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    [求助]钛的折射率问题 [复制链接]

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    离线吴鹏
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-12-07
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    请问下,同一膜料氧化钛计算出来的折射率高低跟哪些因素有关系?比如镀膜机仓体大小?
     
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    在线ds1234567
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-12-07
    与温度有关
    离线吴鹏
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-12-07
    回 ds1234567 的帖子
    ds1234567:与温度有关?(2018-12-07 22:00)? 3~M8.{ U#V  
    N7Dm,Q]  
    我这里2350镀膜机测的钛折射率2.01
    离线lgflgf2012
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-12-08
    温度,蒸发速率,真空度,离子源参数等等,应该就这些了吧
    离线knight627
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-12-08
    这个差别 大了,固定机台,一个工艺参数,然后用椭偏仪去测,才是实在
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-12-10
    不管你是用氧化钛,二氧化钛,五氧化三钛。 $?G@ijk,  
    蒸发到最后都是想得到一个物质,但是就镀膜稳定性来讲,五氧化三钛的稳定性应该是最好的。 ABX%oZ7[|o  
    A>1$?A8Q  
    我感觉有可能: q`b6if"  
    1,充氧不够,形成的物质少氧,此时应该加大充氧量。 ;54NQB3L  
    2,致密度不够,往往是因为离子源的能量不够。此时应该加大离子源能量,加高温度,降低蒸发速率。 AXW.`~ 4  
    3,材料有问题。换一个材料看看
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-12-10
    你去百度文库查下《镀膜材料基础知识》 cR/Nl pX  
    里面有详细的说明,2350这种机型应该是温度达不到300度的(这么大,如果温度太高,真空壳体会变形)也没有那么高能量的离子源。 !i^"3!.l,]  
    一般镀钛的设备最大1600mm,要配最大口径的射频源,而且外圈通常是扔掉的。 Pc`d]*BYi  
    如果要做稳定,一般是1350这样的大小。
    离线hunter999
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    只看该作者 7楼 发表于: 03-28
    hao dongxi !
    离线chenfadi
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    只看该作者 8楼 发表于: 09-11
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