[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 f5 wn`a~h  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 mJc'oG-  
t&mw@bj  

图片:1-1Z412150ZLR.png

VeA;zq  
7Nh6 `  
1. 建模任务 5Jp@n .  
 8yOzD  

图片:1-1Z41215093DW.png

A{: a kK  
{K*l,U  
2. 结果 #PVgx9T=_  
-869$  

图片:1-1Z41215101G13.png

NVS U)#  
9^4^EY#  

图片:1-1Z412151041B4.png

@+syD  
g`y >)N/  
3. 文件和技术信息 _;
yp^^S  
*P$5k1  

图片:1-1Z4121511045C.png

-qs.'o ;2  
FGr0W|?v  

很强大