切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2042阅读
    • 1回复

    [分享]VirtualLab:高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线xunjigd
     
    发帖
    950
    光币
    9
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-10
    关键词: 物镜
    摘要 Dd5 9xNKm  
    S"Cz. bv  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 8~o']B;lJ  
    eTS}-  
    +Ua|0>?  
    H>EM3cFU  
    建模任务 ~U]g;u  
    a'i Q("  
     lln"c  
    概观 Sf,z  
    &ry*~"xoh  
    { ] R'U/  
    光线追迹仿真 VyxYv-$Y  
    ^U_T<x8{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 [b3!H{b#  
    Wm}c-GD  
    •点击Go! Q4"\k. ?  
    •获得3D光线追迹结果。 1(?4*v@B  
    2^WJ1: A  
    A#"Wk]jX  
    FXof9fa_B  
    光线追迹仿真 5.~Je6K U  
    tUv>1) [  
    K|7"YNohfG  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 4qOzjEQ  
    •单击Go! >j5\J_( ;D  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 R{#< NE  
    7s|'NTp  
    q3$8"Q^  
    c|Ivet>3  
    场追迹仿真 a$My6Qa#  
    K|P0nJT  
    <,]:jgX  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 $xbC^ k  
    •单击Go! 7=l~fKu  
    ;t&q|}x"  
    Hy.u6Jt*/  
    } e[ E  
    场追迹结果(摄像机探测器) 0WUBj:@g  
    _ .vG)  
    ,"%C.9a  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ^{+ry<rS>  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 pp"X0  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 4era5=  
    5p0~AN)  
    KUI{Z I  
    m!V,W*RNr  
    场追迹结果(电磁场探测器) + Iyyk02V  
    TjW!-s?S  
    uwNJM  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 ]&*POri&  
    Ds`e-X)O;\  
    ZoG@"vr2  
    文件信息 #I/P9)4  
    X{-4w([  
    6>vR5pn  
    U%q)T61  
    更多阅览 #dauXUKH  
    - Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer 7H6Ts8^S  
    - Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination \]ib%,:YU  
    %F*9D3^h  
    (来源:讯技光电
     
    分享到
    离线songshaoman
    发帖
    652
    光币
    2558
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-01-23
    一系列镜子是怎么加上去的?经验么