摘 要
}\Kki "g}m xPe 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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bz$)@gLc Y6<"_ 倾斜平面下的观测条纹
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-aj) _.d cvSr><( 圆柱面下的观测条纹
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Ql. 球面下的观测条纹
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration e3YdHp -
Mach-Zehnder Interferometer 8AX+s\N i7 *cpNPO (来源:讯技光电)