[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 49c:
V,  
[b%D3-}'  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ ]cWUZ{puRB  
gfd"v  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 iC32nY?  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ThajHK|U  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  |O|V-f{l  

]Kt6^|S$a  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  a8e6H30Sm  

Tj`,Z5vy  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) 7FP*oN?  
鍊藥不用通氧、製程要 b4%??"&<Y  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 U/66L+1  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 64 wv<r]5j  
g]l''7G  
hlvK5Z  
+5g_KS  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) `GBW%X/  
鍊藥不用通氧、製程要 #"6Qj'/h  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 /$Ir5=B  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  j<m(PHSe  

c1(RuP:S  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 q4h]o^+  
[T4J{y64Y  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 'T;P;:!\  
,$L4dF3  
要通氣體 + ion beam s*KhF'fN  
kOrZv,qFG[  
不能融溶表示功率不太夠 ah$b[\#C  
3PWL@>zi  
加油 IVnHf_PzF  
IZ-1c1   

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam /nNN,hz  
....... (2018-09-03 16:10)  sIGMA$EK  

,m:.-iy?  
谢谢，大神