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    [分享]VirtualLab:高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-10
    关键词: 物镜
    摘要 \7WZFh%:  
    Rhzcm`"  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 YeI|&FMX  
    PmA_cP7~  
    %GigRA@no  
    2,rjy|R`  
    建模任务 `svOPB4C'  
    0Wb3M"#9<  
    mW)C=X%  
    概观 _SrkR7  
    V 9;O1  
    vv1W<X0e<  
    光线追迹仿真 & &:ZY4`  
    i9^m;Y)^I  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 }g"K\x:Z  
    oz'^.+uvE  
    •点击Go! m^;A]0h+  
    •获得3D光线追迹结果。 |?LUt@r;  
    ]GiDfYs7%  
    s;,ulME  
    "|GX%> /  
    光线追迹仿真 to#T+d.(v  
    ]4[^S.T=  
    ?Lem|zo  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 b/UjKNf@  
    •单击Go! Lu[xoQ~I  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 w/wU~~  
    $+n5l@W  
    +IM6 GeH  
    $ItPUYi";  
    场追迹仿真 q;<Q-jr&O  
    J1d|L|M  
    ?j$*a7[w  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 89fl\18%  
    •单击Go! *cc|(EM  
    nE"0?VNW$  
    W C3b_ia  
    |dqvv  
    场追迹结果(摄像机探测器) +zzS  
    eQsoZQA1  
    EakS(Q?  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 sX#7;,Ft7  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 qD> D  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 k6??+b:rE  
    1#jvr_ ga  
    TmdR B8N  
    B=hJ*;:p  
    场追迹结果(电磁场探测器) eo'C)j# U  
     DZ&AwF  
    >}B~~C;  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 J.pe&1  
    -0:B2B  
    !' jXN82  
    文件信息 AK5$>Pkvk  
    Wg5i#6y8w  
    {#%;HqP  
    .E0*lem'hE  
    更多阅览 P8;f^3V(+/  
    - Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer ii]'XBSVd  
    - Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination }{@RO./)[  
    }S>:!9f  
    (来源:讯技光电
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    离线songshaoman
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-01-23
    一系列镜子是怎么加上去的?经验么