薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7232
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 @a]O(S>Ub  
99/`23YL  
)1PjI9M  
目录 =k0qj_  
第一篇 薄膜元学基本理抢 Xg^9k00C  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 #]vs*Sz  
1.1 麦克斯韦方程 1 5JvrQGvL  
1.2 平面电磁波 6 77?D ~N[  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 =[Z uE0c  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 TQ`4dVaf  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 vj#Y /B  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 FG @ ')N!g  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ,z@"pI b  
习题 12 l =`?Im  
参考文献 12 qGK -f4  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 BXj]]S2  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 OA?pBA  
2.1.1 S波反射与透射 14 bw[s<z|LKA  
2.1.2 P波反射与透射 16 0; PV gO;9  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 9*b(\Z)N  
2.2.1 S 波反射与透射 18 r!C#PiT}I  
2.2.2 P 波反射与透射 20 yE{(Ebm  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 | f}1bJE+  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 8p0ZIrD%  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 S#[w).7  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 {1VMwANj  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 GUH-$rA  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 WJA0 `<~  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 xZc].l6  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 sCrOdJ6|  
2.5.2 全透射 37 $!q(-+(  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 knb 9s`wR  
2.6 反射率和透射率 39 i"Z  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 l.3|0lopX)  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ):5M +  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 r&0IhE  
习题 44 u301xc,N<z  
参考文献 44 >JUOS2  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 B3 NDx+%m  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 8}_M1w6v  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ,)beK*Iw  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 }\Ri:&?  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 6-6ha7]s  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 #*|Gp_l+%  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 w;=g$Bn  
3.4.1 一阶近似 62 T-)lnrs^  
3.4.2 二阶近似 63 !=SBeq  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 E,wOWs*  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 >"?jW@|g  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 WH^^.^(i  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ^0T DaZDLp  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 L[rxs[7~  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 P7D__hoE  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 L,7+26XV"B  
习题 79 2Q81#i'Cm  
参考文献 79 8{)j"rghah  
第4章 膜系设计图示法 81 )z Hib;O  
4.1 矢量法 81 zg+6< .Sf  
4.2 导纳图解法 87 )z=L^ot  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 0E^6"nt7N  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 &cuDGo.  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 s1kG:h2|$  
4.3 金属膜导纳圆图 97 HB:VpNFn  
4.4 膜系层间电场分布 99 "xxt_  
习题 100 ^=.QQo||B  
参考文献 101 HpGI\s  
第二篇 光学等膜分类反应用 (Rs052m1  
第5章 增透膜 102 LZ-&qh  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 NR9=V  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 :JD*uu  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 6*r#m%|   
5.4 均匀介质增透膜 107 ;,7/>Vt  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 :ND e<6?u  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ic=tVs  
5.5 非均匀介质增透膜 113 rjWn>M  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ;t\oM7J|  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 Sece#K2J|  
习题 118 dW#T1mB  
参考文献 118 u [Dz~  
第6章 高反射膜 120 !HCuae3_  
6.1 反射镜组合的反射率 120 ^jB17z[  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 mO8E-D*3  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 ~/l5ys  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 p"tCMB  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 S!6 ? b5  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 ,9YgznQ  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ^_5t5>  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 /#-zI#iK  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 0 P2lq  
6.8 金属反射镜 134 3;Y 9<  
6.8.1 常用金属反射镜 134  eo&^~OVT  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 oa<%R8T?@  
6.9 影响反射特性的因素 137 7N4)T'B  
6.10 高反射镜应用实例 143 n"g)hu^B  
6.10.1 激光高反射镜 143 a1 v%G  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 5Ei4$T  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 @O9wit.  
习题 146 }/J<#}t  
参考文献 146 YMr2Dv\y  
第7章 带通滤光片 149 4`zK`bRcK#  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 Lc! t  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 %@MO5#)NI  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 f~ P~%  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 s0\}Q=s[  
7.3.2 膜系透射定理 153 2e^6Od!Y?  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 9(pF!}1 %\  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 x%`tWE|  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 )zAATBb4.  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 Dj9ecV`  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 +. tcEbFL  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 !t!'  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 'BX U '  
7.5 超窄带带通滤光片 183 +N2R'Phv  
7.6 宽带带通滤光片 185 GV8`.3DBOF  
7.7 带通滤光片的角特性 186 &|I{ju_  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 [pX cKN  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 ?%ei+  
习题 193 q_86nvB<  
参考文献 193 '4)4*3z,  
第8章 截止滤光片 196 ]6;G#  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 PM^Xh*~  
8.2 吸收型截止滤光片 197 4Hq6nT/  
8.3 干涉型截止滤光片 198 <Gj]XAoe%  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 99*QfC  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Rc(E';uc  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 lXip%6c7  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 -'rb+<v  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 [13NhF3.P  
8.3.6 截止带的展宽 210 x \b+B  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ge|Cv v  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 CF]#0*MI  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 vl>_;} W7  
习题 221 Fd/Ra]@\Y  
参考文献 221 b&P2VqYgl  
第9章 带阻滤光片 223 C:ntr=3J  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ]zh6[0V7V  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 '<1Q;3Ho  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 eCwR }m?_  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 f"Kl? IN8  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 d;v<rw  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 >2ny/AK|  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 !~`aEF3  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 GzjC;+W  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 %ZT I ?a  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 n0b{Jg *  
习题 241 :LLz$[c8  
参考文献 241 xV.UM8  
第10章 分光镜 243 EfqC_,J*3  
10.1 中性分光镜 243 ^~W s4[Guo  
10.1.1 金属膜中性分光 244 Y@MFH>*  
10.1.2 介质膜中性分光 245 UQO?hZ!y/.  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 S4D~`"4 $/  
10.2 双色分光镜 249 ;"]?&ri  
10.3 偏振分光 254 kk ZMoK  
10.3.1 偏振特性的描述 254 O#`y;%  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 3Y=uBl  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 So]O`RJv  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 V"5LNtf  
10.4 消偏振分光 262 Z&5cJk W  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Y0g6zHk7  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 kY#sQz}8  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 $: qrh66  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 FB n . 4  
10.5 分光中的消色差问题 280 YzYj/,?r  
习题 281 }u.1$Y  
参考文献 282 H iEQs|""'  
第二篇 薄膜扶术基础 lFD/hz7lc  
第11章 薄膜制备技术 283 [-2Tj)P C  
11.1 真空技术简介 283 v7mg8'  
11.1.1 真空的基本知识 283 [t"#4[  
11.1.2 真空的获得 284 ]]/p.#oD,  
11.1.3 真空的测量 286 s=1w6ZLD  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 YLid2aF  
11.2.1 蒸镀法 289 %kL]-Z  
11.2.2 溅射法 300 2YpJ4.  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 w"OeS;#e:  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 c1h?aP  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 %$=}ePD  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 .`+N+B(4  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 .1h1J  
11.3.5 光化学气相沉积 310 lQ|i Ws  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 Kbcr-89Gv~  
11.3.7 原子层沉积 312  &W? hCr  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 '/@i} digf  
11.4.1 化学镀 313 q@}tv =}  
11.4.2 阳极氧化法 314 2$1D+(5;  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 6]Ri$V&"  
11.4.4 电镀 315 5 0<  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 J(kC  
11.5 光刻蚀 316 /^b=| +Do  
11.5.1 光刻工艺 316 Q*]y=Za#:  
11.5.2 光刻胶 317 Bu#\W  
11.5.3 掩模 318 |1UJKJwX  
11.5.4 曝光 318 Rs53R$PIR  
11.5.5 刻蚀方法 318 g BV66L  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 }bYk#6KX  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 CxJH)H$  
习题 323 RaAvPIJa |  
参考文献 324 \O+Hmi^  
第12章 光学薄膜检测技术 326  6adXE  
12.1 光谱分析技术基础 326 D]hwG0Chd  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 *+>QKR7  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 *Zz hN]1  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ){"-J&@?  
12.2.1 透射率测量 333 ~4u[\&Sh  
12.2.2 反射率测量 334 @H|3e@5([  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 c8M'/{4rH  
12.3.1 吸收测量 338 crRYgr  
12.3.2 散射测量 342 ZvkBF9d  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 -+&sPrQ  
12.4 光学薄膜常数测量 347 {KM5pK?,BJ  
12.4.1 光度法 348 _rfGn,@BH  
12.4.2 全反射衰减法 354 <jtu/U]78|  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ~19&s~  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 +{@hD+  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 I] 0 D*z  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ,B$m8wlI|  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 NEcE -7aT  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Un{9reX5  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 {{Z3M>Q  
12.6.1 薄膜微结构 368 btv.M  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ]B9Ut&mF;  
12.6.3 雕塑薄膜 372 wQ~F%rQ$  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 F@jyTIS^  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 HbQ+:B]  
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关键词: 薄膜光学
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