摘 要
_a6[{_Pc X~lVVBO 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
9QDFEYG BI3@|,._N bYEy<7)x 建模任务
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qyk^X ~8GF Q ph Fs9I7~L3 ,Wk?I%> 倾斜平面下的观测条纹
fh](K'P#^ CIb2J)qev 8=NM|i m9.{[K" 圆柱面下的观测条纹
n[G &ksQI IIn"=g=9 m 8aITd8 P} 0%-JC 球面下的观测条纹
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