[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 N;,zPWa  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 W?"l6s  
V^4v`}Wgx  

图片:1-1Z412150ZLR.png

![$`Ivro`  
Bex;!1  
1. 建模任务 yYSmmgrX0  
&iZt(XD  

图片:1-1Z41215093DW.png

Ijap%l1I  
Uk*(C(  
2. 结果 bI|{TKKN&P  
T+aNX/c|>  

图片:1-1Z41215101G13.png

&-{%G=5~e%  
,]nRn
I^  

图片:1-1Z412151041B4.png

A+GRTwj  
4f~sRu
bK  
3. 文件和技术信息 SP/b4  
.c&&@>m@.  

图片:1-1Z4121511045C.png

tzfyS#E  
~cyKPg6  

很强大