[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ #u"@q< )  
nT~XctwF  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ (-;(wCEE  

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描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam D{+D.4\  
....... (2018-09-03 16:10)  N B8Yn\{B  

[2 Rz8e^  
谢谢，大神

之前做過的經驗是 $BOIa  
sJ_3tjs)  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) D6P/39}W  
`_{,4oi  
要通氣體 + ion beam c[?&;# feV  
O-+!KXHd[  
不能融溶表示功率不太夠 8ePzUc\#  
1n$  
加油 ^687U,+  
iz`ys.Fu  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) HlX2:\\  
鍊藥不用通氧、製程要 VDPq3`$+v{  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ~bX ) %jC  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  <p8>"~R  

hHqsI`7
c  
谢谢，大神指教

能量需要比較高(跟Ti比起來) PhC{Gg  
鍊藥不用通氧、製程要 .1?7)k v  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 5[>N[}Ck>  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 W|[k]A` 2  
3ocRq %%K  
aOo;~u2-=  
vpqMKyy  

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ]w=6.LzO*  

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谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

需要充氧，40SCCM或更多

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 }d)>pH  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  ]P ->xJ  

WZCX&ui  
谢谢，大神的指教

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 5gV8=Ml"V  
加大电流或者减小光斑试试看。