[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 l5d> YTK+5  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 j])nkm7_  
!WReThq  
4uUR2J  
qnZ`]?  
1. 建模任务 gDJ@s   
,9;d"ce  
w_ po47S4  
,*$/2nB^  
2. 结果 hT<:)MG)+K  
B(%bBhs  
Fttny]  
Pf]O'G&F  
e`Z3
{H}  
I#tEDeF2  
3. 文件和技术信息 Ev\kq>2O  
L5*,l`lET  
A*:(%!  
UW[{Y|oE  

很强大