[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 [IT*>;b+?  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 F?#^wm5TZ  
yd#SB)&  

图片:1-1Z412150ZLR.png

u~WBu|  
~NT2QY5!K  
1. 建模任务 w U".^ +  
N>kY$*  

图片:1-1Z41215093DW.png

{cmY`to  
S B2R  
2. 结果 +XV7W=  
coa+@g,w7#  

图片:1-1Z41215101G13.png

}+/j/es{]  
LpCJfQ  

图片:1-1Z412151041B4.png

g=*'kj7c3  
cP#vzFB0>  
3. 文件和技术信息 |q0F*\z3  
/-%0y2"7  

图片:1-1Z4121511045C.png

9e5XS\  
PkM]jbLe8  

很强大