薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7047
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 HGwSsoS  
)$> pu{o  
M2$.Y om[  
目录 A=PJg!  
第一篇 薄膜元学基本理抢 sa7F-XM  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 T"b'T>Y  
1.1 麦克斯韦方程 1 Q[wTV3d  
1.2 平面电磁波 6 9GV1@'<Y]  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 t1Zcr#b>  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 1GaM!OC9  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Cwh*AKq(  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 :j)v=qul  
1.4 电磁波谱、光谱 10 RCL}bE  
习题 12 =(3Yj[>st  
参考文献 12 H,{WrWA  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 xa=Lu?t%<  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ZNKopA(=|%  
2.1.1 S波反射与透射 14  v<_wf  
2.1.2 P波反射与透射 16 MyJ\/`8  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18  s-Z<  
2.2.1 S 波反射与透射 18 t)i{=8 rq  
2.2.2 P 波反射与透射 20 xnR;#Yc  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 >, 9R :X(  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 _<8~CWo:  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 Qvx[F:#Tk  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 -5 Q gJ  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 fHLt{!O  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 5Y3L  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 &>xd6-  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 L,+m5wKj[  
2.5.2 全透射 37 Z w`9B  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 m-v0=+~&  
2.6 反射率和透射率 39 >x3$Ld  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 !1b4q/  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 # h/#h\  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 9'5`0$,|^  
习题 44 `q$a p$?  
参考文献 44 QyEGK  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 jR_o!n~5  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 &*JU N}86  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 7;i [  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 <NYf!bx  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 T!yI+<  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 zgnZ72%  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 wyi%!H  
3.4.1 一阶近似 62 %@~;PS3kd  
3.4.2 二阶近似 63 _X6@.sM/2  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 !!\x]$v  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 SqosJ}K  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ZYexW=@  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 b;5&V_  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 0zHMtC1 ,  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 i>aIuQ`pe  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 xe&w.aBI>  
习题 79 EW~M,+?  
参考文献 79 s$wIL//=  
第4章 膜系设计图示法 81 NRI @M5  
4.1 矢量法 81 ^Mmsja5K  
4.2 导纳图解法 87 5@-[[ $dk  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 7KlS9x2  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 iRIO~XVo  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92  v[+ ]  
4.3 金属膜导纳圆图 97 ]=Dzr<*v  
4.4 膜系层间电场分布 99 i!i=6m.q7  
习题 100 U(rY,4'  
参考文献 101 |6O7_U#q  
第二篇 光学等膜分类反应用 z4iTf8  
第5章 增透膜 102 '5r\o8RjN  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 M?ObK#l!_  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 t[4V1:  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Ef]<0Tm]:  
5.4 均匀介质增透膜 107 v1VH&~e  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 'o]kOp@q  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Iy#=Nq=  
5.5 非均匀介质增透膜 113 O\+b1+&b3Y  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 M/J?$j  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 Fxx -2(U  
习题 118 Z4s+8cTHn  
参考文献 118 i1 >oRT{Z  
第6章 高反射膜 120 4G3u8)b=  
6.1 反射镜组合的反射率 120 HPc~wX  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 [aF"5G  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 =fcM2O#$  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ''?iJFR  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 V)Sw\tS6g  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 Ial"nV0>0  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 fda)t1u\8  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 2)MX<prH  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 3%(,f,  
6.8 金属反射镜 134 eqSCE6r9x  
6.8.1 常用金属反射镜 134 i?:#lbw_  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 O)8$aAJ)V  
6.9 影响反射特性的因素 137 CxD=8X9m  
6.10 高反射镜应用实例 143 1}Th@Vq  
6.10.1 激光高反射镜 143 ;Xl {m`E+  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 }Y!v"DO#Q*  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 TXS{=  
习题 146 PS3jCT  
参考文献 146 O~#A )d6  
第7章 带通滤光片 149 }1EtM/Ni{!  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 EYRg,U&'  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 sH.,O9'r  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 ]NyN@9u@(  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 $U4[a:  
7.3.2 膜系透射定理 153 lFN|)(X  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 `d}t?qWS;F  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 s=>^ 8[0O  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 sQmJ3 (:HO  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 RqKkB8g  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 L0;XzZ S  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 j;J`P H  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 %uz6iQaq]X  
7.5 超窄带带通滤光片 183 pnTz.)'46  
7.6 宽带带通滤光片 185 rpUTn!*u/  
7.7 带通滤光片的角特性 186 > zfFvx_q  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 W1JvLU5L*r  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 _`lPLBr6  
习题 193 *RmD%[f  
参考文献 193 +45.fo  
第8章 截止滤光片 196 Py\/p Fvg  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 ~(`&hYE  
8.2 吸收型截止滤光片 197 XzBlT( `w  
8.3 干涉型截止滤光片 198 iXLH[uhO;  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 QIfP%,LT  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 aA]wFZ  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 Pa'N)s<  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 hd W7Qck"  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 a1shP};pK  
8.3.6 截止带的展宽 210 pf&U$oR4  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 i_:#][nWX  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 3X#Cep20a  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 QJSi|&Rx&?  
习题 221 X!6$<8+1OV  
参考文献 221 P8[k1"c!  
第9章 带阻滤光片 223 s_3a#I  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Myf2"\}  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 p]qz+Z/  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 Wf~PP;  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Y?- "HK:  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 X/ Ii}X/p  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 CIVV"p`}  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 X o[GD`t  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 5cb8=W -  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 p) ?6~\F:  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 d.Q<!Au3  
习题 241 <Ira~N  
参考文献 241 ';m;K (g  
第10章 分光镜 243 :kC*<f\  
10.1 中性分光镜 243 V`rxjv}!  
10.1.1 金属膜中性分光 244 iI3,q-LA  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ZAgtVbO7  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 8gG;A8  
10.2 双色分光镜 249 = toU?:.  
10.3 偏振分光 254 lQv (5hIm  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ,hZ?]P&  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ]TN/n%\  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 7=s7dYlu  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 B>[myx  
10.4 消偏振分光 262 EHfB9%O7y  
10.4.1 偏振分离的描述 263 DT_%Rz~<  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267  pLM?m  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 {{AZW   
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ZH`(n5  
10.5 分光中的消色差问题 280 `/9I` <y  
习题 281 C=bQ2t=Z  
参考文献 282 2cwJ);Eg2  
第二篇 薄膜扶术基础 tBETNt7  
第11章 薄膜制备技术 283 nW`] =  
11.1 真空技术简介 283 ?J-D6;  
11.1.1 真空的基本知识 283 1~E;@eK'  
11.1.2 真空的获得 284 :(4q\~  
11.1.3 真空的测量 286 .*Bd'\:F/q  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ,t!I%r  
11.2.1 蒸镀法 289 Oc-ia)v1G  
11.2.2 溅射法 300 oi8M6l  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 Ua4P@#cU  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 mex@~VK  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 `6BQ6)7  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ~S$ex,~  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 b;nqhO[f}  
11.3.5 光化学气相沉积 310 bP,Ka  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 KUC%Da3  
11.3.7 原子层沉积 312 vQj{yJ\l1  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ff=RKKnN  
11.4.1 化学镀 313 *?VB/yO=0  
11.4.2 阳极氧化法 314 $ab{GxmX'4  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 u$X =2u:P  
11.4.4 电镀 315 HZjuL.Tj  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 7PwH&rI  
11.5 光刻蚀 316 k=G c#SD5_  
11.5.1 光刻工艺 316 _Fe=:q  
11.5.2 光刻胶 317 V;Q@' <w  
11.5.3 掩模 318 m>?|*a,  
11.5.4 曝光 318 {:KPEN  
11.5.5 刻蚀方法 318 foB&H;A4oC  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 F~~9/#  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 na 0Zb  
习题 323 [z6P]eC7  
参考文献 324 K92M9=>  
第12章 光学薄膜检测技术 326 ~f( #S*Ic  
12.1 光谱分析技术基础 326 ~M1T @Mv  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 %d<UMbS^  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 Z_7TD)  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 B*P;*re  
12.2.1 透射率测量 333 %IDl+_j  
12.2.2 反射率测量 334 /iJsa&W}  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 r{_1M>F D!  
12.3.1 吸收测量 338 = )4bf"~8  
12.3.2 散射测量 342 wUfPnAD.'  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 r"p"UW9og  
12.4 光学薄膜常数测量 347 JvaHH!>d/  
12.4.1 光度法 348 %eGD1.R  
12.4.2 全反射衰减法 354 lQ"t#b+  
12.4.3 椭圆偏振法 357 Z-M4J;J@}  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Bo1 t}#7  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 *Wcq'S  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 [4@@b"H  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 07:h4beT  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 B B^81{A  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 +ZV?yR2yn  
12.6.1 薄膜微结构 368 )bpdj,  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 V8b^{}nxt  
12.6.3 雕塑薄膜 372 /Ao.b|mm  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 Mko,((>I1  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ~q}]/0-m  
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关键词: 薄膜光学
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