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[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

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离线xunjigd

助理工程师

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2019-04-12

关键词：光栅成像

摘要
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。

1. 建模任务

2. 结果

3. 文件和技术信息

（来源：讯技光电）

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