[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ I+Y Z+  
]
=3hH+1 a  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ q-1vtbn  
gjiS+N[  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 V1i^#;  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 5BM
rn0  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  RPTIDA))  

@(m?j1!M  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Bpdx]5qfK  

uzaDK  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) sB%QqFRP  
鍊藥不用通氧、製程要 Tj,1]_`=V$  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收  |E9iG  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 VgcLG ]tE[  
vjO@"2YEw  
(z.eXoP@>  
okQ<_1e{  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) $BUm,  
鍊藥不用通氧、製程要 K0C3s  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 o#9Q   
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  lNba[
;_  

R8C#DB  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 #$ooV1E  
Q%!Dk0-)  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) z=yE- I{  
kcG_ n  
要通氣體 + ion beam L6Io u  
@RXkj-,eC#  
不能融溶表示功率不太夠 ;DXg  
)18C(V-x  
加油 |qz&d=>  
=:BTv[lv  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam bh(}f.@ 9  
....... (2018-09-03 16:10)  yf7|/M  

.yDGwLry  
谢谢，大神