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    [分享]VirtualLab:高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-10
    关键词: 物镜
    摘要 (n4Uc308  
    -\V;Gw8mD  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 !c=EB`<*  
    z_A34@a  
    (]sk3 A  
    z i3gE$7  
    建模任务 YbP}d&L  
    C&&33L  
    HC(o;,spO  
    概观 drh,=M\F  
    ]QmY`pTB`  
    apv"s+  
    光线追迹仿真 %p tw=Ju  
    ZG1 {"J/z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 9DaoM OPEI  
    -ei+r#  
    •点击Go! SaiYdJ  
    •获得3D光线追迹结果。 okLhe F  
    uAv'%/  
    yvV]|B@sO  
    >on' y+  
    光线追迹仿真 V;1i/{  
    trM)&aQto  
    a\Dw*h?b~  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 {#H'K*j{  
    •单击Go! Tizjh&*^  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 !E9A=u{  
    c$~J7e6$  
    Qd"u$~ qC  
    -ZBSkyMGy  
    场追迹仿真 ?CZ*MMV  
    Pc=:j(  
    l#;o^H i  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 }R)A%FKi@  
    •单击Go! uG 7ll5Yy  
    .:2=VLujU  
    6|ENDd[  
    81Ityd-}  
    场追迹结果(摄像机探测器) $jL+15^N0+  
    0A.9<&Lod  
    VMV~K7%0  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 bb"x^DtT  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 a~O](/+p;  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。  y jY}o  
    JURJN+)z  
    N="H 06t  
    Rb_+C  
    场追迹结果(电磁场探测器) BV6 U -  
    mY/x|)MmM  
    h/\/dp/tt  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 <!I^xo [  
    vAo|o *  
    h!~u^Z.7<  
    文件信息 c9axzg UA  
    + u'y!@VV  
    ~OOD#/  
    =Btmi  
    更多阅览 6;hZHe'W  
    - Optical System for Inspection of Micro-Structured Wafer lr&O@ 5"oy  
    - Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination 0O7VM)[  
    j[\aGS7u  
    (来源:讯技光电
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    离线songshaoman
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-01-23
    一系列镜子是怎么加上去的?经验么