薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6610
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 3 {V>S,O3]  
i@q&5;%%  
YQ} o?Q$z  
目录 Q/?$x*\>  
第一篇 薄膜元学基本理抢 t7pFW^&  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 $xqa{L%B  
1.1 麦克斯韦方程 1 jCY %|  
1.2 平面电磁波 6 z{543~Og59  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 _GPe<H  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 3R/bz0 V>  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Smh,zCc>s  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 rjP/l6 ~'  
1.4 电磁波谱、光谱 10 NlqImM=r,  
习题 12 > !JS:5|  
参考文献 12 JC"z&ka  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 cl1T8vFM  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ^Pf WG*  
2.1.1 S波反射与透射 14 m~|40)   
2.1.2 P波反射与透射 16 [UR-I0 s!/  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 l]vm=7:  
2.2.1 S 波反射与透射 18 )+^+s d  
2.2.2 P 波反射与透射 20 W)/#0*7  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 YUb_y^B^  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 K"6vXv4QO  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 qK+5NF|  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 b>W %t  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 -LSWmrj  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Wqnc{oq |$  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 nTas~~Q  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 c L]1f  
2.5.2 全透射 37 =|=(l)8  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ~o(   
2.6 反射率和透射率 39 kM 6 Qp  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ]5O~+Nf  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 v19-./H^ j  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 W^Yxny  
习题 44 7$b1<.WX  
参考文献 44 #E?4E1bnB  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 "Q0@/bYq  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ' QG?nu  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 u, ff>/1  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 _$'ashF  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 Z;i:](  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ]]mJ']l  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 H|*m$| $,  
3.4.1 一阶近似 62 4 5e~6",  
3.4.2 二阶近似 63 sB</DS  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Y73C5.dNcE  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 do%&m]#;  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 yevPHN"M  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 pRqx`5 }  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 j.Hf/vi`z  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 +z( Lr=G  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 NUZl`fu1Z4  
习题 79 b-DvW4B  
参考文献 79 -~0^P,yQ  
第4章 膜系设计图示法 81 S!UaH>Rh  
4.1 矢量法 81 ^c<Ve'-  
4.2 导纳图解法 87 R5D1w+  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 )UR7i8]!0  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 I0 -MRU~[K  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 d~H`CrQE*  
4.3 金属膜导纳圆图 97 \bcLiKE{  
4.4 膜系层间电场分布 99 Ie_wHcM<  
习题 100 t!XwW$@  
参考文献 101 ;'|Ey  
第二篇 光学等膜分类反应用 Tx D#9]Q`  
第5章 增透膜 102 +2{Lh7Ks  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 m@c)Xci  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 }j%5t ~Qa  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Y|n"dMrL  
5.4 均匀介质增透膜 107 UVP vOtZj  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 N['  .BN  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 =  [E  
5.5 非均匀介质增透膜 113 +whDU2 "  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 siI;"?  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 XTy x r  
习题 118 KPF1cJ2N  
参考文献 118 !zo{tI19  
第6章 高反射膜 120 2ESo2  
6.1 反射镜组合的反射率 120 %v|B *  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 GJrG~T  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 aOp\91  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 h0$iOE  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 $i&zex{\  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 _b 0& !l<  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 U6K|fY N`  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 )e{aN+  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 F%|h;+5  
6.8 金属反射镜 134 mt .sucT  
6.8.1 常用金属反射镜 134 w<#!h6Y=  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 g#bRT*,L  
6.9 影响反射特性的因素 137 iTwm3V P  
6.10 高反射镜应用实例 143 >7|VR:U?B  
6.10.1 激光高反射镜 143 eFgA 8kY)  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 occ7zcA  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 G\i9:7 `  
习题 146 Tk}]Gev  
参考文献 146 ^('wy};  
第7章 带通滤光片 149 dN q$}  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 K1KreYlF  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 By |4 m  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Xvu(vA  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 3`g^  
7.3.2 膜系透射定理 153 *@5@,=d  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 =bOW~0Z1  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 dd;~K&_Q/i  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 fC`&g~yK'  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 4x34u}l  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 4s- !7  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 e6*8K@LHB  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 dPlV>IM$z  
7.5 超窄带带通滤光片 183 jA1 +x:Wq  
7.6 宽带带通滤光片 185 fhiM U8(&  
7.7 带通滤光片的角特性 186 Ui~>SN>s  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 kP:!/g  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 N8jIMb'<  
习题 193 k[xSbs'D  
参考文献 193 )nkY_' BV  
第8章 截止滤光片 196 %b$>qW\*&  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 >:-$+I  
8.2 吸收型截止滤光片 197 B#A6v0Ta  
8.3 干涉型截止滤光片 198 |Cv!,]9:r  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 oA 1yIp  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 e'~3oqSvR  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 >MZ/|`[M  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 r!v\"6:OM  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 (PL UFT  
8.3.6 截止带的展宽 210 aE8VZ8tvq  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 y29m/i:  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 Q &8-\  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 e~OpofJNb  
习题 221 Jy)/%p~  
参考文献 221 V3Bz Mw\9r  
第9章 带阻滤光片 223 >4TO=i  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 /~1+i'7V.,  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 5BIY<B+i  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 1 MFbQs^  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224  wwqEl(  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 &>O+}>lr9  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 I9^x,F"E]  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 yi[x}ffdE  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 #!=tDc &  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 wYea\^co  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234  mh%VrA q  
习题 241 6tZI["\   
参考文献 241 &=[WIG+rk  
第10章 分光镜 243 *. t^MP  
10.1 中性分光镜 243 ~%oR[B7=|  
10.1.1 金属膜中性分光 244 g)-te+?6  
10.1.2 介质膜中性分光 245 +A+)=/i;  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 Uo49*Mr  
10.2 双色分光镜 249 ctQ/wrkU  
10.3 偏振分光 254 F|8 &  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Wwo0%<2y  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 u8^lB7!e/  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 [E_9V%^  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 4+n\k  
10.4 消偏振分光 262 42{~Lhxt  
10.4.1 偏振分离的描述 263 TeQV?ZQ#}  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 \U0Q<ot/7  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Jm@oDME_E  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 l (o~-i\M  
10.5 分光中的消色差问题 280 crCJrN=  
习题 281 Ri'n  
参考文献 282 >_} I.\ X  
第二篇 薄膜扶术基础 )oZ dj`  
第11章 薄膜制备技术 283 e20-h3h+  
11.1 真空技术简介 283 `cO:<^%  
11.1.1 真空的基本知识 283 gw(z1L5 n  
11.1.2 真空的获得 284 'w/hw'F6  
11.1.3 真空的测量 286 x-c"%Z|  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 M|-)GvR$J  
11.2.1 蒸镀法 289 Kw}'W 8`c  
11.2.2 溅射法 300 ~&O%N  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 G}*hM$F  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ~[: 2I  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 /reX{Y  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 CLSK'+l  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Ac6=(B  
11.3.5 光化学气相沉积 310 :Tc^y%b0  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 :&Nbw  
11.3.7 原子层沉积 312 9uY'E'm*  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 <3iMRe  
11.4.1 化学镀 313 E^PB)D(.  
11.4.2 阳极氧化法 314 ?%86/N>  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 6zkaOA46V  
11.4.4 电镀 315 9L9sqZUB  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 (hsl~Jf  
11.5 光刻蚀 316 m|# y >4  
11.5.1 光刻工艺 316 0YzpZW"+  
11.5.2 光刻胶 317 $( )>g>%  
11.5.3 掩模 318 ax2B ]L2  
11.5.4 曝光 318 _@g;8CA  
11.5.5 刻蚀方法 318 @o^Ww  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 o  K@"f9  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 67TwPvh  
习题 323 4 :=]<sc,  
参考文献 324 Y7nvHU|+o  
第12章 光学薄膜检测技术 326 B *vM0  
12.1 光谱分析技术基础 326 VpUAeWb  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 v<;Md-<  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 +"(jjxJm  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 uEY tE7  
12.2.1 透射率测量 333 l,: F  
12.2.2 反射率测量 334 Qd6FH2Pl  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 _m>b2I?  
12.3.1 吸收测量 338 4YHY7J  
12.3.2 散射测量 342 p'fYULYE  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 AS,%RN^.  
12.4 光学薄膜常数测量 347 P4?glh q#  
12.4.1 光度法 348 5uf a  
12.4.2 全反射衰减法 354 2tLJU  Z1  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ]9X DS[<2`  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 } %z   
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 1}37Q&2  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 :KN-F86i  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 r/sNrB1U"y  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 sGb{9.WK  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 =EIkD9u  
12.6.1 薄膜微结构 368 G`zm@QL  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 | 3%8&@ho  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ca}2TT&t  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 />Nt[o[r  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 6#yUc_5 \  
.o8t+X'G  
优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价  ¥89.00] +3`alHUK  
关键词: 薄膜光学
分享到:

最新评论

我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1