薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7200
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ;Ngu(es6  
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QPKY9.Rvv  
目录 ,{BF`5bn|  
第一篇 薄膜元学基本理抢 WTUC\}#E\  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 r_pZK(G%  
1.1 麦克斯韦方程 1 K.42 VM)F  
1.2 平面电磁波 6 \hZye20  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 e]D TK*W~  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 v[<;z(7Qk  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ,b74 m  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 1=mb2A  
1.4 电磁波谱、光谱 10 \8/$ZEom  
习题 12 $pj;CoPm  
参考文献 12 vd0uI#g%#  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 _ "lW  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 hf5+$^RZ  
2.1.1 S波反射与透射 14 fDKV`  
2.1.2 P波反射与透射 16 Y >U_l:_^  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 =&y6mQ  
2.2.1 S 波反射与透射 18 "\rR0V!wA  
2.2.2 P 波反射与透射 20 8WLBq-]G  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 imZ"4HnPP  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 /C/I_S}H  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 @^,9O92l  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 !^qpV7./l  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 z;PF% F  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 6kdcFcV-]  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 FXFyF*w2  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ~~{+?v6B]  
2.5.2 全透射 37 ""x>-j4  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 G(MLq"R6U  
2.6 反射率和透射率 39 mC./,a[  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 zc5>)v LH=  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 >JT^[i8[  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 DQ%(X&k  
习题 44 @8U8>'zDE  
参考文献 44 l'kVi  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 `f\+aD'u  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 0EBHR Y_F  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 V7$-4%NL  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 @%rj1Gn  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 /gq\.+'{  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 +"JQ5~7  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 2R~[B]2"r  
3.4.1 一阶近似 62 W>J1JaO  
3.4.2 二阶近似 63 X oh@(%  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 M nDa ag  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 A4f;ftB  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 N3@gvS  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 6yhRcvJ}  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 |#x]/AXa0/  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 JJu}Ed_  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 Zl{ DqC^  
习题 79 r,cK#!<%  
参考文献 79 ~uh,R-Q$  
第4章 膜系设计图示法 81 s Vg89I&  
4.1 矢量法 81 okLhe F  
4.2 导纳图解法 87 <M M(Z  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 rl XMrn  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 9~yp =JOV@  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 {#H'K*j{  
4.3 金属膜导纳圆图 97 3Qu Ft~@@  
4.4 膜系层间电场分布 99 f}{Oj-:"CC  
习题 100 P*9L3R*=N  
参考文献 101  ){xMMQ5  
第二篇 光学等膜分类反应用 4zx_L8#Z  
第5章 增透膜 102 6Y/TqI[   
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 2jH&@g$cl;  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ~A-VgBbU>_  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 {iq)[)n  
5.4 均匀介质增透膜 107 uqK[p^{  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 02~GT_)$^  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 CO.e.:h  
5.5 非均匀介质增透膜 113 i-31Cxb  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115  XOd  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 h!~u^Z.7<  
习题 118 N1jJ(}{3  
参考文献 118 eHH qm^1z  
第6章 高反射膜 120 (S k+nD  
6.1 反射镜组合的反射率 120 `~{ 0  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 e*jfxQ=qG  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 _,5)  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 <[<]+r&*  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 7="I;  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 3M<T}>  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ] ! :0^|  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 g)#.|d+  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 TrC :CL  
6.8 金属反射镜 134 )Qx&m}  
6.8.1 常用金属反射镜 134 Z*Jp?[##  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 LFV',1+  
6.9 影响反射特性的因素 137 0w<qj T^U  
6.10 高反射镜应用实例 143 gCc::[}\Y  
6.10.1 激光高反射镜 143 8lcB.M  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 TWAt)Q"J  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 b_xGCBC  
习题 146 <zE~N~;  
参考文献 146 rytaC(  
第7章 带通滤光片 149 d ,!sZ&v  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 b\H !\A  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 (&t8.7O  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 *^b<CZd9  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 v a j  
7.3.2 膜系透射定理 153 Q]oCzSi  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ($A0u mW1%  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 {u,yX@F4l  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 ~*,e&I  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 /6Vn WrN_  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 TScI_8c>  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 cf ~TVa)M  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 R" '=^  
7.5 超窄带带通滤光片 183 a'm\6AW2)  
7.6 宽带带通滤光片 185 1}"PLq(  
7.7 带通滤光片的角特性 186 rAZsVnk?  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 4RYvI!  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 !c3li .  
习题 193 :P1/kYg  
参考文献 193 AJ`R2 $  
第8章 截止滤光片 196 ka$oUB)iQ  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 *f4BD||  
8.2 吸收型截止滤光片 197 o/Cu^[an  
8.3 干涉型截止滤光片 198 XdR^,;pWE  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 C)|{7W  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 JIobs*e0m  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 yA#-}Y|]b  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 D>~S-]  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 9:l@8^_o  
8.3.6 截止带的展宽 210 zu8l2(N  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 !U2Wiks  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 Gap\~Z@L  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 4xE [S  
习题 221 *`HE$k!  
参考文献 221 [x.Dw U%S  
第9章 带阻滤光片 223 oy) 'wb~  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 h5.>};"@ '  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ?H.7 WtTC  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 qU) pBA  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 WF.y"{6>  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 W r%E}mX-  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 dGrm1w  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 vV?=r5j  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 e{dYLQd  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 pM^r8kIH  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 aNW!Y':*  
习题 241 ?oc#$fcQ~  
参考文献 241 ]} + NT  
第10章 分光镜 243 j(;o   
10.1 中性分光镜 243 d1`us G"  
10.1.1 金属膜中性分光 244 \Q5Jg  
10.1.2 介质膜中性分光 245 jd&kak  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 >$.lM~k  
10.2 双色分光镜 249 *c[X{  
10.3 偏振分光 254 wd/"! A4(  
10.3.1 偏振特性的描述 254 h zh%ML3L  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ]y3'6!  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 tyH*epa nw  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 B@Ae2_;  
10.4 消偏振分光 262 "2}E ARa  
10.4.1 偏振分离的描述 263 V=@M!;'<  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 Rw54`_kFEB  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Iaq7<$XU  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 Mpm#a0f  
10.5 分光中的消色差问题 280 s5s'$|h"  
习题 281 c&+p{hH+  
参考文献 282 oWZbfR9R  
第二篇 薄膜扶术基础 k-v@sb24_  
第11章 薄膜制备技术 283 7,sslf2%K  
11.1 真空技术简介 283 +=5Dt7/|  
11.1.1 真空的基本知识 283 * 7ki$f!  
11.1.2 真空的获得 284 `g;`yJX<  
11.1.3 真空的测量 286 `XwFH#_  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 H$ !78/f  
11.2.1 蒸镀法 289 >taC_f06  
11.2.2 溅射法 300 .,C8ASfh  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 UqaLTdYG  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 Z;^UY\&X  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 0 ttM_]#q  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 d$uh .?F5  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 3w=OvafT:  
11.3.5 光化学气相沉积 310 pZu2[  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 Z/-!-  
11.3.7 原子层沉积 312 k{/2vV[`]  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 PKoB~wLH  
11.4.1 化学镀 313 ~aK@M4  
11.4.2 阳极氧化法 314 ]%yph3C  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 7|A9  
11.4.4 电镀 315 P"`OuN  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 niZ/yW{w  
11.5 光刻蚀 316 :%M[|Fj  
11.5.1 光刻工艺 316 QRs!B!Fn0  
11.5.2 光刻胶 317 9/rX%  
11.5.3 掩模 318 $7{|  
11.5.4 曝光 318 Zh?1+Sz&  
11.5.5 刻蚀方法 318 `!?SA<a:  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 Sm;EWz-?  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 A^PCI*SN[  
习题 323 9kcp(  
参考文献 324  fL9R{=I%  
第12章 光学薄膜检测技术 326 1LTl=tS#  
12.1 光谱分析技术基础 326 V j\1 HQ  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 P 0xInW F  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 mmrx*sr=  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 T<*i($ [  
12.2.1 透射率测量 333 A&#P=m j  
12.2.2 反射率测量 334 %k8} IBL  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 #t /.fd  
12.3.1 吸收测量 338  k~#F@_  
12.3.2 散射测量 342 Ds|/\cI$%a  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 cyq]-B  
12.4 光学薄膜常数测量 347 OczVObbS  
12.4.1 光度法 348 FHVZ/ e  
12.4.2 全反射衰减法 354 ^Z7])arA  
12.4.3 椭圆偏振法 357 wy5vn?T@  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ~c7}eTJd"  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 eiB5 8b3  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 [m7jZOEu  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 p:u?a,p  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 oXG,8NOdC  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 o.DT`L8  
12.6.1 薄膜微结构 368 YC\~PVG  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 :(EU\yCzK  
12.6.3 雕塑薄膜 372 p{7"a  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 hA)tad]  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 2`,{IHu*!  
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关键词: 薄膜光学
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