[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ GAz;4pUZ  
nFxogCn
 
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ >Q"eaJxE!l  
F+c*v#T  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ' 71D:%p  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。
uyAhN  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  ^W#[6]S  

f~W.i]  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ;&:UxmTf  

yd>kJk^~/  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) eb( =V*  
鍊藥不用通氧、製程要 U/jJ@8
 
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收
Yz%=
 
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 gvwR16N  
gB
kb0  
sy>Pn  
1u&P,&T  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) 6Qx
LHQA  
鍊藥不用通氧、製程要 .t~I[J\<  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 MJ7!f+!5  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  wefQmRK  

0<^K0>lm p  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 1nvs51?H  
;w@:  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ]Mtb~^joG  
DE. Pw+5<.  
要通氣體 + ion beam ff{ESFtD  
;vd%=vR  
不能融溶表示功率不太夠 Bp4QHv9xqL  
D6v0n6w  
加油 .oSKSld  
3[8'pQ!&  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam DY,Sfh;tp  
....... (2018-09-03 16:10)  f~"3#MaV  

@tp/0E?  
谢谢，大神