薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7143
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 j.ANBE96>  
(x?A#o>%  
_=4Dh/Dv  
目录 R.> /%o  
第一篇 薄膜元学基本理抢 N:gS]OI*  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 J/RUKhs/  
1.1 麦克斯韦方程 1 #2x\d  
1.2 平面电磁波 6 Jq?ai8  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 E})PNf;  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 m,*t}j0 7  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 B8[H><)o\y  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 i,* DWD+  
1.4 电磁波谱、光谱 10 1VJE+3  
习题 12 183'1Z$KA  
参考文献 12 ^B]M- XG  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 }$g5:k!  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 W&Fa8  
2.1.1 S波反射与透射 14 Vs9fAAXS4  
2.1.2 P波反射与透射 16 Q"QrbU  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 S}*#$naK  
2.2.1 S 波反射与透射 18 nLo:\I(  
2.2.2 P 波反射与透射 20 KX`MX5?x  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 63F0Za}h  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 2R|2yAh  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 HM ^rk  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 Xo]FOJ 5  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 MZ% P(5  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 uXK$5"  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 KOw Ew~  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 dd98v Vj  
2.5.2 全透射 37 E%/E%9-7\  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 !f_Kq$.{  
2.6 反射率和透射率 39 > `z^AB   
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 >Q"eaJxE!l  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 F+c*v#T  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 /R F#B#9  
习题 44 Yckl,g_  
参考文献 44 V{c n1Af  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 7!L"ef62o  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 shP,-Vs #  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 [&)9|EV  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 :) mV-(+o  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ob-be2EysH  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 m#'u;GP]k  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 $Fr$9 jq&  
3.4.1 一阶近似 62 INcJXlv  
3.4.2 二阶近似 63 ;QW)tv.y  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Fvi<5v  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 9> [ $;>  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 s}/YcUK  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 /XnI>  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ]TD]    
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ~Dgui/r9J  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 U .G*C  
习题 79 bzB9u&  
参考文献 79 =p^*y-z  
第4章 膜系设计图示法 81 X8?|5$Ey  
4.1 矢量法 81 ]$KH78MTW  
4.2 导纳图解法 87 U4^dDj  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 *i)GoQoB  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 WS2TOAya)  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 Neey myW  
4.3 金属膜导纳圆图 97 d4A}BTs1  
4.4 膜系层间电场分布 99 .>h|e_E  
习题 100 CDR^xo5 dP  
参考文献 101 DF9Br D0{  
第二篇 光学等膜分类反应用 !"p,9  
第5章 增透膜 102 /m9t2,KB  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 l ^$$d8  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 F~<$E*&h@  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 .RoO 6:T6  
5.4 均匀介质增透膜 107 Z1OX9]##r  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 IKAF%0[R|j  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Q7`zrCh  
5.5 非均匀介质增透膜 113 `^|mNh  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 zg|yW6l)9  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 +h*&r ~T  
习题 118 574 b]  
参考文献 118 !tX14O~B-  
第6章 高反射膜 120 PP$Ig2Q  
6.1 反射镜组合的反射率 120 sHh2>f@x$  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 AE^&hH0^  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 WMl_$Fd6  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 o<T>G{XYB  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ?CM,k0  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 YHCXVu<.b  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 vjbot^W9  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 qfN<w&P  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 6S ]GSS<  
6.8 金属反射镜 134 yvNYYp2r  
6.8.1 常用金属反射镜 134 ?MO'WB9+JR  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ;2%3~L8?V  
6.9 影响反射特性的因素 137 r|rV1<d  
6.10 高反射镜应用实例 143 213D{#2  
6.10.1 激光高反射镜 143 AB+Zc ]  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 SLZv`  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ("mW=Ln  
习题 146 uCmdNY  
参考文献 146 m0/J3  
第7章 带通滤光片 149 {`l]RIig  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 r|0C G^:C  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 z,/dYvT<  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 XTHrf'BU  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 QR79^A@5  
7.3.2 膜系透射定理 153 C:gE   
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Wpj.G  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 KGK8;Q,O  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 +$8hTi,  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 "B)DX*-\?  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 :UFf6T?  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 \^':(Gu4o  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 _FAwW<S4B  
7.5 超窄带带通滤光片 183 1\zI#"b ^  
7.6 宽带带通滤光片 185 >+1^XeeS  
7.7 带通滤光片的角特性 186 nb?bx{M  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 n>Zkx+jLj<  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 zA-?x1th&  
习题 193 f\/};a  
参考文献 193 VAq( t  
第8章 截止滤光片 196 zse! t  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 AS4m227  
8.2 吸收型截止滤光片 197 ;zz"95X7  
8.3 干涉型截止滤光片 198 `Gsh<.w!7  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 x2|DI)J1'  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 <&W3\/xx  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 I0)iC[s8;  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 yu}4L'e  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 y0A2{'w  
8.3.6 截止带的展宽 210 +R#*eo;o7  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 b/ZX}<s(1=  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 P+"#xH  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 GlD@Ud>o)  
习题 221 4 Ag+  
参考文献 221 YMqL,& Q{1  
第9章 带阻滤光片 223 azOp53zR  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ojyG|Y  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 5zEl`h  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 r("7 X2f  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 KJ'MK~g  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ;'p0"\SV  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 w8> T ~Mv  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 xx/DD%IZ  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 lzuPE,h  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 uY'Ib[H  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 Z/Mp=273  
习题 241 bh+R9~  
参考文献 241 E 8,53$  
第10章 分光镜 243 U76:F?MH  
10.1 中性分光镜 243 C-4I e  
10.1.1 金属膜中性分光 244 |,}QhR  
10.1.2 介质膜中性分光 245 XV+BSW7}  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 %>24.i"l  
10.2 双色分光镜 249 u45e>F=  
10.3 偏振分光 254 gdkO|x  
10.3.1 偏振特性的描述 254 vLpE|QZs  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 v SWqOv$  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 LJI&j \  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 mP:mzmUw  
10.4 消偏振分光 262 94K ;=5h  
10.4.1 偏振分离的描述 263 dcXtT3,kpX  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 guFR5>-L  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 =E |[8 U)  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 u&pLF%'EQ  
10.5 分光中的消色差问题 280 a?+) K  
习题 281 Txp~&a03  
参考文献 282 '| Ag,x[  
第二篇 薄膜扶术基础 Q[~O`Lz  
第11章 薄膜制备技术 283 BAzqdG  
11.1 真空技术简介 283 k^ZUOWmU|  
11.1.1 真空的基本知识 283 uiiA)j*!  
11.1.2 真空的获得 284 yChC&kX Z+  
11.1.3 真空的测量 286 eeL%Yp3+  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 r-[z!S  
11.2.1 蒸镀法 289 %e1<N8E4  
11.2.2 溅射法 300 Bv9;q3]z-  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 7&HP2r  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 #*Mk@XrV  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 QjZ}*p  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 iB]kn(2C  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 YK}(VF?&  
11.3.5 光化学气相沉积 310 9N'$Y*. d<  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 8mCr6$|%  
11.3.7 原子层沉积 312 <v5toyA  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 J'B;  
11.4.1 化学镀 313 br'~SXl  
11.4.2 阳极氧化法 314 <GoE2a4Va  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 M{nz~W80  
11.4.4 电镀 315 `5!7Il  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 6j` waK  
11.5 光刻蚀 316 _@"Y3Lqi  
11.5.1 光刻工艺 316 !gT6S o  
11.5.2 光刻胶 317 tQwbIX-7/  
11.5.3 掩模 318 ~zRW*pd  
11.5.4 曝光 318 qqkZbsN  
11.5.5 刻蚀方法 318 V8,$<1Fi;-  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 R[_7ab]A  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Gg-<3z  
习题 323 ^2=Jv.2{|  
参考文献 324 % yJs"%  
第12章 光学薄膜检测技术 326 y()#FRp7  
12.1 光谱分析技术基础 326 o +aB[+  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 wx57dm+  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 /&kTVuN"(  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 A\SbuRty  
12.2.1 透射率测量 333 ZS}2(t   
12.2.2 反射率测量 334 C?E;sRr0  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 *b7v)d#  
12.3.1 吸收测量 338 Qh{=Z^r  
12.3.2 散射测量 342 | C2k(  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 g5T~%t5lo  
12.4 光学薄膜常数测量 347 w$& 10  
12.4.1 光度法 348 wI`uAZ="  
12.4.2 全反射衰减法 354 Ebq5P$  
12.4.3 椭圆偏振法 357 }4bwLO  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 _ROe!w  1  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 R'9TD=qEK  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 #z5'5|3  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 wS:323 !l$  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 f'#7i@Je  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 bAW;2 NB  
12.6.1 薄膜微结构 368 z?yADYr9  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 !(o)*S  
12.6.3 雕塑薄膜 372 u' r ;-|7  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 DU[UGJg  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 - 6  
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关键词: 薄膜光学
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