[求助]钛的折射率问题 [复制链接]

请问下，同一膜料氧化钛计算出来的折射率高低跟哪些因素有关系？比如镀膜机仓体大小？

温度，蒸发速率，真空度，离子源参数

真空度。温度，离子源参数，每个机型都不一样

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hao dongxi !

你去百度文库查下《镀膜材料基础知识》 lzEb5mg  
里面有详细的说明，2350这种机型应该是温度达不到300度的（这么大，如果温度太高，真空壳体会变形）也没有那么高能量的离子源。 ;1v=||V  
一般镀钛的设备最大1600mm，要配最大口径的射频源，而且外圈通常是扔掉的。 +P|2m"UA  
如果要做稳定，一般是1350这样的大小。

不管你是用氧化钛，二氧化钛，五氧化三钛。 3qtr9NI  
蒸发到最后都是想得到一个物质，但是就镀膜稳定性来讲，五氧化三钛的稳定性应该是最好的。 GB>aT-G7q  
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我感觉有可能： ,t1vb3  
1，充氧不够，形成的物质少氧，此时应该加大充氧量。 bj}=8k0  
2，致密度不够，往往是因为离子源的能量不够。此时应该加大离子源能量，加高温度，降低蒸发速率。 <c+K3P'3?  
3，材料有问题。换一个材料看看

这个差别 大了,固定机台,一个工艺参数,然后用椭偏仪去测,才是实在

温度，蒸发速率，真空度，离子源参数等等，应该就这些了吧

ds1234567:与温度有关?(2018-12-07 22:00)? zj|WZ=1*Wp  

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我这里2350镀膜机测的钛折射率2.01