[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ sR
nMBW.  
54%}JA][  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ 1ki"UF/  
I%xJ)fIK  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam @V)WJ{  
....... (2018-09-03 16:10)  tANG ]  

*rLs!/[Z_  
谢谢，大神

之前做過的經驗是 duI8^&|  
5WUrRQ?E  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) a|.u;  
?D_zAh?pW  
要通氣體 + ion beam wrbDbp1L  
C1=[\c~jw  
不能融溶表示功率不太夠 D)5wGp  
LdOB[W  
加油 ze-iDd_y  
U^xFqJY6  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) E;yP.<PW  
鍊藥不用通氧、製程要 YQ]W<0(  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 _di[P
U=Vh  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  gF&1e5`i  

Gx!Y 4Q}-  
谢谢，大神指教

能量需要比較高(跟Ti比起來) RK< uAiU  
鍊藥不用通氧、製程要 nwf(`=TC  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 `#R[x7bA1  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 A|7%j0T  
`Ps&N^[  
#mFIZMTRd  
fC&hi6  

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  'hR0JXy  

ZmI0|r}QbY  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

需要充氧，40SCCM或更多

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 &EqLF  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  .ojEKu+EJ'  

RqgN<&g?  
谢谢，大神的指教

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 \P*_zd@%  
加大电流或者减小光斑试试看。