[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 2;kab^iv'  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ]k,fEn(  
I7[+:?2  

图片:1-1Z412150ZLR.png

f$H"|Mbe  
<-lz_  
1. 建模任务 b!`:|!7r'  
'z!I#Y!Y  

图片:1-1Z41215093DW.png

xJO[pT v  
*nH?o* #  
2. 结果 _xmM~q[c7p  
8fDnDA.e  

图片:1-1Z41215101G13.png

y"){?  
`NGCUGQ_7  

图片:1-1Z412151041B4.png

b LxV  
.t~I[J\<  
3. 文件和技术信息  c<4pu  
rc;| ,\  

图片:1-1Z4121511045C.png

0<^K0>lm p  
bBDgyFSI<  

很强大