[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 ><#2O  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 HV$9b~(  
&8X .!r`f  
,2 g M-  
Kixr6\  
1. 建模任务 ,3J`ftCV  
}4\!7]FVYX  
&Xn8oe  
#E$Z[G]  
2. 结果 2Pem%HE~P  
B.Zm$JZ:  
iBtjd`V*  
fOK+DT~  
e$ XY\{  
2<6`TA*m  
3. 文件和技术信息 { /F rs*AF  
t4jd KYA  
_\4`  
n,&/D  

很强大