薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7216
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 [O~' \ Q  
Pf,S`U w;  
/8m2oL\<  
目录 j7r!N^  
第一篇 薄膜元学基本理抢 eyq\a'tyB  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 '2)c;/-E  
1.1 麦克斯韦方程 1 1$S;#9PQ  
1.2 平面电磁波 6 S}fU2Wi  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 fDe4 [QQ8  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ~yacJU=  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 C-25\  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 _D{zB1d\0  
1.4 电磁波谱、光谱 10 9J>b6   
习题 12 Ve/"9 ?Y_  
参考文献 12 b-Fv vA  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 5vxKkk&i4l  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 :CH*~o  
2.1.1 S波反射与透射 14 BP f;!.  
2.1.2 P波反射与透射 16 Xxl>,QUA  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 dFdll3bC  
2.2.1 S 波反射与透射 18 *qx<bY@F  
2.2.2 P 波反射与透射 20 gkxEy5c[  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 >| d^  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 t:A,pT3  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 "= H.$ +  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ,$;g'z!N  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 P<+y%g(({  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 !: e0cV  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 Y-8qAF?SJ]  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 iC U [X&  
2.5.2 全透射 37 JGmW>mH  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 WW.\5kBl8  
2.6 反射率和透射率 39 TF\<`}akX  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 i&cH  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 >z=_V|^$  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 iU)-YFO  
习题 44 R'E8>ee; ^  
参考文献 44 .3;bUJ1  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 GPqF>   
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 F~Kd5-I@  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 OL+!,Y  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ,gU%%>-_~w  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 jgiP2k[Xom  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 A<6V$e$:2  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 )p.+39]{2  
3.4.1 一阶近似 62 |pIA9/~Z  
3.4.2 二阶近似 63 ,v"/3Ff{,  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 wu*WA;FnA  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 3t(8uG<rL  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 5io7!%  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 C,C=W]G  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 !g? ~<`   
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 "Y&+J@]  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 nG#lrYZw  
习题 79 &77]h%B >  
参考文献 79  m8rz i:  
第4章 膜系设计图示法 81 o3H+.u$  
4.1 矢量法 81 0F'75  
4.2 导纳图解法 87 &`rV{%N"  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 C9-9cdW H  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 Rl4r 9  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 ixJUq o  
4.3 金属膜导纳圆图 97 +n(H"I7cU  
4.4 膜系层间电场分布 99 ;WIL?[;w  
习题 100 ~qNpPIrGr  
参考文献 101 $ Z;HE/ 3  
第二篇 光学等膜分类反应用 ` w Sg/  
第5章 增透膜 102 m[^;HwJ  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 {nQ}t }B  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 !DnG)4#  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 JxQwxey{  
5.4 均匀介质增透膜 107 $"{V],:T |  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 VGcl)fIqw?  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 < /y V  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ,8uu,,c  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 FH8?W| G  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 hoC}@8_  
习题 118 @];#4O  
参考文献 118 a73b/_zZ=  
第6章 高反射膜 120 @{_PO{=\C  
6.1 反射镜组合的反射率 120 (2@b ,w^  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 v\Y;)/!  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 !W:QLOe6F  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 Fc}wu W  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 9\)NFZ3Mz  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 (Cp:NS  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ZNB*Azi  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 89l_%To  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 kt1f2cj  
6.8 金属反射镜 134 ;lGa.RD[a  
6.8.1 常用金属反射镜 134 if5Y!Tx?G  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 mUy/lo'4  
6.9 影响反射特性的因素 137 @6*<Xs =  
6.10 高反射镜应用实例 143 iy tSC  
6.10.1 激光高反射镜 143 r"fu{4aX  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 :yT~.AK}>1  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145  1 ,PFz  
习题 146  CjQ_oNI  
参考文献 146 j~DoMP5Ls  
第7章 带通滤光片 149 `M>{43dj  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 <O$'3 _S"D  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 |0f\>X I  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 %o4d4 3uZ  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 &P3B  
7.3.2 膜系透射定理 153 8Z3+S)6  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 (kp}mSw  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 8KWT d  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 MPzqw)_-v  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ciC4V^f  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 uy\YJ.WMQ  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 n]Dq  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 M`?/QU~  
7.5 超窄带带通滤光片 183 mA^>Y_:  
7.6 宽带带通滤光片 185 !W$Br\<  
7.7 带通滤光片的角特性 186 /HzhgMV3  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 @oRYQ|.R  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 p'w[5'  
习题 193 tDN-I5q  
参考文献 193 3C,e>zE}  
第8章 截止滤光片 196 OD1ns  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 6l_8Q w*5I  
8.2 吸收型截止滤光片 197 R&xD|w8UjM  
8.3 干涉型截止滤光片 198 I:6xDDpZG`  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 rW\~sTH  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 B8s|VI  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 Fah}#,  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 b1*6)  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ?tA- `\E  
8.3.6 截止带的展宽 210 /asyj="N7  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 |9\Lv $VJ  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 0)2lBfHQ&  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 Rkm7"dO0  
习题 221 ^d=Z/d[  
参考文献 221 !m(6/*PAl  
第9章 带阻滤光片 223 gdG: &{|x  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 r*p%e\ 3  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 2!6Kzq  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 '6WDs]\  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Mvcl9  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 HdnSs0 /  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 }bnkTC  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 >y8Z{ALQ5  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 73<iK]*c  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 v'@LuF'e8  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 9Akwr}  
习题 241 YJL=|v  
参考文献 241 l|up3A3)  
第10章 分光镜 243 h">X!I  
10.1 中性分光镜 243 x)U;  
10.1.1 金属膜中性分光 244 g1{wxBFE  
10.1.2 介质膜中性分光 245 oaXD^ H\  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 AN1bfF:C  
10.2 双色分光镜 249 $7bmUQ|  
10.3 偏振分光 254 w`v\/a_  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Q?;ntzi  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 iLI]aZ   
10.3.3 棱镜偏振分光 258 ^}[ N4  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ixH7oWH#  
10.4 消偏振分光 262 uJ y@  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Z)&HqqT3p  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 U{}7:&As  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 R"=M5  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 h ,n!x:zy@  
10.5 分光中的消色差问题 280 68>zO %  
习题 281 0`thND)?O  
参考文献 282 OlJj|?z $  
第二篇 薄膜扶术基础 >k#aB.6  
第11章 薄膜制备技术 283 c,fedH;  
11.1 真空技术简介 283 +]zP $5_e  
11.1.1 真空的基本知识 283 ,5?MRqCM  
11.1.2 真空的获得 284 '[E_7$d  
11.1.3 真空的测量 286 c8s/`esA  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 !{XO#e  
11.2.1 蒸镀法 289 -XyuA:pxx  
11.2.2 溅射法 300 N{yZk"fq:6  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 U Oo(7  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307  M:$nL  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 <am7t[G."  
11.3.3 低压化学气相沉积 308  zVa+5\Q  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 6;*(6$;  
11.3.5 光化学气相沉积 310 LN^8U  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 `7A@\Ha3  
11.3.7 原子层沉积 312 F&~vD  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 el%Qxak`"  
11.4.1 化学镀 313 u5ygbCm  
11.4.2 阳极氧化法 314 gD\}CxtG  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 u5_fM*Ka  
11.4.4 电镀 315 5S? yj  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 c%!wKoD  
11.5 光刻蚀 316 d!:SoZ  
11.5.1 光刻工艺 316 ?rDwYG(u]@  
11.5.2 光刻胶 317 4#9-Z6kOk  
11.5.3 掩模 318 A&'%ou  
11.5.4 曝光 318 dp70sA!JF  
11.5.5 刻蚀方法 318 FM)*>ax{  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 :JIPF=]fc  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 n}?G!ySg  
习题 323 WGx>{'LJ  
参考文献 324 '1 $({{R  
第12章 光学薄膜检测技术 326 K=)R!e8  
12.1 光谱分析技术基础 326 H/&Q,9sU21  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 -EaZ<d[|0  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 dFFqs&cQ  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 U'G`Q0n  
12.2.1 透射率测量 333 {[?|RC;\Y  
12.2.2 反射率测量 334 W|e>  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 z-G (!]:  
12.3.1 吸收测量 338 S/;Y4o  
12.3.2 散射测量 342 gi>_>zStv  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 B vc=gW  
12.4 光学薄膜常数测量 347 EYG E#C; d  
12.4.1 光度法 348 mN el3J3  
12.4.2 全反射衰减法 354 B;r$( 'UZ  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ^nF$<#a  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 u'1=W5$rK  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 %#a%Luq  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 j.}V~Sp*  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 I "2FTGA  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 P0z{R[KBH  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 cx(F,?SbS  
12.6.1 薄膜微结构 368 G{~p.?f:  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ew$Z5N:  
12.6.3 雕塑薄膜 372 y3]"H(  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 e~;)-Z  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 <1BK 5%?  
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关键词: 薄膜光学
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