[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 A}&YK,$5ED  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 'GiN^Y9dcc  
#,1z=/d.  
xq=!1>  
{<-wm-]mo  
1. 建模任务 S?J(VJqE  
;jN1n xF  
~*<`PDO?  
99CK [G  
2. 结果 FK`:eP{  
+{C)^!zBK  
rK`^A  
Q w - z  
{9.UeVz  
o4Cq  /K  
3. 文件和技术信息 _VTpfeL@n  
&m  GU  
r/"^{0;F{W  
K<`W>2"  

很强大