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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? KAe) X_R7  
    8^^al!0K~  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! ^)SvH  
    pG" 4qw  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 o?b"B+#  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 !&#CEF@J  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  bk5~t'  
    VM-J^  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  nj)M$'  
    +]UPY5:F  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) awMm&8cIM  
    鍊藥不用通氧、製程要 Z=n& fsE  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 '(I"54W  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 |0mh*+i  
    {hVSVx8ZL  
    W._vikR  
    <XGOcekG  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) Z*jhSy  
    鍊藥不用通氧、製程要 >Py;6K  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 \ 1ys2BX  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  g)u2  
    E5-8tHV   
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 ^Q2K0'm5  
    ctH`71Y  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) #^xiv/ sV  
    $o {f)'.>n  
    要通氣體 + ion beam Lr40rLx;u  
    W53i5u(  
    不能融溶表示功率不太夠 |hOqz2|  
    ;l}TUo  
    加油 P0}uTee  
    PM o>J|^  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam PHZA?>Q7Z  
    ....... (2018-09-03 16:10)  DoNbCVZ  
    @<AyCaU`.  
    谢谢,大神