摘要：为瞬态测量大口径光学元件波前，提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的 Φ400 mm 瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光，从而在干涉图中引入高线性载频，采集到 对比度良好的干涉图后，利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位，实现瞬态波前动态测量。实 验光路总长近 20 m，极易受气流的影响，且由于气流干扰随时间变化，该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态 波前发生与检测装置。测试结果与 SID4 波前传感器比较，波前均方根（RMS）小于 1/50 λ，可知所提方法可以实现 大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。 pN f9
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关键词：光学测量；点衍射干涉仪；大口径；瞬态波前
