薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7175
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 H Z;ZjC*  
 YBYBOH  
w?]ZU-  
目录 sBP}n.#$  
第一篇 薄膜元学基本理抢 j!zA+hF (  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 EX`"z(L  
1.1 麦克斯韦方程 1 &\;<t, 3A~  
1.2 平面电磁波 6 ?1GY%-  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 55 S\&Ad$  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 L.C ^E7;Z_  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Qqd6.F  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 fOa6,  
1.4 电磁波谱、光谱 10 T"L0Iy!k;  
习题 12 !cq=)xR  
参考文献 12 vKcl6bVT  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 $q Zc!Qc  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 P'a0CE%  
2.1.1 S波反射与透射 14 k sB  
2.1.2 P波反射与透射 16 ]]el|  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 1a7!4)\  
2.2.1 S 波反射与透射 18 e$CePLEj  
2.2.2 P 波反射与透射 20 iBG`43;  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 L8K0^~Mk  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 [leW/2i  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 C>*5=p|T  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ;EgzC^2e  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 I\}|Y+C$d/  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Yta1`  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 G 6Wx3~  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 _LJ5o_-N  
2.5.2 全透射 37 v#RW{kI  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 V -q%r  
2.6 反射率和透射率 39 F0@Qgk]\  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 {F'Az1^I=  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 r8IX/ ,  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 M,crz  
习题 44 ,VPbUo@  
参考文献 44 \.c]kG>k-  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 /nc~T3j  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ,5/V@;i  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 +IG1IF  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 i\(\MzW*'  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 \M7I&~V  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ;4!=DFbU  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 DC&A1I&  
3.4.1 一阶近似 62 h2"9"*S1  
3.4.2 二阶近似 63 W@l+ciZ_  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ;SfNKu  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 6^Ph '  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 Q4X7Iu:  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ;P3>>DZ  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 [_h%F,_ A  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 IeVLn^?+:  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 , 7Xqte  
习题 79 Xq|nJ|h  
参考文献 79 (B&h;U$HAH  
第4章 膜系设计图示法 81 UV4u.7y  
4.1 矢量法 81 prZ55MS.  
4.2 导纳图解法 87 WE")xhV6  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ?L=A2C\_-  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ^OF5F8Tf/  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92  JX{KYU  
4.3 金属膜导纳圆图 97 ~wTX >qV  
4.4 膜系层间电场分布 99 <{giHT  
习题 100 BBvZeG $Y  
参考文献 101 7$ d}!S  
第二篇 光学等膜分类反应用 Q!K`e)R  
第5章 增透膜 102 M`~!u/D7  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 sAVefL?  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ,>u=gA&}  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ob'n{T+lZ  
5.4 均匀介质增透膜 107 PRD_!VOW  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ;`kWpM;  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 H>?F8R_iq  
5.5 非均匀介质增透膜 113 !h>D;k6 e  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 1~'_K9eE  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 NY@"&p'Q  
习题 118 ]NtSu%u  
参考文献 118  QsOhz  
第6章 高反射膜 120 >Rt9xP  
6.1 反射镜组合的反射率 120 ,-@5NY1q  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 :M j_2  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 }~Q5Y3]#~  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 1kmQX+f  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 +yWR#[`n  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 o 7G> y#Y  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 (S oo<.9~  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 b{RqwV5P  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 4 \p -TPM  
6.8 金属反射镜 134 0KAj]5nvb  
6.8.1 常用金属反射镜 134 55-D\n<  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 zE`R,:VI  
6.9 影响反射特性的因素 137 8Mu;U3cIW  
6.10 高反射镜应用实例 143 : ,p||_G&  
6.10.1 激光高反射镜 143 :Q_x/+-  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 /s c.C  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 i[150g?K  
习题 146 HM&1y ubh#  
参考文献 146 -(>qu.[8=  
第7章 带通滤光片 149 $ D'^t(  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 wGJjA=C  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 gi]ZG  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 |;u}sX1t9  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 =Ikg.jYq&F  
7.3.2 膜系透射定理 153 f-g1[!"F  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 4DLq}v  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 K=6UK%y A  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 VXm[-  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 7byCc_,  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 uLN[*D  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 n#*`!#  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 59*M"1['Q  
7.5 超窄带带通滤光片 183 0xpx(T[  
7.6 宽带带通滤光片 185 ip``v0Nf  
7.7 带通滤光片的角特性 186 U,; xZe  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 MJ\[Dt  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 WM,i:P)b  
习题 193 A+ 0,i  
参考文献 193 d~*TIN8Ke~  
第8章 截止滤光片 196 |d7$*7TvV  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 44sy`e  
8.2 吸收型截止滤光片 197 Q_zr\RM>  
8.3 干涉型截止滤光片 198 q0O&UE)6Y  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 /\=MBUN  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 [VSU"AJY  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 v-`h>J!Nx  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 7@~tVxB;  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 7Kf}O6nE  
8.3.6 截止带的展宽 210 cDV ^8 R  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 :0 ^s0l  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 2cf' ,cv@8  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 'v&}(  
习题 221 sR=/%pVN  
参考文献 221 cxP6-tV%  
第9章 带阻滤光片 223 T_#, A0G  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 f h<*8w0H  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 >dQK.CG  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 4MW ]EQ-  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Zk? =  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 XnUO*v^]  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 o6}n8U}bk  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 uDuF#3 +"  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 .g% Y@r)=5  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 A^Cj1:,  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 jo98 jA<  
习题 241 oq;'eM1,.  
参考文献 241 RL}KAGK  
第10章 分光镜 243 Q M 1F?F  
10.1 中性分光镜 243 $.K?N@(W  
10.1.1 金属膜中性分光 244 Lz4eh WntO  
10.1.2 介质膜中性分光 245 M{N(~ql  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 K7`YJp`i  
10.2 双色分光镜 249 .36^[Jsz":  
10.3 偏振分光 254 HJhH-\{@  
10.3.1 偏振特性的描述 254 :w-`PY J%G  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 y' xF0  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 :q+N&j'3  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 >nn Y:7m  
10.4 消偏振分光 262 w+AuMc  
10.4.1 偏振分离的描述 263 #a9_~\s  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 $v27]"]  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 3/goCg  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 k#)Ad*t  
10.5 分光中的消色差问题 280 7_\Mwy{P  
习题 281 O/OiQ^T  
参考文献 282 yA7 )Y})>  
第二篇 薄膜扶术基础 9 $l>\.6  
第11章 薄膜制备技术 283 F0dI/+  
11.1 真空技术简介 283 /"#4T^7&  
11.1.1 真空的基本知识 283 `  2%6V)s  
11.1.2 真空的获得 284 $3P`DJo  
11.1.3 真空的测量 286 ' UMFS  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 :FQ1[X1 xm  
11.2.1 蒸镀法 289 D`o<,Y  
11.2.2 溅射法 300 \54}T 4R  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 H;KDZO9W  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 TI9X.E?  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 WeT* C  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 RA/EpD:H  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 wNQqfq Z  
11.3.5 光化学气相沉积 310 w2"]Pl  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 2(#Ks's?  
11.3.7 原子层沉积 312 <8o(CA\  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 \e:d)^cbh  
11.4.1 化学镀 313 `y!/F?o+!  
11.4.2 阳极氧化法 314 pR$6,Vi  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 >|udWd^$3  
11.4.4 电镀 315 \cySWP[  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 y{=NP  
11.5 光刻蚀 316 /oP^'""@je  
11.5.1 光刻工艺 316 |:q/Dt@  
11.5.2 光刻胶 317 !,&yyx.  
11.5.3 掩模 318 JdNF-64ky  
11.5.4 曝光 318 FLr ;`3  
11.5.5 刻蚀方法 318 `rFAZcEj%  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 hU {-a`  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 8 %Sb+w07  
习题 323 >)4YP*qIPb  
参考文献 324 +1`t}hO  
第12章 光学薄膜检测技术 326 v%91k  
12.1 光谱分析技术基础 326 }vh Za p^  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 q~Jq/E"f  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 Px;Cg 6  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 }KB[B  
12.2.1 透射率测量 333 i^2IW&+}e}  
12.2.2 反射率测量 334 igkz2SI  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 T1 MY X  
12.3.1 吸收测量 338 M<`|CVl  
12.3.2 散射测量 342 ?9KGnOVu  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 5M){!8"S)#  
12.4 光学薄膜常数测量 347 n^9  ?~  
12.4.1 光度法 348 *"9<TSU%m  
12.4.2 全反射衰减法 354  tFh|V pB  
12.4.3 椭圆偏振法 357 tk?UX7F  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 >P(`MSc  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 M?@p N<|  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ;=;JfNnbm  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 uHM@h{r  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 =!0I_L/  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 e3(<8]`b[  
12.6.1 薄膜微结构 368 0i@:KYP  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 (6qsKX  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ?0vNEz[  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 fE25(wCz7  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 }T(z4P3  
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关键词: 薄膜光学
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