[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ ig G8L  
i$`OOV=/e  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ AcC'hr.N+  
>IZ|:lsxE  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 #"PI%&  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 9!aQ@ J^  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  'yrU_k,h  

ow,4'f!d  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ~AD%aHR  

3#d5.Ut  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) ews4qP  
鍊藥不用通氧、製程要 5LT{]&`9  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 4FmT.P  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 De^GWO.?bT  
W!$aK)]4u  
0;*1g47\  
t%<@k)hd~G  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) [LDV*79Z  
鍊藥不用通氧、製程要 muMb pF  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 FerQA9K)x  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  lTl-<
E;  

5)g6yV'  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 Ne{2fV>8Ay  
nE_g^  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) WCK;r{p%I  
W{pyU\  
要通氣體 + ion beam r_8[}|7;  
L9,;zkgo  
不能融溶表示功率不太夠 YVcFCl  
$yd "bJK  
加油 xq#YBi,  
N~c Y~a  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam Ym]Dlz,o  
....... (2018-09-03 16:10)  )&
jE<C0  

IY* ~df  
谢谢，大神