摘 要
\eAV: qV {kvxz 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
X9?0`6Li C3~O6<,Jh `l %,4qR 建模任务
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K5z<n0X ~ wUL 5"\ 倾斜平面下的观测条纹
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圆柱面下的观测条纹
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7Hj7b:3K&! 5W=Jn?y2 球面下的观测条纹
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7 S,Q(,e^& VirtualLab Fusion 视窗
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d(9-T@J ;f=.SJF VirtualLab Fusion 流程
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration 'I:_}q -
Mach-Zehnder Interferometer Hs{x Z: wA6E7vi' (来源:讯技光电)