薄膜对光有反射,透过,吸收,散射等作用。 iE, I\TY[
薄膜发雾(对于因为基板本身脏或者带电吸附粉尘等问题此处略过)一般是因为散射。 F``$}]9KHD
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散射一般分为:瑞利散射,米氏散射,几何光学近似 ]vMr@JM-G
散射发生的位置一般分为:表面(和空气接触面),界面(层与层的过渡面),粒子(结晶) _{)e\n
表面和界面发生的散射一般是因为真空度过低造成的,适当提高真空度可以改善。 y5 $h
界面的散射还可以提高离子源能量(用离子源将表面打平)来改善。 ='q:Io?T
结晶造成的散射,则需要靠改变温度来调整结晶大小。 bX:Y5o49
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具体问题具体分析,这个需要自己来判断。其实解决问题的过程,也是自我学习自我提高的过程。