[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ ~#pATPW@
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MET9rT  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ oACAC+CP  
Xqf,_I=V  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 N''QQBUD  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。
#AD_EN9  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  ;blL\|ch;  

vW+6_41ZM  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  N/a4Gl(  

DB}Uzw|  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) f;E#CjlTL  
鍊藥不用通氧、製程要 rto?*^N?  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 wNa5qp 0  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 !j!w$  
jz!I +  
K^WDA]
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@A[)\E1  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) TOwqr T/  
鍊藥不用通氧、製程要 V 20h\(\\  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Pb&tWv\ql  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  ]N'3jf`W  

#/>TuJc  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 5/"$_7"{a  
xF8r+{_J)  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) I}PI  
)]@h}K}  
要通氣體 + ion beam >9H^r\  
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不能融溶表示功率不太夠 }$_@yt<{W@  
Z"8lW+r*  
加油 ,@ '^3u  
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R\7!_  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam &@lfr623  
....... (2018-09-03 16:10)  *q6XK_  

:Q`Of}#  
谢谢，大神