薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7189
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 I?"q/Ub~h  
AFc$%\s4  
>y.%xK  
目录 Yu?95qktP  
第一篇 薄膜元学基本理抢 V6t,BJjS  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Z-E`>  
1.1 麦克斯韦方程 1 fRy^Q_~,  
1.2 平面电磁波 6 4AG\[f 8q  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 {Z3dF)>  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 Vm(1G8 a  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 BhM '@g*  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 z |a sa*  
1.4 电磁波谱、光谱 10 SG-'R1 J  
习题 12 <Ard 7UT  
参考文献 12 A3B56K  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14  Np'2}6P  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 *g y{]  
2.1.1 S波反射与透射 14 wNQ*t-K  
2.1.2 P波反射与透射 16 F#5B<I  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 xEf'Bmebk  
2.2.1 S 波反射与透射 18 (>`5z(X  
2.2.2 P 波反射与透射 20 2Yp7  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 f>piHh?  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 3pK*~VK  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 i/~1F_  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ua5OGx  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 U f|> (C  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 mN!lo;m5  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 Row)hx8  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 "I=\[l8t  
2.5.2 全透射 37 0Z0:,!  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 Ix(?fO#uNF  
2.6 反射率和透射率 39 F>]m3(  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 " R-!(9k^`  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 oqLfesV~  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 YnxRg  
习题 44 ZQ_xDKqRV  
参考文献 44 s3]?8hXd  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 $BFvF ,n  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Q$:![}[(  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 p/U+0f  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 6B@CurgB  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 AC;V m: @{  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 hQ(qbt{e  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 N\HQN0d9  
3.4.1 一阶近似 62 L0&RvI#  
3.4.2 二阶近似 63 *+uHQgn(  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 qTAc[Ko  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 6ezS{Q  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 &g.@u~SI1  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 0pJ ":Q/2)  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 MXzVgy  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 TQ`Rk;0R  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 VxY+h`4#  
习题 79 G7)Fk%>  
参考文献 79 ' Hi : 2Wh  
第4章 膜系设计图示法 81 Ya;9]k8,  
4.1 矢量法 81 $KLD2BAL  
4.2 导纳图解法 87 >m# e:[N  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 Ea?XT&,  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 *P 3V  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 /}Lt,9  
4.3 金属膜导纳圆图 97 $Bj;D=d@V  
4.4 膜系层间电场分布 99 ++aL4:  
习题 100 w.lAQ5)I%\  
参考文献 101 x5QaM.+=J  
第二篇 光学等膜分类反应用 .Wq@gV  
第5章 增透膜 102 ?{U m  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 Q}!mx7b0]  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 K =wBpLB  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 qwK2WE%T  
5.4 均匀介质增透膜 107 6gT5O]]#o  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 <c%W")0  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Xe#K{gA  
5.5 非均匀介质增透膜 113 n @?4b8"  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ZxlAk+<]  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 vTaJqEE  
习题 118 7C$ 5  
参考文献 118 p/2jh&  
第6章 高反射膜 120 GEEW?8  
6.1 反射镜组合的反射率 120 j:}DBk  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 ?x+Z)`w_  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 &z]K\-xp  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 kl"+YF5/  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 Z0`T\ay  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 A<6%r7&B'  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 0<8XI>.3D  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 70lfb`  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 "Tm[t?FMbe  
6.8 金属反射镜 134 ,R$u?c0>'&  
6.8.1 常用金属反射镜 134 @"Z7nJX  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 7T"XPV|W6  
6.9 影响反射特性的因素 137 / }Rz=&  
6.10 高反射镜应用实例 143 Cn>ADWpT&  
6.10.1 激光高反射镜 143  Ug:\  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 dgDy5{_  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 $ ''9K  
习题 146 !r`,=jK"  
参考文献 146 ]uspx [UIc  
第7章 带通滤光片 149 A>[|g`;t  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 \`ZW* EtPI  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 YPzU-:3  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 -QyhwG =  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151  Y=`  
7.3.2 膜系透射定理 153 p-%|P ]&  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ~>0qZ{3J_  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 <" @zn  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 oG7q_4+&  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 kNT}dv]<  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 Kf 2jD4z}  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 `]LSbS  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 BC,.^"fA6  
7.5 超窄带带通滤光片 183  be e5  
7.6 宽带带通滤光片 185 rCS#{x  
7.7 带通滤光片的角特性 186 .>wv\i [p  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 /)xlJUq  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 QI]Ih  
习题 193 2"fO6!hh  
参考文献 193 \uME+NF  
第8章 截止滤光片 196 k|BHnj  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 15$4&=O  
8.2 吸收型截止滤光片 197 N)S!7%ne  
8.3 干涉型截止滤光片 198 *cTO7$\[  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 }pa9%BQI  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 -dv %H{  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ;f,c't@w  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 =pA IvU  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 YUQtMf9  
8.3.6 截止带的展宽 210 9s}Kl($  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 |0{u->+ )  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 n,~;x@=5  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 ^uS/r#l  
习题 221 Xnuzr" 4u  
参考文献 221 GHF_R,7  
第9章 带阻滤光片 223 @<M*qK1h  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 hI pKJ&hm  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 $T<}y_nHl  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 fWF |,A>>b  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 FuX 8v  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 m,')&{Rd  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 CzV(cSS9-  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 L:M0pk{T  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 1Uf*^WW4  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 CK_(b"  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 #Fu>|2F|  
习题 241 $KjTa#[RX7  
参考文献 241 w6 2=06`@  
第10章 分光镜 243 fqs]<qi  
10.1 中性分光镜 243  ==/n(LBD  
10.1.1 金属膜中性分光 244 AGYm';z3  
10.1.2 介质膜中性分光 245 Sd IX-k.  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 IMQ]1uq0$  
10.2 双色分光镜 249 [oc~iDx%W  
10.3 偏振分光 254 `\<37E\N}  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Je4Z(kj 0  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 Lt#'W  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 {dPgf  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ]WJfgN4  
10.4 消偏振分光 262 (1pEEq84  
10.4.1 偏振分离的描述 263 jnu Y{0(&  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 7:h!Wj -a]  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 6Ggs JU  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 gLL-VvJ[  
10.5 分光中的消色差问题 280 o@lWBfB*%e  
习题 281 "`A:(<x  
参考文献 282 *.f2VQ~H  
第二篇 薄膜扶术基础 5;)*T6Y  
第11章 薄膜制备技术 283 <Y'>F!?#  
11.1 真空技术简介 283 d0 er^ ~  
11.1.1 真空的基本知识 283 =QV ::/  
11.1.2 真空的获得 284 0"xPX#Cvj  
11.1.3 真空的测量 286 +rNkN:/L  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 7Tf]:4Y"  
11.2.1 蒸镀法 289 # Oup^ o@  
11.2.2 溅射法 300 <c,~aq#W'  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 77gysd\(  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 }bB` (B,m  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 j<tq1?? [b  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 t~K%.|'0  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 K.>wQA&  
11.3.5 光化学气相沉积 310 U[_8WJ7+  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 p4X{"Z\mn  
11.3.7 原子层沉积 312 "oc$  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 v.Ogf 5  
11.4.1 化学镀 313 T bE:||r?^  
11.4.2 阳极氧化法 314 (7$$;  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 H!IDV }dn  
11.4.4 电镀 315 d<o.o?Vc  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 f1{z~i9@$  
11.5 光刻蚀 316 n l/UdgI  
11.5.1 光刻工艺 316 Yq'4e[i  
11.5.2 光刻胶 317 s<T?pH  
11.5.3 掩模 318 y@vj;3:  
11.5.4 曝光 318 }4c/YP"a'E  
11.5.5 刻蚀方法 318 P-z`c\Rt  
11.5.6 无掩模刻蚀 321   &LQ%  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 #I\Y= XCY  
习题 323 S0@T0y#  
参考文献 324 )3?rXsSR  
第12章 光学薄膜检测技术 326 32XS`Z  
12.1 光谱分析技术基础 326 b#Kq[}  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 AO 0!liQ  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 }HZ{(?  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 :.IN?X  
12.2.1 透射率测量 333 v"1Po_`  
12.2.2 反射率测量 334 zQuM !.  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 o<VP'F{p  
12.3.1 吸收测量 338 8:g!w:$x  
12.3.2 散射测量 342 )&1!xF   
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 /8CY0Ey  
12.4 光学薄膜常数测量 347 we]>(|  
12.4.1 光度法 348 BnEdv8\,&s  
12.4.2 全反射衰减法 354 6}&^=^-  
12.4.3 椭圆偏振法 357 D\rmaF+  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 |4SW[>WT:  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 W,NL*($^  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 pt!'v$G/*  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 obGWxI%a  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 >[3X]n,0  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 B?(4f2yE  
12.6.1 薄膜微结构 368 eqFvrESN~=  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 9O;vUy)  
12.6.3 雕塑薄膜 372 84`rbL!M  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 do' ORcZ  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 BlaJl[Piv  
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关键词: 薄膜光学
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