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    [分享]VirtualLab:高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-10
    关键词: 物镜
    摘要 k!WeE#"(  
    f3.oc9G  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 {aK3'-7  
    4((p?jb C  
    NMrf I0tbG  
    #~w~k+E4  
    建模任务 {CTJX2&  
    <1_3`t  
    H_1&>@ 3  
    概观 3e\IRF xzb  
    hwi_=-SL  
    0| =y#`;,Z  
    光线追迹仿真 3mg:9]X9  
    oBo |eRIt|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 K]dR%j  
    s8' ;4z  
    •点击Go! _?I*:: I  
    •获得3D光线追迹结果。 Wu8zK=Ve(  
    z XUr34jF  
    XSh [#qJ  
    ;W\?lGOs{  
    光线追迹仿真   
    ;!3: 3;  
    =xSf-\F  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 VT#`l0I }  
    •单击Go! - _ %~b  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 TDy$Mv=y  
    2 zX9c<S=5  
    Ufor>  
    ^B7Ls{  
    场追迹仿真 w:R#F( 'B  
    )?6%d  
    ETdN<}m  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 zzd PR}VG  
    •单击Go! WHU l.h  
    Q `-Xx  
    { qCFd  
    HoeW6UV  
    场追迹结果(摄像机探测器) qc' ;<  
    .5 {<bY  
    .}(X19R  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 }` <D KO/  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 g!cW`B'  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Ya!PV&"Z  
    ?_T[]I'  
    m)r,  
    G%K&f1q%  
    场追迹结果(电磁场探测器) 2a 7"~z~  
    wk1/&  
    79h'sp6;  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 oc[z dIk  
    N]\)Ok  
    LE?sAN  
    文件信息 U % ?+N  
    )/2TU]//  
    ~I~lb/  
    M(^ e)7a1  
    更多阅览 l?Ls=J*  
    - Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer s;sr(34  
    - Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Tiimb[|  
    0E{DO<~  
    (来源:讯技光电
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    离线songshaoman
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-01-23
    一系列镜子是怎么加上去的?经验么