摘要
bI]UO) 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
)xvx6?Ah| m/hi~.D9 T]#,R|)d %rDmW?T 1. 建模任务
frmqBC VJ: 0^y@p&;/. x1:Pj ok3 2. 结果
()C^ta_] <a+eF}*2 Naf`hE9 N=Uc=I7C -S,ir E]H 3.
文件和技术信息
Sz|Y$, g/l0}% n-y^7'v VX!Y`y^a (来源:讯技光电)