薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7125
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 A$Jn3Xd~!  
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目录 0"D?.E"$r  
第一篇 薄膜元学基本理抢 Lu$:,^ C  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ",,qFM!  
1.1 麦克斯韦方程 1 %/,Uk+3p  
1.2 平面电磁波 6   !AD,  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 FL_ arhrqD  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 14)kKWG  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ^ 8Nr %NJ  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 & /FA>  
1.4 电磁波谱、光谱 10 Ml_:Q]kl^  
习题 12 Yhv`IV-s  
参考文献 12 0aq-drl5\  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 mm9S#Ya  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 TlZlE^EE<  
2.1.1 S波反射与透射 14 '5+, lRu  
2.1.2 P波反射与透射 16 ;{)@ghD  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 P)o[p(  
2.2.1 S 波反射与透射 18 OKNs ( H  
2.2.2 P 波反射与透射 20 looPO:bo^  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 h"%,eW|^  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 g_U*_5doA  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 Ns7l-mb  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 [>QsMUvak  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 :r|P?;t(  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 xN~<<PIZ  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 [}g5Z=l  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 0eu$ oel-  
2.5.2 全透射 37 &T4Cn@  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 kO\&mL& qD  
2.6 反射率和透射率 39 K {N;k-  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 3 mMdq*X5  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 Mh@ylp+q  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 } jy7,+  
习题 44 }lbx  
参考文献 44 !"qEB2r  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 j1C0LP8  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 bsS| !KT  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 5;%xqdD  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 O9 r44ww  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 5Szo5  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 m`w6wz  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 /?<9,7#i  
3.4.1 一阶近似 62 =:T:9Y_i  
3.4.2 二阶近似 63 ToCfLJ?{  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ="*C&wB^  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 e @MCumc~+  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 f#JF5>o  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 7PPsEU:rf  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 $TUC?e9"h  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 R~ u7;Wv  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 pc(9(. |  
习题 79 -cS4B//IK8  
参考文献 79 ]5MR p7  
第4章 膜系设计图示法 81 )FiU1E  
4.1 矢量法 81 ?q8g<-?  
4.2 导纳图解法 87  6}ewBAq%  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 |[t=.dK%  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 Lgw@y!Llij  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 iw6M3g#  
4.3 金属膜导纳圆图 97 Jrrk$0H^~  
4.4 膜系层间电场分布 99 *^m.V=  
习题 100 -CNv=vj 3  
参考文献 101 Hqy>!1 !  
第二篇 光学等膜分类反应用 T</gWW  
第5章 增透膜 102 MjosA R  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ^hTJp{  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 H$'kWU*l  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 D%}o26K.C  
5.4 均匀介质增透膜 107 )%W2XvG  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 /60=N `i  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 { ^k,iTx   
5.5 非均匀介质增透膜 113 W..>Ny;'3  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 t$Ji{t-  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 um4zLsd#v  
习题 118 :Gk~FRA|  
参考文献 118 ^Rh~+  
第6章 高反射膜 120 S`-IQ,*}  
6.1 反射镜组合的反射率 120 >I ; #BE3  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 9Ei#t FMc  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 H`..)zL|  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 .=<pU k 3G  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 BuO J0$  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 e=$xn3)McY  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 )O'<jwp$  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 D($UbT-v  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 |W[rywxx  
6.8 金属反射镜 134 z{_Vn(Kg   
6.8.1 常用金属反射镜 134 D*b|(Oi  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 a,\u|T:g  
6.9 影响反射特性的因素 137 %Q01EjRes  
6.10 高反射镜应用实例 143 ?XrTZ{5'  
6.10.1 激光高反射镜 143 v Cr$miZ  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 )^xmy6k  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 5Wjp_^!e  
习题 146 ;hp; Rd  
参考文献 146 tV%\Jk),  
第7章 带通滤光片 149 ~UFsiVpL  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 wYM{x!D  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 <T9m.:l  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 !7|9r$  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 b8Sl3F?-~  
7.3.2 膜系透射定理 153 NsK>UJ'  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 dg<fUQ  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 _JB3+0@  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 %8}w!2D S  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 =,9'O/br  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 Z k_&Kw|  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 a2n#T,kq&  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 l^Z~^.{y  
7.5 超窄带带通滤光片 183 zh#uwT1u  
7.6 宽带带通滤光片 185 =-Tetp  
7.7 带通滤光片的角特性 186 I>|?B( F  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 epe}^Pl  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 oZw#Nd   
习题 193 53xq%  
参考文献 193 SJe;T  
第8章 截止滤光片 196 u{^Kyo#v  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 )`0 j\  
8.2 吸收型截止滤光片 197 w Nnb@  
8.3 干涉型截止滤光片 198 \6L=^q=  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 Ews Ja3 `  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 j'cS_R  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 p `Z7VG  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 OW^7aw(N6  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 Er`PYE J  
8.3.6 截止带的展宽 210 ppS`zqq $  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 UNHHzTsr?  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 *O2j<3CHf  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 C5?M/xj  
习题 221 4G2V{(@QiZ  
参考文献 221 %hh8\5l.:  
第9章 带阻滤光片 223 $Vh82Id^  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 L"0L_G  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 iddT.   
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 jHzb,&  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 G@2M&0'  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 :7zI!edu  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ^} #!?" Y  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 bv0 %{u&  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 pe-d7Ou P  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 =nl,5^  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 N:.bnF(  
习题 241 agzG  
参考文献 241 {I ,'  
第10章 分光镜 243 {DR+sE  
10.1 中性分光镜 243 i)ctrdP-  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ,\ i q'}i  
10.1.2 介质膜中性分光 245 V8/o@I{U[  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 !ywc).]e  
10.2 双色分光镜 249 6=k^gH[g  
10.3 偏振分光 254 k-/$8C  
10.3.1 偏振特性的描述 254 /r6DPR0\  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 hb{(r@[WHv  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 195(Kr<5$  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 mdd~B2"el  
10.4 消偏振分光 262 YDwns  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ~cz t=  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 Nx"?'-3Hm  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 h2nyP  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 z&8#1'  
10.5 分光中的消色差问题 280 _rv_-n]"o  
习题 281 [F$3mzx  
参考文献 282 *SZ<ori  
第二篇 薄膜扶术基础 0NGokaD)H  
第11章 薄膜制备技术 283 4{_5z7ody  
11.1 真空技术简介 283 *MNY1+RJ  
11.1.1 真空的基本知识 283 R!=XMV3$PH  
11.1.2 真空的获得 284 TBzM~y  
11.1.3 真空的测量 286 _\6-]  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 0;9 LIL5  
11.2.1 蒸镀法 289 AMr9rBd  
11.2.2 溅射法 300 F&Gb[Q&a8  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 K(?7E6\vO  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 NNT9\JRv_  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 z{ 8!3>:E  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 Ni`qU(I'|  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 `'/8ifKz  
11.3.5 光化学气相沉积 310 9"rATgN1  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ?$?Ni)Z  
11.3.7 原子层沉积 312 3 f3?%9  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 9M6&+1XE  
11.4.1 化学镀 313 _Cs.%R!r  
11.4.2 阳极氧化法 314 A 6d+RAx  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 e :#\Oh  
11.4.4 电镀 315 a?;{0I:Ln  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 mxIEg?r(  
11.5 光刻蚀 316 ^l9S5 {  
11.5.1 光刻工艺 316 JkKI/ 5h  
11.5.2 光刻胶 317 5)vXmAD/0  
11.5.3 掩模 318 pJmn;XbME  
11.5.4 曝光 318 l}m@9 ~oC  
11.5.5 刻蚀方法 318 +$%o#~  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 1@am'#<  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 )9*WmFc+#  
习题 323 V\ |b#?KL  
参考文献 324 B>R6j}rh'k  
第12章 光学薄膜检测技术 326 bV"0}|A~K  
12.1 光谱分析技术基础 326 gG}<l ':  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 b@7 ItzD  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 ^71sIf;+  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 'F@'4[uda  
12.2.1 透射率测量 333 A 9u9d\  
12.2.2 反射率测量 334 }} IvZG&  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 {AZW."?  
12.3.1 吸收测量 338 wm}i+ApK  
12.3.2 散射测量 342 j9Lc2'  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 de"*<+  
12.4 光学薄膜常数测量 347 j,~h:MT  
12.4.1 光度法 348 m^wYRA.  
12.4.2 全反射衰减法 354 P%1s6fjU  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ZY83, :<  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 7&X^y+bMe6  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 /t816,i  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 )msqt!Ev  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 C&Rv)j  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 !nTq"d%(W  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 +;vfn>^!b  
12.6.1 薄膜微结构 368 RsE+\)  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 smSUo /  
12.6.3 雕塑薄膜 372 FsD}N k=m~  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 lOVsp#  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 YYhRdU/g  
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关键词: 薄膜光学
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