[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 6+s10?  
N(W;\>P  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ AZgeu$:7p<  
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融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 yJRqX]MLA  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 b`fWT:?=  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  O^DLp/vM  

rKkFflOVO  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Mo&Po9  

bkL5srH  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) 3t$)saQR  
鍊藥不用通氧、製程要 ?&"!,  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 u =
|A  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 d1/uI^8>  
N}7tjk  
Jc,{n*  
[ FNA:  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) wc#E:GJcK  
鍊藥不用通氧、製程要 mIX[HDy:V$  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 .y~vn[qN  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  y}t1r |p  

yq2pg8%  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 IDIok~B=e  
C[xY 0<^B  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) (7Q Fy  
~!& "b1  
要通氣體 + ion beam kZ>Xl- LV  
y:R!E *.L'  
不能融溶表示功率不太夠 J>XMaI})U  
BQ7p<{G  
加油 uVn"'p-  
,s9gGCA  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam
}NJKkj?  
....... (2018-09-03 16:10)  QJ,[K_  

L~+/LV  
谢谢，大神