薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7236
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 Jnd_cJ]a  
Iox)-  
0&fO)de96  
目录 oy#(]K3`O  
第一篇 薄膜元学基本理抢 j;E$7QH[  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 1$Q[%9  
1.1 麦克斯韦方程 1 Q:Pp'[ RK  
1.2 平面电磁波 6 ?Y -;781  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 I<sUB4T>#W  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 LTzdg >\oJ  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Ssz;d&93  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 mF~]P8  
1.4 电磁波谱、光谱 10 |n tWMm:(  
习题 12 #_S]\=N(  
参考文献 12 / [49iIzC  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 x:~XZX\mwH  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 `?R{sNr.  
2.1.1 S波反射与透射 14 0M&n3s{5I  
2.1.2 P波反射与透射 16 #oa>Z.?_V  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ~7KH/%Z-  
2.2.1 S 波反射与透射 18 N9#xTX  
2.2.2 P 波反射与透射 20 RD)Vb$.B:  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 <'$>&^!^  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 '"\n,3h  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 b\H&E{Gn|x  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 i.W*Go+  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 hZ>m:es  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 o938!jML_  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 G%l')e)9Gq  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 +x`pWH]2  
2.5.2 全透射 37 1;c>#20  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 "|dhmV[;  
2.6 反射率和透射率 39 '6){~ee S  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 U`EOun ,  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 xrBM`Bj0@  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 bcy  
习题 44 X)iI]   
参考文献 44 |O>e=HC#q8  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 #o} /'  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 :w5g!G?z  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ?t6wozib2  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 `W@jo~ y<  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 !idVF!xG  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ;T0X7MNx  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 \6/ Gy!0h-  
3.4.1 一阶近似 62 |y0k}ed  
3.4.2 二阶近似 63 Ad-5Zn c5  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 T6\]*mlr  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 VK*`&D<P  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 GXD<X_[  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 h x5M)8#+  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 T{^mh(3/"  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 =8`KGeP$  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 `S-l.zSZ4B  
习题 79 Z&iW1  
参考文献 79 2 yANf  
第4章 膜系设计图示法 81 $G)HU6hF*  
4.1 矢量法 81 oLX[!0M^  
4.2 导纳图解法 87 )SZ#%OE*  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 _ {#K  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 n CX{tqy   
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 zGz}.-F  
4.3 金属膜导纳圆图 97 m='}t \=  
4.4 膜系层间电场分布 99 z^tzP~nI  
习题 100 6A.%)whI;  
参考文献 101 4\|Q;@f  
第二篇 光学等膜分类反应用 O#[bNLV  
第5章 增透膜 102 <N~9=g3  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 gXs9qY%=  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 O9?.J,,mVh  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 tw zV-8\  
5.4 均匀介质增透膜 107 ,\&r\!=  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 w[ 3a^  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Btzes.  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ?<N} Xh  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 2NjgLXP  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 j8 2w 3  
习题 118 j<BRaT  
参考文献 118 ',]Aj!q  
第6章 高反射膜 120 ey9hrRMR  
6.1 反射镜组合的反射率 120 VR1]CN"G  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 CC3 i@  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 f2o6GC_  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 $]};EI#  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 {4/*2IRN9h  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 d&|5Rk ~  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 x_<#28H!  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 C<9GdN  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 #m<uG5l`  
6.8 金属反射镜 134 r 9M3rj]  
6.8.1 常用金属反射镜 134 DxN\ H"  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 &XI9%h9|  
6.9 影响反射特性的因素 137 :XAyMK7   
6.10 高反射镜应用实例 143 @f|~$$k=  
6.10.1 激光高反射镜 143 ( [a$Z2m  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 q&?hwX Z7  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 T@P~A)>yo  
习题 146 90iveb21}  
参考文献 146 I!9>"s12  
第7章 带通滤光片 149 qj:[NPwaM  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 [hot,\+f  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 >}NnzZ  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 >+;} "J  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 ,/V~T<FI  
7.3.2 膜系透射定理 153 Z{l`X#':  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 D'ZUbAh!  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 }Ptv[{q]GE  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 $>_`.*I/  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 Y?K?*`Pkc1  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 8tjWVo  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 _D{FQRU<YD  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 H l(W'>*oL  
7.5 超窄带带通滤光片 183 0<4'pO.6Hq  
7.6 宽带带通滤光片 185 SCMvq?9  
7.7 带通滤光片的角特性 186 hMS:t(N{  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 #"TYk@whWf  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 6nsb)7a  
习题 193 +T*? ?OW@  
参考文献 193 _PC<Td>nm  
第8章 截止滤光片 196 l'2vo=IQ  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 q2`mu4B  
8.2 吸收型截止滤光片 197 (yuOY/~k/  
8.3 干涉型截止滤光片 198 L">jSZW[[  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 z.)*/HGJm  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ! ,H6.IH;S  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 $ Fc}K+  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 `<T4 En  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 A/lznBHR  
8.3.6 截止带的展宽 210 XJl 3\*  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 !J{[XT  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 v&9:Wd*Iz'  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 Ji=`XsV  
习题 221 s{X+0_@Q  
参考文献 221 &jg>X+;  
第9章 带阻滤光片 223 $JBb] v8_  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 =1!.g"0  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 g.;2N9  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 &E!m(|6?+  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 B2_fCSlg  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 , .=7{y~  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ?/@XJcm+  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 ;.$vDin6  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 HKOSS-`5  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 x2b t^!t.  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 MX!N?k#KhP  
习题 241 *YQXxIIq  
参考文献 241 } 21!b :a  
第10章 分光镜 243 SjA'<ZX>TM  
10.1 中性分光镜 243 U F89gG4  
10.1.1 金属膜中性分光 244 }LEasj  
10.1.2 介质膜中性分光 245 d:]ZFk_*  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 r t)[}+ox  
10.2 双色分光镜 249 ?wIEXKI  
10.3 偏振分光 254 <+%y  
10.3.1 偏振特性的描述 254 C\{hN  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 0f3>s>`M  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 3a U4Z|f~  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 CL(D&8v8~  
10.4 消偏振分光 262 +zo\#8*0MF  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Gcxz$.(  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 -Fop<q\b  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 W5Jb5  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 9&B #@cw  
10.5 分光中的消色差问题 280 hS%oQ)zvE  
习题 281 `!ja0Sq]U  
参考文献 282 2*n~r  
第二篇 薄膜扶术基础 K^b'<} $|p  
第11章 薄膜制备技术 283 8yZs>Og?  
11.1 真空技术简介 283 3_i29ghv  
11.1.1 真空的基本知识 283 A&-2f]L tl  
11.1.2 真空的获得 284 _a`/{M|  
11.1.3 真空的测量 286 n7n-uc  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 fP( n3Q  
11.2.1 蒸镀法 289 6HVX4Z#VH  
11.2.2 溅射法 300 ,K&L/*  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 v.,D,6qZ  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 \vL{f;2J  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 &RHx8zScP  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 nU2w\(3|  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 AuBBSk8($  
11.3.5 光化学气相沉积 310 (ze9-!%  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 5GJa+St?  
11.3.7 原子层沉积 312 RW Jyd=  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ^O"o-3dte  
11.4.1 化学镀 313 pYUQSsqC  
11.4.2 阳极氧化法 314 iWe'|Br  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 69odE+-X.  
11.4.4 电镀 315 sbhUW>%.  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 x IL]Y7HWM  
11.5 光刻蚀 316 oHu7<r  
11.5.1 光刻工艺 316 4C;"4''L  
11.5.2 光刻胶 317 _.W;hf`  
11.5.3 掩模 318 X:(t,g*7  
11.5.4 曝光 318 P}!pmg6V  
11.5.5 刻蚀方法 318 G*zhy!P  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 mMK 93Ng"&  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 yOk]RB<'r  
习题 323 |B\76Nk  
参考文献 324 >T\^dHtz  
第12章 光学薄膜检测技术 326 ExOSHKU,e  
12.1 光谱分析技术基础 326 @.QuIm8,  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 }[;r-5}  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 >IZ$ .-  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 2P|j<~JS  
12.2.1 透射率测量 333 ZYTBc#f  
12.2.2 反射率测量 334 3#`Sk`z<  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 *E/CNMn=E  
12.3.1 吸收测量 338 }$3pS:_N~  
12.3.2 散射测量 342 %e/L .#0  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 _G^4KwYp  
12.4 光学薄膜常数测量 347 O<?.iF%  
12.4.1 光度法 348 rGQ([e  
12.4.2 全反射衰减法 354 0y;1D k!  
12.4.3 椭圆偏振法 357 x^YsXzu  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 (~#-J7  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 _=I&zUF  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 xl(R|D))  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 z{U^j:A  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 S$GWY^5}{  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 Xh*Nu HH  
12.6.1 薄膜微结构 368 /jn0Xh  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 zhI"++  
12.6.3 雕塑薄膜 372 i6:O9Km  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 (+bt{Ma  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 p$XvVzW#<  
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关键词: 薄膜光学
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