ,zw=&)W1  
11.2.2 溅射法 300 $5CY<,f  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 SWO!E  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 vfTG*jG  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 !3 Z|!JY  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ]JPPL4wAT  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 {ZEXlNPww  
11.3.5 光化学气相沉积 310 Y9y*" :&%  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 fvMhq:Bu  
11.3.7 原子层沉积 312 I%C:d#p  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 zp-~'kIJ  
11.4.1 化学镀 313 |Pl{Oo+  
11.4.2 阳极氧化法 314 !enz05VW6.  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 by<@Zwtf  
11.4.4 电镀 315 Q R$sIu@%  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 *"sDaN0@R  
11.5 光刻蚀 316 A?k,}~  
11.5.1 光刻工艺 316 9,>Y  
11.5.2 光刻胶 317 "(&`muIc  
11.5.3 掩模 318 ayz1i:Q|  
11.5.4 曝光 318 WzbN=& C]h  
11.5.5 刻蚀方法 318 M]TVaN$v#  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 9}$dwl(  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Prx s2 i 8  
习题 323 tU/NwA"  
参考文献 324 #|h8u`  
第12章 光学薄膜检测技术 326 L(P:n-^  
12.1 光谱分析技术基础 326 7:E#c"S q  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 }eFUw  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 G*p.JsZP  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 tS|zf,7  
12.2.1 透射率测量 333  pytfsVM  
12.2.2 反射率测量 334 @Hdg-f>y]  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ms<uYLp  
12.3.1 吸收测量 338 Jd6Q9~z#  
12.3.2 散射测量 342 @7 HBXP  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 > BCX%<&  
12.4 光学薄膜常数测量 347 NfN6KDd]2L  
12.4.1 光度法 348 *<QL[qyV  
12.4.2 全反射衰减法 354 TiEJyd`P  
12.4.3 椭圆偏振法 357 `9{C/qB  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 k r^#B^  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 luog_;{h+  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 abP?Dj&  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 48rYs}  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 ,.MG&O  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 vg1s5Y qk  
12.6.1 薄膜微结构 368 )?y"NVc*  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 #N}}8RL  
12.6.3 雕塑薄膜 372 &scD)  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 4tNgK[6M  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 xmd$Jol^  
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关键词: 薄膜光学
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