[分享]VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

摘要 ;$@7iL  
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 irCS}Dbw  
AiSO|!<.N  

图片:1-1Q210141S0B6.png

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建模任务 2%N$Y]  
ahkSEE{  

图片:1-1Q210141Z3L0.png

4VPL -":6  
概观 @L^2VVWk^  
>#B%gxff  

图片:1-1Q21014202H61.png

@D8c-`LC"*  
光线追迹仿真 cTmo
z.0  
^.,pq?_  
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 eX9{wb(  
-UkP{x)S  
•点击Go！
5
n1;@Vr  
•获得3D光线追迹结果。 7/NXb  
aksyr$d0V<  

图片:1-1Q2101423224L.png

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F"j0;}+N  
光线追迹仿真 s S8Z5k;  
T%K(opISc(  
VO>A+vx3M  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 #EAP<h  
•单击Go！ L5""  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 8Cz_LyL  
d<. hkNN  

图片:1-1Q210142613B5.png

O>xGH0H  
"aK3 ylz;  
场追迹仿真 Ixg.^>62  
[o<R#f`  
*7.!"rb8A  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 -Ep cX!i  
•单击Go！ g5R2a7  
oabc=N!7
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图片:1-1Q210142A2533.png

33|>u+  
XodA(73`i  
场追迹结果（摄像机探测器） 2}>jq8Y47  
=v=
a:e  
;oVdkp  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Ojq>4=Z\  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 mv%fX2.  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 DCM,|FE  
EsXCi2]1  

图片:1-1Q210142Q6438.png

.MMFN}1O  
!Sfy'v.  
场追迹结果（电磁场探测器） 9=pG$+01OR  
Ek(. ["  
_KC)f'Cx  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 qI\qpWS\  
$[5ihV$u  

图片:1-1Q210143024c8.png

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文件信息
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图片:1-1Q210143051458.png

Ev%4}GwO4  
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更多阅览 sXOGIv  
- Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer id@!kSR  
- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination [c]X) @#S  
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一系列镜子是怎么加上去的？经验么