摘要
%?C8mA'w 当用近轴光
照明时，亚
波长光栅仅产生一个
衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
98jN)Nl,oD aA`/ E qB]i6* 3VnQnd E 1. 建模任务
gwd (N rx"s!y{!- b
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, w9RS)l2FQ 2. 结果
E`H$YS3o #3= P4FUz. HBE.F&C88 [L $9p@I ^I
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文件和技术信息
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w2#< ;{[ > &4 ,5Pl\ keY i|)Su4Dw （来源：讯技光电）
