薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6965
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 Y -pzy']4  
*194{ ep  
cU;iUf  
目录 #,,d>e  
第一篇 薄膜元学基本理抢 ~$ng^D  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Z8zmHc"IH  
1.1 麦克斯韦方程 1 wN`jE0 {  
1.2 平面电磁波 6 ~5_Ad\n9  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 X<i^qoV  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 J!0DR4=Xi  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 qLw{?sH}J/  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 vu|n<  
1.4 电磁波谱、光谱 10 : e]a$  
习题 12 $eD.W  
参考文献 12 nTuJEFn{  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ugo.@   
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 pNOwDJtK  
2.1.1 S波反射与透射 14 k,'L}SK  
2.1.2 P波反射与透射 16 iJ~Zkd  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 u xW~uEh  
2.2.1 S 波反射与透射 18 )\_:{c  
2.2.2 P 波反射与透射 20 '>&^zgr  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 %`OJ.:k  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ZYI{i?Te#  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 C 'v+f=  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 (5#nrF]  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 VSrr`B  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 |o{:ZmzM  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ,a gc  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 |<#{"'/=  
2.5.2 全透射 37 {. 2k6_1[  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 Y<mej][  
2.6 反射率和透射率 39 /a^1_q-bX  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 $>GgB`  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 '$|[R98  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ?3*l{[@J  
习题 44 3AQZRul  
参考文献 44 ~;1l9^N|  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 P/c&@_b  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Av"R[)  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 7N-w eX  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 'qjeXqGH$  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 VTG9$rQZ  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 94+KdHAo^M  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 dQ_!)f&w1  
3.4.1 一阶近似 62 3D` YZ#M  
3.4.2 二阶近似 63 9/hrjItV  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ])L A42|  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 U'R)x";=  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 gUxP>hB  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 4G$|Rx[{,  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 0(mkeIzJt/  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Ko;{I?c  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 29!q!g|  
习题 79 K@#(*."  
参考文献 79 odPL {XFj  
第4章 膜系设计图示法 81 Fb^:V4<T  
4.1 矢量法 81 6xWe=QGE  
4.2 导纳图解法 87 Fe]B&n  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 IkBei&4F`  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 #gp,V#T  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 V>R8GSx  
4.3 金属膜导纳圆图 97 UG2nX3?  
4.4 膜系层间电场分布 99 >Y #t`6,!  
习题 100 _h X]%  
参考文献 101 FP;Ccl"s  
第二篇 光学等膜分类反应用 P^w#S  
第5章 增透膜 102 }&n<uUDH  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 lD"(MQV@0  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 mMb'@  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 f2^r[kPX"  
5.4 均匀介质增透膜 107 R,F[XI+=N  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 u[ L`-zI  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Ytz)d/3T  
5.5 非均匀介质增透膜 113 qjf[zF  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 eU<]o< \Qo  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 kMtwiB|7j  
习题 118 H2um|6>  
参考文献 118 PNaay:a|  
第6章 高反射膜 120 'h^0HE\~p  
6.1 反射镜组合的反射率 120 l~6?kFy9h  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 Eo#u#IY  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 blTo5NLX  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 \RvvHty-V  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 !1q 9+e  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 5e$~)fL  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 MxY/`9>E|+  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 \|E^v6E%0  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 4$*%gL;f^  
6.8 金属反射镜 134 $% 1vW=d  
6.8.1 常用金属反射镜 134 &_~+(  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 $)RNKMZC}A  
6.9 影响反射特性的因素 137 =dII- L=`  
6.10 高反射镜应用实例 143 ,`gl&iB  
6.10.1 激光高反射镜 143 q|Qk2M  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ~$p2#AqX  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 H&]gOs3So  
习题 146 =!`j7#:  
参考文献 146 _T2=J+"-Kp  
第7章 带通滤光片 149 `FsH}UPu b  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 agjv{  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 L ]w/P|  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 l2l(_$@3  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 M-[ $L XR  
7.3.2 膜系透射定理 153 %,Ap7X3:QT  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 J2j U4mR  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Q5FM8Q  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 JaK}|  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 m < 3Ao^I+  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 =:/BV=tv  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 7vABq(  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 3:8{"md@2  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ;gs ^%z  
7.6 宽带带通滤光片 185 !zPa_`P  
7.7 带通滤光片的角特性 186 j{NNSi3  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 7oq[38zB  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Sp}tD<V  
习题 193 `;>= '"O!\  
参考文献 193 e_V O3"  
第8章 截止滤光片 196 tl><"6AIP  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 "dI;  
8.2 吸收型截止滤光片 197 YhY:~  
8.3 干涉型截止滤光片 198 >2< 8kBF_  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 PJ2qfYsH=>  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 uPRQU+  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 jLpc Zb,  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 $6CwkM:  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 2AtLyN'.  
8.3.6 截止带的展宽 210 Oi:<~E[kz.  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 vq!_^F<  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 6$ Gep  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 1.gG^$Jd  
习题 221 ?}m']4p  
参考文献 221 5cEcTJL[C  
第9章 带阻滤光片 223 wbe<'/X+  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 &NSY9'N,  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 j S]><rm  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 A0Zt8>w  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Le*.*\  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 c7M%xGrP  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ;\[(- )f!=  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 5ux`U{`m  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 >5j<4ShW  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 lRv eHB&V  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 ONCnVjZ  
习题 241 *FmTy|  
参考文献 241 MdXchO-Lyc  
第10章 分光镜 243 O)Y?=G)  
10.1 中性分光镜 243 P0$e~=Q^4  
10.1.1 金属膜中性分光 244 "3<da*D1  
10.1.2 介质膜中性分光 245 HU9Sl*/  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 Z*])6=2Q  
10.2 双色分光镜 249 bO&7-Z~:=  
10.3 偏振分光 254 +Y V|ij  
10.3.1 偏振特性的描述 254 JMVNmq&0  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 MSV2ip3  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 QMsHC%l3b  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 l27\diKPJ  
10.4 消偏振分光 262 1]}#)-  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ki{3IEOr}  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ;A'":vXmc  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 fPR$kc h  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 %eJGt e-  
10.5 分光中的消色差问题 280 0jzbG]pc:E  
习题 281 Raw)9tUt  
参考文献 282 -_<}$9lz  
第二篇 薄膜扶术基础 >/#KI~}'N  
第11章 薄膜制备技术 283 & u!\<\  
11.1 真空技术简介 283 PC qZNBN  
11.1.1 真空的基本知识 283 7c;9$j  
11.1.2 真空的获得 284 ,&d@O>$E:  
11.1.3 真空的测量 286 [y0O{,lI  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ~l$3uN[g  
11.2.1 蒸镀法 289 M gC:b-&5_  
11.2.2 溅射法 300 @&"Pci+-|  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 'oN\hy($,h  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 (4@lKKiU%H  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 fi+R2p~vs  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 &*s0\ 8  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 jA(>sz  
11.3.5 光化学气相沉积 310 *c)uGz'cD  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ZbT/$\0(6  
11.3.7 原子层沉积 312 VqE~c  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 !J =sk4T  
11.4.1 化学镀 313 c,Euv>*`  
11.4.2 阳极氧化法 314 zvvP81$W  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 >I<r)w]  
11.4.4 电镀 315 up2+ s#  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 r|*&GHo L  
11.5 光刻蚀 316 UYA_jpIP  
11.5.1 光刻工艺 316 zFQ&5@43  
11.5.2 光刻胶 317 fgj^bcp-  
11.5.3 掩模 318 bT6sb#"W  
11.5.4 曝光 318 j Y6MjZI  
11.5.5 刻蚀方法 318 NjE</Empb%  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 QW_agm  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 &vovA} F  
习题 323 /cK%n4l.y  
参考文献 324 P"lBB8\eku  
第12章 光学薄膜检测技术 326 4 V1bLm  
12.1 光谱分析技术基础 326 xvNo(>  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 X1tXqHJF}  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 !vn1v)6  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 NWfAxkz {/  
12.2.1 透射率测量 333 >\ u<&>i  
12.2.2 反射率测量 334 AkU<g  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 <} jPXEB"  
12.3.1 吸收测量 338 Eh| .  
12.3.2 散射测量 342 =&dW(uyzY  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 jEz+1Nl)  
12.4 光学薄膜常数测量 347 .P$IJUYO  
12.4.1 光度法 348 aS}1Q?cU  
12.4.2 全反射衰减法 354 0e[d=)XG  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ^2o dr \  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 IkzTJ%>  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ]l~V&#i_c  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360  ySbqnw'  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 jxgj,h"}9`  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 $3X-r jQtW  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ];+#i"l  
12.6.1 薄膜微结构 368 -S%x wJKM  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 (!5LW '3B  
12.6.3 雕塑薄膜 372 7*wVI+  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 QHBtWQgS  
12.7 薄膜非光学特性测量 375  qW_u  
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关键词: 薄膜光学
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