离子源能量大了也会发雾的。 R_4]6{Rm
另外,你们用的是原装离子源配件吧? J/(3:
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副厂件不光是寿命,离子分布的均匀性也有问题。 4ujw/`:/m
(原厂栅网在出厂前会测离子分布,然后根据分布再开预备孔) vUa~PN+Iy
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温度不光是加热丝的加热温度,离子源轰击其实对镜片也有加热作用的。 sW%U3,j
我觉得你们是否离子源能量加的太大了。 [\N,ow,n
还有,中和器电流一般要设到离子源电流的2倍。 1_vaSEov
中和器电流过小也会造成离子分布的不均匀。