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    [分享]大口径光学元件瞬态波前检测 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-01
    摘要:为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的 Φ400 mm 瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到 对比度良好的干涉图后,利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位,实现瞬态波前动态测量。实 验光路总长近 20 m,极易受气流的影响,且由于气流干扰随时间变化,该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态 波前发生与检测装置。测试结果与 SID4 波前传感器比较,波前均方根(RMS)小于 1/50 λ,可知所提方法可以实现 大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。 +0UBP7kn  
    T :m" eD;  
    关键词:光学测量;点衍射干涉仪;大口径;瞬态波前
    附件: 大口径光学元件瞬态波前检测.rar (2536 K) 下载次数:10 ,售价:2光币[记录]
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    cyqdesign 光币 +5 - 06-01
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 06-12
    看看是什么内容,qianlai guanshang
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