摘 要
T=7V+ ^9T6Ix{= 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
TSu^.K -x
)(2| Bm%.f!` 建模任务
I\V33Nd Mi'Q5m K]dqK' wP3PI.g-g 倾斜平面下的观测条纹
Zrfp4SlZZ g3{)AX[Uy ]*a)'k_@[ 2D-ogSIo 圆柱面下的观测条纹
U,/NygB~ Db({k,P'Y L;.6j*E* D[{p~x^ 球面下的观测条纹
|E@G sw Avw"[~Xd u&l2s&i ;@K,>$ur- VirtualLab Fusion 视窗
{y0*cC UNocm0!N' 0O4'Ts ? $I_04k#t VirtualLab Fusion 流程
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration IC[SJVH; -
Mach-Zehnder Interferometer g2C-)*'{yh tZ>>aiI3 (来源:讯技光电)