[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 k}zd' /b  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ]26m
B  
@zrNN>  

图片:1-1Z412150ZLR.png

U*qNix  
-;>#3O-  
1. 建模任务 s^cc@C  
Yx),6C3  

图片:1-1Z41215093DW.png

sB6dpD  
b=1%pX_  
2. 结果 !}5*?k g  
xr.XU'  

图片:1-1Z41215101G13.png

AW/wI6[T  
Qci$YTwl>  

图片:1-1Z412151041B4.png

J$QBI&D  
Vho0eV=  
3. 文件和技术信息 q^*6C[G B  
'gDe3@ci!  

图片:1-1Z4121511045C.png

?/'}JS(Sm  
)* TF"  

很强大