对设备来讲,我觉得最重要的方面是设备的安全性。在安全性上有缺陷的设备是不能使用的。 x&0kIF'lq
镀膜机其实是很危险的设备,有电、高温、真空、机械、辐射、光、噪音、有毒有害物质等方面的危险。 hh&$xlO)(v
下面谈谈这几个方面需要注意的地方。 n-yUt72
1.电: 电子枪离子源都有超过1000V的高压,打扫这些地方记得关闭电源并等待10分钟。 s&-MJ05y
设备的加热丝接头,设备控制柜接线,扩散泵加热器接线这些地方也是裸露的,容易触电。 q CYu@Ho
2.高温:设备刚镀完膜冷却不够时,伞架和离子源电子枪容易烫伤人。离子源冷却不够还会导致电极氧化,陶瓷破裂。 N&