薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6905
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 N\]-/$z  
3jfAv@I~  
R>Ox(MG  
目录 'e<8j  
第一篇 薄膜元学基本理抢 t; #@t/`  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 AwuhF PG  
1.1 麦克斯韦方程 1 (0y!{ (a  
1.2 平面电磁波 6 WaX!y$/z  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 7ieAd/:_  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 G,WLca[  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 8.wtv5eZ  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 N8x&<H  
1.4 电磁波谱、光谱 10 h~%8p ]  
习题 12 PVxu8n  
参考文献 12 +:aNgO#e8  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 1\lZ&KX$i  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ?)<zzL",  
2.1.1 S波反射与透射 14 S Cn)j:gH;  
2.1.2 P波反射与透射 16 4,YL15.  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 S~m8j |3K  
2.2.1 S 波反射与透射 18 xp^Jp  
2.2.2 P 波反射与透射 20 7NOF^/nU  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 o+k*ia~Fa  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ~A%+oa*2~  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 XLYGhM  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 /Trbr]lWy  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 t5 ^hZZ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 @|w/`!}9q  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 /`#JM  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 u^'X>n)oL#  
2.5.2 全透射 37 h{\S'8  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 yZoJD{'?Sw  
2.6 反射率和透射率 39 )3|a_   
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ?Ec{%N%  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 805oV(-  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 &>Z;>6J,  
习题 44 fV6ddh  
参考文献 44 fpO2bD%$8  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45  ]sP  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 5}5oj37x  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 6h&t%T  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 h~._R6y  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ^)`e}}  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 bQN3\mvY  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 TZg1,Z  
3.4.1 一阶近似 62 (6 }7z+  
3.4.2 二阶近似 63 T^$`Z.  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 m9 c`"!  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 P,G :9x"e  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 psiuoYf  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ]70ZerQ~L  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 oxnI/Z  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 <wd;W;B  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 WD kE 5  
习题 79 s`v$r,N0  
参考文献 79 x.Ny@l%]  
第4章 膜系设计图示法 81 pP"j|  
4.1 矢量法 81 QWt3KW8)  
4.2 导纳图解法 87 kPAg *  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 |v#D}E  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 xd"+ &YT  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 j`Ek:  
4.3 金属膜导纳圆图 97 {}RU'<D  
4.4 膜系层间电场分布 99 w|0:0Rc~u  
习题 100 sS4V(:3s  
参考文献 101 3=Uyt  
第二篇 光学等膜分类反应用 7&]|c?([4  
第5章 增透膜 102 LU@1Gol  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 xwwL  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 PAC=LQn&  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 SY@;u<Pd   
5.4 均匀介质增透膜 107 :}#j-ZCC"  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 #IDLfQ5g  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 gg#lI|  
5.5 非均匀介质增透膜 113 tt6GtYrC 1  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 <{YzmN\Z  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 2BT+[  
习题 118 6T_Ya)  
参考文献 118 im)r4={ 9  
第6章 高反射膜 120 udc9KuR@  
6.1 反射镜组合的反射率 120 )7#3n(_np  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 '0o^T 7C  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 0~[M[T\  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 2\#$::B9  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 -Oz! GX  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 !\Cu J5U  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ,R7j9#D  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 uc]5p(9Hb  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ,I]]52+?4  
6.8 金属反射镜 134  <pD  
6.8.1 常用金属反射镜 134 z_A\\  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 4+p1`  
6.9 影响反射特性的因素 137 -H|!KnR  
6.10 高反射镜应用实例 143 w?M"`O(  
6.10.1 激光高反射镜 143 _)YB*z5  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 VpY,@qh  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 n!Y}D:6c6  
习题 146 $ )2zz>4  
参考文献 146 )"2eN3H/  
第7章 带通滤光片 149 mjk<FXW  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 b+f '  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 C}L2'l,  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Y~#F\v  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 ^'+#BPo9@  
7.3.2 膜系透射定理 153 DPmY_[OAE  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 #~qza ETv,  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 I1K%n'D  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 )!G 10  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 WOeLn[  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 J'WOqAnPZ  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 P"@^BQ4  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 Z}SqiT  
7.5 超窄带带通滤光片 183 *;F<Q!i&v  
7.6 宽带带通滤光片 185 adgd7JjI*  
7.7 带通滤光片的角特性 186 *UG?I|l|I  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 e~R_bBQ0  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 VOg'_#I  
习题 193 N1x~-2(  
参考文献 193 ^ 6Yt2Bhs  
第8章 截止滤光片 196 xnw'&E  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 {aK3'-7  
8.2 吸收型截止滤光片 197 \DD4=XGA  
8.3 干涉型截止滤光片 198 N\?__WlBK7  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 txX>zR*)  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 $d.Dk4.ed  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 N{M25ucAHl  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 4gmlK,a  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 K&"X7fQ  
8.3.6 截止带的展宽 210 ?Ho>  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 66_=bd(9  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 I@#IXH?6  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 23Q 88z   
习题 221 [W3sveqj&  
参考文献 221 =fB"T+  
第9章 带阻滤光片 223 $_\x}`c~.  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 `v2Xp3o4f  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 pRjrMS  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 qamq9F$V  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 cBZJ  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 cveQ6 -`K  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 Cj YI *  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 h2?\A%  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Ahr  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 uy<b5.!-  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 >S{8sN  
习题 241 :<5jlpV(  
参考文献 241 0&tr3!h\  
第10章 分光镜 243 5EECr \*  
10.1 中性分光镜 243 ;Uy}(  
10.1.1 金属膜中性分光 244 'S&Zq:  
10.1.2 介质膜中性分光 245 :6o|6MC!  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 z;N`jqo   
10.2 双色分光镜 249 8 ~Pdr]5  
10.3 偏振分光 254 6C ?,V3Z  
10.3.1 偏振特性的描述 254 OF-g7s6VH  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 it-2]Nw  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 i]qxF&1  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 J*Cf1 D5!  
10.4 消偏振分光 262 X7tBpyi  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ::cI4D  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 Z=a~0&G  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 TWfk r  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ,,ML^ey  
10.5 分光中的消色差问题 280 9}a&:QTHR  
习题 281 _E/  
参考文献 282 RfT)dS+rAh  
第二篇 薄膜扶术基础 ,<s:* k  
第11章 薄膜制备技术 283 /^X)>1)j  
11.1 真空技术简介 283 )FfS7 C\.  
11.1.1 真空的基本知识 283 T?tZ?!6  
11.1.2 真空的获得 284 {)Shc;Qh  
11.1.3 真空的测量 286 z 8#{=e  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 gplrJaH@  
11.2.1 蒸镀法 289 ]xbMMax  
11.2.2 溅射法 300 4VC8#x1  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 &78lep  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 =&DuQvN,  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 5%@~"YCo  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ,VzbKx,  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 >?ec"P%vS/  
11.3.5 光化学气相沉积 310 ]AN%#1++U  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 5Ux=5a  
11.3.7 原子层沉积 312 S?c<Lf~W  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 "x 3C3Zu.;  
11.4.1 化学镀 313 152LdZevF  
11.4.2 阳极氧化法 314 3[ xHY@c  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 O]61guxro  
11.4.4 电镀 315 6#a82_  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 3bQq Nk  
11.5 光刻蚀 316 u0qTP]  
11.5.1 光刻工艺 316 8;,|z%rS"  
11.5.2 光刻胶 317 )a%E $`   
11.5.3 掩模 318 HLL=.: P  
11.5.4 曝光 318 bwJluJ, E  
11.5.5 刻蚀方法 318 d vo|9 >  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ^E~1%Md.  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 7c6- o"A  
习题 323 ,v?FR }v  
参考文献 324 ;*=7>"o'`  
第12章 光学薄膜检测技术 326 t5P8?q\  
12.1 光谱分析技术基础 326 b7gN|Hw5 H  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 4i<GqG  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 j*d+WZm8-g  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 S9'Xsh  
12.2.1 透射率测量 333 0vMKyT3 c  
12.2.2 反射率测量 334 +&E\w,Vq^  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 a^Q ?K\c4N  
12.3.1 吸收测量 338 GXRW"4eF5  
12.3.2 散射测量 342 z<J2e^j  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 $)KNpdXh  
12.4 光学薄膜常数测量 347 aa dw#90  
12.4.1 光度法 348 C]h_co2eI  
12.4.2 全反射衰减法 354 '+c@U~d*7  
12.4.3 椭圆偏振法 357 /Kd'!lMuz  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 46B'Ec  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 gtqtFrleG  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 }?HWUAL\  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 +I}!)$/  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 0r?]b*IEK  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 *nv ^s  
12.6.1 薄膜微结构 368 p1T0FBV L  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 @xk;]H80  
12.6.3 雕塑薄膜 372 7I;0 %sVQ{  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 6uX,J(V,  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ZkNet>9  
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关键词: 薄膜光学
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