[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ /I{K_G@  
)1gT&sU0  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ 2.]d~\  
RLzqpE<rJ  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam <
{hB&4oL  
....... (2018-09-03 16:10)  9&<c)sS&B  

'O9Yu{M  
谢谢，大神

之前做過的經驗是 i=M[$   
;ByCtVm2  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) B>z^W+Unyn  
F8{T/YhZ  
要通氣體 + ion beam vp d!|/  
{_z6  
不能融溶表示功率不太夠 '-G,7!.,r%  
-XkjO$=!=  
加油 #>BC|/P}  
>s,*=a  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) $5>x)jr:w+  
鍊藥不用通氧、製程要 U(:t$SBKy  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 bHHR^*B  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  A?c?(~9O  

6AmFl<  
谢谢，大神指教

能量需要比較高(跟Ti比起來) Aj=c,]2  
鍊藥不用通氧、製程要 <NMOs"NB  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ]^l-k@  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 XpOQBXbt  
;V1e>?3  
O,KlZf_B  
UX<0/"0
h  

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  hYNb9^  

Gwkp(
9d  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

需要充氧，40SCCM或更多

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 w3c[t~R8  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  '@9h@,tc  

UfSWd
R)  
谢谢，大神的指教

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 0}k[s+^  
加大电流或者减小光斑试试看。