[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ T`Xz*\}Zb  
m\K1Ex  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ i\{fM}~W$  
>a: 6umY  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 CW~c<,"  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 k54Vh=p  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  g2GHsVS  

33b 3v\N  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  m?Qr)F_M
 

c3$h-M(jVJ  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) ?;s}GpEY:  
鍊藥不用通氧、製程要 q .[hwm  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 f`zH#{u
  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 WE_jT1^/  
Xz,-'  
:xn/9y+s  
T7vSp<i/  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) l_ycYD$ZA  
鍊藥不用通氧、製程要 C-@  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 &3x \wH/_  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  8 *@knkJ  

(*63G4Nz\  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 +MG(YP/l  
h1 \
)_jxA  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) QJFx/zU  
r>+Hwj0>  
要通氣體 + ion beam '</  
ien >Ou  
不能融溶表示功率不太夠 D:Zpls.  
MF>1u%  
加油 @;>T
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l6b3i v,  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam ?}%Gr,tj2  
....... (2018-09-03 16:10)  /E(H`;DG  

qOz,iR?}  
谢谢，大神