[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 1 c4I`#_v  
=jW=Z$3q  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ K6; sxF  
VA@t8H,  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 vB T]a  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 g_l=z`,8  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  l&f"qF?  

7;T6hKWV[  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  QL<uQ`>(  

Q9UBxpDV:  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) Ux<2
!vh  
鍊藥不用通氧、製程要 %|6t\[gn  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 v-V#?+#  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 63J_u-o  
!zhg3B#p  
|Ew~3-u!  
k,~I>qg  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) y7K&@Y  
鍊藥不用通氧、製程要 ^8,Y1r9`$  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 y^7ol;t  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  5t`:=@u  

E0;KTcZi  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 % D]vKv~<  
Dg^n`[WO  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) \a:#e%]qz9  
"62vwWrwO  
要通氣體 + ion beam R3nCk-Dq  
XcOfQs  
不能融溶表示功率不太夠 @;%+Ms  
'z=WJV;Vs  
加油 hdL/zW7]  
R,mOV8y"W[  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam lk.]!K$}  
....... (2018-09-03 16:10)  x)35}mi){L  

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谢谢，大神