摘 要
^OHZ767v l9]o\JFXk 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
X32RZ9y /DLr( |!$ Q<-]f 建模任务
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=Ov9Kf 倾斜平面下的观测条纹
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Bfbl#ZkyL g;$E1U=R-E 圆柱面下的观测条纹
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dJ 球面下的观测条纹
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Q{O/xLf VirtualLab Fusion 流程
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration 5Lw{0uLr -
Mach-Zehnder Interferometer A5+q^t} OO$|9`a (来源:讯技光电)