摘 要
-!~T$}/F ZYi."^l 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
oXQzCjX_ :L E&p[^ pel{ ;r 建模任务
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ecZT|X4u [#}0) 倾斜平面下的观测条纹
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.d4L@{V D #`o 圆柱面下的观测条纹
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T=NF5kj-= `~0^fSww 球面下的观测条纹
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration dv_& ei -
Mach-Zehnder Interferometer s%{8$>8V.
v4pFts$J (来源:讯技光电)