薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7287
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 r.>].~}4  
7qg{v9|,  
)p~BQ~eip;  
目录 cnFI &,FM  
第一篇 薄膜元学基本理抢 8qu2iPOcZ  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Tp-l^?O-p  
1.1 麦克斯韦方程 1 3`ELKq  
1.2 平面电磁波 6 j  S?xk  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 &xY^OCt  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 D[mSmpjE6&  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ~YRDyQ:%T  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ,XIz?R>;c  
1.4 电磁波谱、光谱 10 jp"JafS/E  
习题 12 CO2C{~Q5  
参考文献 12 w[ !^;#  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 `}l JH i  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 p Wt) A  
2.1.1 S波反射与透射 14 `> ?ra-  
2.1.2 P波反射与透射 16 ALNc'MW!  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 c=L2%XPP  
2.2.1 S 波反射与透射 18 ;M_o)OS3  
2.2.2 P 波反射与透射 20 #L{OV)a<  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 ?I [8'  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 &znQ;NH#  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 D!.+Y-+Xzu  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 z-LB^kc8oQ  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 -x'z XvWZ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 v}tag#f5>?  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 yI ld75S`  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ;3kj2}  
2.5.2 全透射 37 ~d%Pnw|  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 sm\f0P!rv  
2.6 反射率和透射率 39 Qum9A   
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 DWID$w  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 gOr%!QaF  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 nD)K}4  
习题 44 /qx0TDB  
参考文献 44 AjT%]9 V?  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 xZQg'IT  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 9uer(}WKT  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 h~p>re  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 m^H21P"z  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 L dm?JrU  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 0MkSf*  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 E/09hD Q  
3.4.1 一阶近似 62 u6MzRC  
3.4.2 二阶近似 63 #ssN027  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 1xbK'i:-S  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 LNa$ X5`  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ;}1xn3THCn  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 *_KFW@bC:  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 h-m \%|D  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 fuA&7gNC  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 @E-\ J7 yh  
习题 79 7\9>a  
参考文献 79 ObE,$_ k  
第4章 膜系设计图示法 81 -W<vyNSr  
4.1 矢量法 81  k0  
4.2 导纳图解法 87 /-qxS <?o  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ~",`,ZXQy  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 V h k _  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 )DeA} e ?F  
4.3 金属膜导纳圆图 97 }Y*VAnY6;  
4.4 膜系层间电场分布 99 }>'PT -  
习题 100 :pF_GkG  
参考文献 101 DZv=\<$,LF  
第二篇 光学等膜分类反应用 #fL8Kq  
第5章 增透膜 102 MUA%^)#u4Q  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 .p=sBLp8  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 E-{^E.w1  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 X5`AGyX  
5.4 均匀介质增透膜 107 N*`b%XGn3  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Ga^Zb^y  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 n f.wCtf].  
5.5 非均匀介质增透膜 113 v9D22,K-  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 24/XNSE,-  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 fnNYX]_bk  
习题 118 |0\0a&tkPl  
参考文献 118 P{5-Mx!{&  
第6章 高反射膜 120 =r.mlc``W  
6.1 反射镜组合的反射率 120 <N`J`J-[  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 sU!6hk  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 3"kd jOB  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 x+h~gckLb  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 e+]6OV&+  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 =;3fq-  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 :KKa4=5L  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 =fYL}m5E  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 hx f'5uc  
6.8 金属反射镜 134 u1~9{"P*  
6.8.1 常用金属反射镜 134 g >'p>}t  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 -PnyZ2'Z  
6.9 影响反射特性的因素 137 `xc^_781\  
6.10 高反射镜应用实例 143 UDc$"a}ds{  
6.10.1 激光高反射镜 143 v @O&t4  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 )OLq_':^ @  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 qU,c~C=Qf  
习题 146 O0:)X)b  
参考文献 146 xEltwuDd?  
第7章 带通滤光片 149 e|rg;`AW  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 X/; p-KX  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 HeK h>  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 bO;(bE m@  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 1Fe^Qb5G  
7.3.2 膜系透射定理 153 W>=o*{(YO  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Y];Ycj;  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 jV/CQM5a+  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 5I,gBT|B  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 c.|l-zAeX  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 5PIZh<  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 ';G1A  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 7P B)'Wl"6  
7.5 超窄带带通滤光片 183 IF +i3#$  
7.6 宽带带通滤光片 185 ^Q{Bq  
7.7 带通滤光片的角特性 186 XG@`ZJhU6  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 Nk;iiz+_p  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 {&[9iIf  
习题 193 !~ZP{IXyo  
参考文献 193 ~RBrSu)  
第8章 截止滤光片 196 r{sebE\ ;  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 1 Vy,&[c~"  
8.2 吸收型截止滤光片 197 }6-ZE9H-v  
8.3 干涉型截止滤光片 198 Dw2Q 'E  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ^#):c`  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 *<'M!iRC  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ZCVl5R(mZ  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 SMf+qiM-E  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 vZ#!uU^a:  
8.3.6 截止带的展宽 210 Y=*P 8pg  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 f&x0@Q/eON  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 o:Zd1"Z  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 m7%C#+67  
习题 221 f{lZKfrp  
参考文献 221 *RR[H6B^]X  
第9章 带阻滤光片 223 b}G24{  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 70B)|<$  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 %vO<9fE|1  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 ; U`X 6d  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 _J]2~b  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 '(#g1H3  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 aj ~bt-cE  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 #*c F8NV-  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 tVqmn  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 #)`A7 $/,  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 S='syq>Aok  
习题 241 &kQ!KA28  
参考文献 241 [ B0K  
第10章 分光镜 243 15zrrU~D  
10.1 中性分光镜 243 !RlC~^ -  
10.1.1 金属膜中性分光 244 cUK\x2  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ecX/K.8l  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 s(&;q4|  
10.2 双色分光镜 249 q9dLHi<1  
10.3 偏振分光 254 1Xyp/X2rI  
10.3.1 偏振特性的描述 254 M0-,M/]l  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 =f:(r'm?r.  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 Gqyue7;0,  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ;t]|15]u  
10.4 消偏振分光 262 D22Lu ;E  
10.4.1 偏振分离的描述 263 rwpgBl  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 C;a@Jjor'  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 RP(/x+V  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 hN(L@0)  
10.5 分光中的消色差问题 280 aEx(rLd+  
习题 281 3SARr>HRyI  
参考文献 282 ?Ay3u^X  
第二篇 薄膜扶术基础 1.R kIB  
第11章 薄膜制备技术 283 OCHm;  
11.1 真空技术简介 283 PMKb ]y  
11.1.1 真空的基本知识 283 'H FKBp  
11.1.2 真空的获得 284 &-GuKH(Y<  
11.1.3 真空的测量 286 FBsn;,3<W  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 !%mi&ak(Rn  
11.2.1 蒸镀法 289 rF'R >/H  
11.2.2 溅射法 300 G^Xd-7 GQ  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 @+^c"=d1S  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 5a(<%Q <"  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 #@Ujx_F  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 eO{@@?/y  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 KtTza5aF  
11.3.5 光化学气相沉积 310 NygI67  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 (L|}`  
11.3.7 原子层沉积 312 JJl7JwSTW  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 e`sw*m5  
11.4.1 化学镀 313 ,deUsc  
11.4.2 阳极氧化法 314 i<u9:W  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 $o^e:Y , a  
11.4.4 电镀 315 "g `nsk  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 j 0 Y  
11.5 光刻蚀 316 Ko}2%4on  
11.5.1 光刻工艺 316 u3Do~RyL[  
11.5.2 光刻胶 317 8Inx/>eOI  
11.5.3 掩模 318 3c u9[~K  
11.5.4 曝光 318 )!C7bTv 4  
11.5.5 刻蚀方法 318 93I'cWN  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 G\1J _al  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 9Q@*0-  
习题 323 nC~fvyd<P  
参考文献 324 6;JP76PD  
第12章 光学薄膜检测技术 326 y`b\;kd  
12.1 光谱分析技术基础 326 >38 Lt\  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 C|6{fd4?  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 pGGV\zD^  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 Dq`~XS*  
12.2.1 透射率测量 333 '\L0xw4  
12.2.2 反射率测量 334 u)7 ]1e{  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 l7Lj[d<n  
12.3.1 吸收测量 338 g9qC{x d  
12.3.2 散射测量 342 sPpS~wk*  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ycjJbL(.  
12.4 光学薄膜常数测量 347 lf8xL9v  
12.4.1 光度法 348 k6J\Kkk(  
12.4.2 全反射衰减法 354 y#bK,}  
12.4.3 椭圆偏振法 357 8&T,LNZoY  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 W^(Iw%ek  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ?48AY6  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 "=ElCaP}  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 l7Y8b`  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Vr\Q`H.  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 qsvpW%?aE  
12.6.1 薄膜微结构 368 `r]TA]D R  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 eKJ:?Lxv;  
12.6.3 雕塑薄膜 372 0h:G4  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 <N5rv3 s  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 bqjr0A7{  
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关键词: 薄膜光学
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