摘 要
$27QY Tl/!Dn 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
Ekl cnM|6 8gIf BSyl!>G6n8 建模任务
].(l^W gL/D| = IGKtugU% :"im2J 倾斜平面下的观测条纹
PKxI09B #uc9eh}CWO t5M"M{V
gt>k]0 圆柱面下的观测条纹
CW+] Jv]" *h V$\CLT. ;1[a*z<l&s 1x'H# 球面下的观测条纹
vB<2f*U :4\=xGiY R?Ou=p
. zn3]vU! VirtualLab Fusion 视窗
azCod1aL{ ,qz:( Nr >;NiG)Z j=U^+jAn VirtualLab Fusion 流程
'<R::M, *K'_"2J )?$zY5 FPC^-mD VirtualLab Fusion 技术
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration v1aE[Q -
Mach-Zehnder Interferometer bQ`|G(g-d K2@],E?e%| (来源:讯技光电)