摘 要
|quij0_'e eKG2*CV 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
D#Kuo$ n?xTkkr0 3^,QIG 建模任务
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gb" 4B%Hm 4w93}t.z 倾斜平面下的观测条纹
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F4UAQzYb !%)]56( 圆柱面下的观测条纹
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FX}Gt= 8b(!k FxD 球面下的观测条纹
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=9wy/c$ 6'vbT~S! VirtualLab Fusion 视窗
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P-`(0M7^ VirtualLab Fusion 技术
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration I:98 $ r$ -
Mach-Zehnder Interferometer C1kYl0zR[ 8^/I>0EZ (来源:讯技光电)