摘要
COJny/FT| 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
}=Yvs) gV]]?X& HgJ:R f] CqQ>"Y 1. 建模任务
.XR`iXY #|76dU 26|2r o|lEF+ 2. 结果
s-]k 7a2V {Lu-!}\NP JgXP2|Y ! &U:bRzD ! 9B| ` tW;?4}JR
3.
文件和技术信息
Fi.gf?d v[VUX69 rnWU[U8% :X-Z|Pv8 (来源:讯技光电)