摘 要
&mkL4jXG /BwG\GhM 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
s\ e b [&sabM`Ul d>O/Zal 建模任务
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',!>9Dj DfX~}km 倾斜平面下的观测条纹
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<07]w$m/ iL|5}x5\ 圆柱面下的观测条纹
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ee{K5 G jS)YYk5 球面下的观测条纹
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N%9?8X[5 [WI'oy VirtualLab Fusion 视窗
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GK[Hs1/ #'n.az=1 VirtualLab Fusion 技术
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration G8' -
Mach-Zehnder Interferometer /x<uv_" 3p]\l ]= (来源:讯技光电)