[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ we H@S  
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HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ SN[L4}{  
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融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 9Ew:.&d  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 `I5O4|K)  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  Iz DG&c  

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谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  8TE>IPjm  

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谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) tu0aD%C  
鍊藥不用通氧、製程要 im]g(#GnKh  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 i%-Ld Ka}"  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 n_Onr0EvO  
s =Umj'1k  
eS'yGY0b  
";x+1R.d  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) $~0Q@):  
鍊藥不用通氧、製程要 iIT8H\e  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 JA)?p{j  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  2&PPz}Sw  

N,dT3we  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 \!vN  
Pi,QHb`>  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ?"#%SKm  
u] :m"LM  
要通氣體 + ion beam Hs?e0Z=N  
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不能融溶表示功率不太夠 -9
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加油 f4-a?bp  
1g##sSa6  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam iC iZJ"  
....... (2018-09-03 16:10)  AeAp0cbet  

Z|RY2P>E  
谢谢，大神