[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 RXBb:f  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 A
^pu  
c\M#5+1j  
, Hn7(^t  
ue@8voZhS/  
1. 建模任务 wuKl-:S;Vs  
,!`SY)  
0Qm"n6NQ  
PfyRZ[3)c  
2. 结果 B]1HS`*7  
tG/1p

W  
u,fA
!  
3@G;'|z  
&} ,*\Oj  
5^>n5u/  
3. 文件和技术信息 9SY(EL  
k_!+V`Ro#  
tevQW  
^\:yf.k  

很强大