摘 要
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斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
ic]tUOC : +j: Ld( KJ^GUqVl 建模任务
Ufe rUpAiZfz > 8!%"/*P$ AW&s-b%P 倾斜平面下的观测条纹
>.wd) Vv)E41
c)!s[o L yqb<<4I 圆柱面下的观测条纹
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4cU5 "gikX/Co= -zLI!F 0 F4<2.V)#- 球面下的观测条纹
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@bCiaBdi |21hY VirtualLab Fusion 视窗
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